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MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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425 gesamt
Patent
21.08.2024
Impedanzanpassung in einem Hf-Stromerzeugungssystem
EP4416754
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.08.2024
Gasanalyse mit Invertierter Magnetronquelle
EP4375635
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2024
Ozonkonzentrationssensor mit mehreren Wellenlängen und Verwendungsverfahren dafür
EP4409266
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.06.2024
Adaptive Impulsformung mit Nachanpassungssensor
EP4385057
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2024
Hybride Hochleistungs- und Breitbandmodule mit Variabler Impedanz
EP4385058
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.05.2024
Radical sensing for process tool diagnostics
WO2024107561
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.04.2024
Rückkopplungssteuerung und -Kohärenz von mehreren Stromversorgungen in Hochfrequenzstromversorgungssystemen für Pulsmodusschemen in der Dünnschichtverarbeitung
EP3716477
Elektronik & Schaltungstechnik
10.04.2024
Lichtverstärktes Ozonwaferverarbeitungssystem und Verwendungsverfahren
EP4348355
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2024
Gasanalyse mit Invertierter Magnetronquelle
EP3803934
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2024
Mikrowellenapplikator mit Solid-State Generator
EP3597005
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.03.2024
Method and apparatus for plasma generation
WO2024049616
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2024
Methods and systems for endpoint detection in foreline of chamber clean and foreline clean processes
WO2024040004
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung Dielektrischer Materialien mittels Mikrowellenenergie
EP3393737
Kunststoff- & Polymertechnik Elektronik & Schaltungstechnik
13.12.2023
Mikrowellensystem für Mikrowellenunterstütztes Oberflächenchemieglühen von Ald-Prozessen unter Verwendung von Mikrowellenstrahlungsenergie
EP4288580
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2023
Ladungsverriegelungsmesser
EP4281739
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.11.2023
System zur Unterdrückung der Plasma-Hf-Verzerrung
EP3840013
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2023
Überwachung der Konzentration von Radikalen Partikeln mittels Massenspektrometrie
EP4268261
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2023
Modulator mit Geschalteten Kapazitäten
EP4256602
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.10.2023
Vorrichtung und Abstimmungsverfahren zur Verringerung von Hf-Lastimpedanzvariationen Aufgrund Periodischer Störungen
EP4252268
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.09.2023
Wärmeleitfähigkeitsmessgerät
EP4244590
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.08.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgasbereitstellung mit Isolierventilen
EP3746861
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
09.08.2023
Hf-Kompensationsschaltung und Steuerung für ein Kreuzgekoppeltes Simo-Verteilnetz
EP3676864
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.08.2023
Aktiv Gekühltes Vakuumisolierventil
EP3443583
Maschinenelemente & Fluidtechnik
13.07.2023
Ion source with gas delivery for high-fidelity analysis
WO2023133042
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.07.2023
Gepulste Bidirektionale Hochfrequenzquelle/-Last
EP3622552
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.07.2023
Festkörper-Mikrowellengenerator und Energieverstärker
EP3304733
Elektronik & Schaltungstechnik
14.06.2023
Adaptive Steuerung für einen Stromgenerator
EP3815126
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2023
Binary Gas Purity Analyzer
WO2023069839
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.04.2023
System und Verfahren zur Lichtbogendetektion unter Verwendung eines Bias-Hf-Generatorsignals
EP4158675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2023
Hochfrequenz-Steuersystem und Verfahren zu dessen Steuerung
EP3323140
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2023
Method and apparatus for impedance matching in a power delivery system for remote plasma generation
WO2023022878
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2023
Ventilvorrichtungen und Zugehörige Verfahren zur Reaktiven Prozessgasisolierung und Spülerleichterung Während der Isolierung
EP4136669
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
09.02.2023
Method and apparatus for plasma generation
WO2023015114
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2023
Plasmaquelle und Verfahren zur Herstellung Dieser Plasmaquelle
EP4131331
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
25.01.2023
Stückweise Hf-Leistungssysteme und Verfahren zur Einspeisung von Vorverzerten Hf-Vorspannungssignalen in eine Elektrode einer Verarbeitungskammer
EP3631836
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
21.12.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerungsreinigung in einer Pumpleitung
EP3896716
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
15.12.2022
Methods and apparatus for pressure based mass flow ratio control
WO2022261618
Steuerungs- & Regelungstechnik
23.11.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgasabgabe mit Konzentrationsmessung
EP4090787
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
26.10.2022
Rückkopplungssteuerung durch Rf-Wellenformanpassung zur Ionenenergieverteilung
EP3341955
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2022
Gasanalysesystem mit Ionenquelle
EP4066273
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
114
Elektronik & Schaltungstechnik
78
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Metallurgie & Oberflächentechnik
51
Maschinenelemente & Fluidtechnik
34
Elektrische Energietechnik
25
Verfahrens- & Trenntechnik
16
Anorganische Chemie & Werkstoffe
14
Software & Datenverarbeitung
14
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
4
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
3

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