Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.250 gesamt| Patent | |||
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04.11.2004
Surface modification method and surface modification apparatus for interlayer insulating film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.04.2004
Anhängig
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04.11.2004
Method for removing silicon oxide film and processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.04.2004
Anhängig
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04.11.2004
Method for cleaning heat treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.04.2004
Anhängig
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28.10.2004
Hard disk device
Akustik, Musik & Datenspeicherung
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Angemeldet am 14.10.2003
Anhängig
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28.10.2004
Developing method and developing device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.03.2004
Anhängig
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21.10.2004
Heat treating apparatus and heat treating method
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.03.2004
Anhängig
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21.10.2004
Substrate processing system, and method of control therefor, control program, and storage medium
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2004
Anhängig
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21.10.2004
Method of forming film and film forming apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2004
Anhängig
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21.10.2004
Shower head structure and treating device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2004
Anhängig
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20.10.2004
Verfahren und Einrichtung zum Verarbeiten eines Substrats und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.10.2004
Chemical processing system and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2004
Anhängig
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14.10.2004
Method and system for monitoring rf impedance to determine the parameters of a wafer on an electrostatic chuck
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2004
Anhängig
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13.10.2004
Fluidregelvorrichtung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 08.03.2001
Erteilt am 13.10.2004
Vertretung
Paul, Dieter-Alfred · Neuss
Paul, Dieter-Alfred · Neuss
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07.10.2004
Processor
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2003
Anhängig
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07.10.2004
Processing apparatus and processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2004
Anhängig
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07.10.2004
Method for cleaning plasma processing apparatus and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2004
Anhängig
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07.10.2004
Method for cleaning thin-film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2004
Anhängig
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07.10.2004
Removal of cmp and post-cmp residue from semiconductors using supercritical carbon dioxide process
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 24.03.2004
Anhängig
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06.10.2004
Potentialfixierungseinrichtung und Potentialfixierungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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30.09.2004
Substrate holding mechanism using electrostaic chuck and method of manufacturing the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.03.2004
Anhängig
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23.09.2004
Semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.12.2003
Anhängig
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22.09.2004
Drucksensor, Drucksteuerung und Temperaturdriftkorrekturvorrichtung einer Strömungssteuerung des Drucktyps
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 22.11.2002
Anhängig
Vertretung
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16.09.2004
Method of forming thin film, thin film forming apparatus, program and computer-readable information recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.02.2004
Anhängig
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16.09.2004
Apparatus for attachment of semiconductor hardware
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 26.02.2004
Anhängig
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16.09.2004
Substrate-processing apparatus and temperature-regulating apparatus
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.03.2004
Anhängig
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10.09.2004
Vacuum processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.02.2004
Anhängig
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10.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung eines Impedanzanpassungsnetzwerkes und Netzwerksanlage
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.02.2004
Anhängig
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08.09.2004
Sondeneinrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.09.2004
Gas feeding apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.01.2004
Anhängig
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02.09.2004
Transfer device and semiconductor processing system
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2004
Anhängig
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01.09.2004
Nitrisierungsverfahren für einen Isolationsfilm, Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelement, Substratbehandlungseinrichtung und Substratbehandlungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.09.2004
Ein Transportmechanismus, bewegliche Transportvorrichtung für Testkarten, die eine Transportmechanismus benutzen und eine Testvorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.12.2003
Anhängig
Vertretung
Grosse, Rainer · Stuttgart
Grosse, Rainer · Stuttgart
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26.08.2004
Method for cleaning substrate processing apparatus and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2004
Anhängig
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26.08.2004
Method for manufacturing semiconductor device and apparatus for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.02.2004
Anhängig
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26.08.2004
Plasma generating apparatus, plasma generating method, and remote plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.02.2004
Anhängig
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19.08.2004
Method and apparatus for improved fastening hardware
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Straßen-, Wasser- & Tiefbau
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Status
Angemeldet am 26.01.2004
Anhängig
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19.08.2004
Treating system and operating method for treating system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2004
Anhängig
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19.08.2004
Plasma processing apparatus and method
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2004
Anhängig
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19.08.2004
Method of plasma oxidation and semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 04.02.2004
Anhängig
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19.08.2004
Plasma processing method, semiconductor substrate and plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2004
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56