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MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

425 gesamt
Patent
25.09.2008
Low maintenance ac gas flow driven static neutralizer and method
WO2008115884
Elektronik & Schaltungstechnik
24.09.2008
Logarithmischer Phasen-Amplitudendetektor
EP1761113
Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2008
Harmonic Derived Arc Detector
WO2008100296
Elektronik & Schaltungstechnik
06.08.2008
Hochfrequenz-Leistungsabliefersystem
EP1952533
Elektronik & Schaltungstechnik
17.07.2008
Itegrated pressure and flow ratio control system
WO2008085595
Steuerungs- & Regelungstechnik
26.06.2008
Inductively-Coupled Plasma Source
WO2008076629
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.05.2008
Verfahren und Vorrichtung zur Durchfluss- und Konzentrationssteuerung Ozonisierten Wassers
EP1499934
Steuerungs- & Regelungstechnik
08.05.2008
Oxygen conditioning of plasma vessels
WO2008054949
10.04.2008
Applicators and cooling systems for a plasma device
WO2008042779
09.04.2008
Selbstkorrigierende Mehrvariablenanalyse zur Verwendung bei der Überwachung Dynamischer Parameter in Prozessumgebungen
EP1907908
Steuerungs- & Regelungstechnik
26.03.2008
Adressentransparente Einrichtung und Verfahren
EP1902554
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
21.02.2008
Constant Power Dissipation in Capacitance Pressure Transducers
WO2008021178
13.02.2008
Absperrventil für Energetische und Hochtemperaturgase
EP1886050
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
31.01.2008
Critical flow based mass flow verifier
WO2008014076
10.01.2008
Fast-Acting Pneumatic Diaphragm Valve
WO2008005838
Maschinenelemente & Fluidtechnik
27.12.2007
Electrochemical sampling head or array of same
WO2007149810
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.12.2007
Classifying faults associated with a manufacturing process
WO2007146558
Steuerungs- & Regelungstechnik
21.11.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Signalverarbeitung in einer Spektrometrie über eine Verbesserte Apodisierungsfunktion
EP1856506
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.11.2007
Highly Responsive Master-Slave Valve Positioning
WO2007126543
Maschinenelemente & Fluidtechnik
01.11.2007
Pressure Regulation in Remote Zones
WO2007123576
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2007
Multiple-Channel Flow Ratio Controller
WO2007120406
Steuerungs- & Regelungstechnik
18.10.2007
Multi-Frequency Static Neutralization
WO2007118047
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
18.10.2007
Control system for static neutralizer
WO2007118182
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2007
Multiple heater control system with expandable modular functionality
WO2007118156
Elektronik & Schaltungstechnik
20.09.2007
Air assist for ac ionizers
WO2007106176
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2007
Fangvorrichtung mit Oberfläche für Ablagerungen
EP1483558
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.08.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung und Rückführung von Fluor
EP1567448
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
02.08.2007
Compensation For Thermal Siphoning in Mass Flow Controllers
WO2007086960
Steuerungs- & Regelungstechnik
19.07.2007
Remote sensor for controlling ionization systems
WO2007082287
Elektrische Energietechnik
19.07.2007
Multiple sensor feedback for controlling multiple ionizers
WO2007082276
Elektrische Energietechnik
05.07.2007
Methods and apparatus for downstream dissociation of gases
WO2007075509
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.06.2007
Verfahren zur Bildung einer Dichtung zwischen einem Gehäuse und einer Membran eines Kapazitiven Sensors
EP1800099
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.06.2007
Graphical User Interface
WO2007070191
Software & Datenverarbeitung
13.06.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Mehrvariablen-Steuerung von Halbleiter-Herstellungsprozessen
EP1794659
Steuerungs- & Regelungstechnik
07.06.2007
Method and apparatus for classifying manufacturing outputs
WO2007064933
Steuerungs- & Regelungstechnik
31.05.2007
Vertical Mount Mass Flow Sensor
WO2007061608
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.05.2007
Dichtungsring für eine Pendelventilanordnung
EP1595091
Maschinenelemente & Fluidtechnik
18.05.2007
Ac ionizer with enhanced ion balance
WO2007056704
Elektronik & Schaltungstechnik
18.04.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung Polymerisierten Teos-Aufbau in Vakuumpumplinien
EP1171644
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.04.2007
System zur adaptiven Plasma-Charakterisierung
EP1231524
Steuerungs- & Regelungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
114
Elektronik & Schaltungstechnik
78
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Metallurgie & Oberflächentechnik
51
Maschinenelemente & Fluidtechnik
34
Elektrische Energietechnik
25
Verfahrens- & Trenntechnik
16
Anorganische Chemie & Werkstoffe
14
Software & Datenverarbeitung
14
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
4
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
3

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