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MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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425 gesamt
Patent
22.03.2007
Precursor gas delivery with carrier gas mixing
WO2007032826
18.01.2007
Thermal mounting plate for heated pressure transducer
WO2007008388
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.01.2007
Sensor for pulsed deposition monitoring and control
WO2007008438
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.12.2006
System und Verfahren zur Gepulsten Massenstromzuführung
EP1735480
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.12.2006
Steuerschaltung für ein Schaltnetzteil
EP1733467
Elektrische Energietechnik
30.11.2006
Wide range static neutralizer and method
WO2006127646
Elektrische Energietechnik
30.11.2006
Method and apparatus for preventing ald reactants from damaging vacuum pumps
WO2006127693
Metallurgie & Oberflächentechnik
29.11.2006
Prädiktive Regelung eines Generatorausgangs
EP1213635
Steuerungs- & Regelungstechnik
23.11.2006
Synchronous undersampling for high-frequency voltage and current measurements
WO2006124734
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2006
Kapazitiver Druckwandler
EP1218713
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.11.2006
Low overhead closed loop control system
WO2006119319
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2006
Heated Pressure Transducer
WO2006118894
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.11.2006
Fourier Transform Infrared Spectrometer
WO2006115490
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.11.2006
Gas delivery method and system including a flow ratio controller using antisymmetric optimal control
WO2006115926
Steuerungs- & Regelungstechnik
02.11.2006
Valve Assembly Having Articulating Rigid Seating Surface
WO2006115949
Maschinenelemente & Fluidtechnik
05.10.2006
Mass flow verifier with flow restrictor
WO2006104640
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
28.09.2006
Vaporizer and method of vaporizing a liquid for thin film delivery
WO2006101697
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
12.07.2006
Stromversorgungs-Steuerschleife mit mehreren Nivellierungsbetriebsarten
EP1678815
Elektrische Energietechnik
06.07.2006
Valve Assembly Having Rigid Seating Surfaces
WO2006071667
Maschinenelemente & Fluidtechnik
22.06.2006
Pulsed mass flow measurement system and method
WO2006065911
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.06.2006
Pulsed mass flow delivery system and method
WO2006065426
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.06.2006
Steuerung von Plasmaübergängen in Sputter-Verarbeitungssystemen
EP1668664
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2006
Steuersystem für ein Sputtersystem
EP1668168
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.06.2006
Methods and apparatus for downstream dissociation of gases
WO2006060827
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
26.05.2006
Thermal Mass Flow Rate Sensor Having Bypass Ratio
WO2006055223
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.05.2006
Reynolds number correction function for mass flow rate sensor
WO2006055314
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.05.2006
Pendelschieber
EP1063457
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
30.03.2006
Attitude error self-correction for thermal sensors of mass flow meters and controllers
WO2006033901
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.03.2006
Turbomolekularvakuumpumpe mit Radialströmung
EP1234115
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
15.03.2006
Durchfuss-Regelventil mit Magnetfeldsensor
EP1634132
Steuerungs- & Regelungstechnik
09.02.2006
Failsafe switching of intelligent controller method and device
WO2006014888
Steuerungs- & Regelungstechnik
09.11.2005
Integrierte Turbopumpe und Steuerventilsystem
EP1063456
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
03.11.2005
Flow Measurement Calibration
WO2005103728
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.10.2005
Controller and method to mediate data collection from smart sensors for fab applications
WO2005101280
Software & Datenverarbeitung
20.10.2005
Flow monitoring system
WO2005098371
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.10.2005
Thermal mass flow rate sensor providing increased rate of heat transfer to gas
WO2005098375
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.10.2005
Porous Valve Assembly
WO2005098294
Maschinenelemente & Fluidtechnik
13.10.2005
Semiconductor manufacturing gas flow divider system and method
WO2005094404
Steuerungs- & Regelungstechnik
06.10.2005
System and method for controlling pressure in remote zones
WO2005093304
Maschinenelemente & Fluidtechnik
28.09.2005
Druckwandler mit Thermischer Platte und Feder
EP1348111
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
114
Elektronik & Schaltungstechnik
78
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Metallurgie & Oberflächentechnik
51
Maschinenelemente & Fluidtechnik
34
Elektrische Energietechnik
25
Verfahrens- & Trenntechnik
16
Anorganische Chemie & Werkstoffe
14
Software & Datenverarbeitung
14
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
4
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
3

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