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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
30.01.2025
Modulierendes Flüssigkeitshandhabungssystem
WO2025021607
Optik & Fototechnik
30.01.2025
Masken-3D (M3D)-Modellierung zur Lithografiesimulation
EP4751137
Optik & Fototechnik
30.01.2025
Verfahren zur Optimierung einer Gewichtung für Parameter von Interessensdaten und Zugehörige Metrologie- und Lithografische Vorrichtungen
EP4751138
Optik & Fototechnik
30.01.2025
Substrathalter
EP4751136
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2025
Machine constant optimization method and associated apparatuses
WO2025021603
Optik & Fototechnik
29.01.2025
Verfahren zur Optimierung einer Gewichtung für Parameter von Interessensdaten und Zugehörige Metrologie- und Lithografische Vorrichtungen
EP4498163
Optik & Fototechnik
29.01.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Verbindung einer Faservorform mit einem Druckversorgungssystem
EP3832363
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
29.01.2025
Positionierungssystem, Lithographische Vorrichtung, Absolutpositionsbestimmungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP4251947
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.01.2025
Lithographische Musterdarstellung mit Gekrümmten Elementen
EP4497035
Optik & Fototechnik
29.01.2025
Einstellungs- und Steuerungsverfahren für ein Lithografisches Verfahren und Zugehörige Vorrichtungen
EP4497038
Optik & Fototechnik
29.01.2025
Herstellung einer Photonischen Kristallfaser mit Hohlem Kern
EP4497731
Anorganische Chemie & Werkstoffe
29.01.2025
Verfahren zur Herstellung einer Vorform einer Photonischen Hohlkernkristallfaser
EP4497730
Anorganische Chemie & Werkstoffe
29.01.2025
Verfahren zur Optimierung der Maschinenkonstante und Zugehörige Vorrichtungen
EP4498162
Optik & Fototechnik
29.01.2025
System und Verfahren zur In-Situ-Reinigung einer Klemme einer Lithographievorrichtung durch Oszillationsbewegung eines Reinigungskörpers
EP4498161
Optik & Fototechnik
29.01.2025
System und Verfahren zur Substratausrichtung mit Bildstitching mit Positionierungsfehlerbestimmung und -Korrektur
EP4498164
Optik & Fototechnik
23.01.2025
Direct aberration retrieval for charged particle apparatus
WO2025016691
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2025
Fluid handling structure, lithographic apparatus, method of controlling a fluid handling structure, method of controlling a lithographic apparatus and method of manufacturing a semiconductor device
WO2025016613
Optik & Fototechnik
23.01.2025
Euv Radiation Energy Sensor
WO2025016737
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.01.2025
Source vessel, light source, euv-utilization system and method for controlling a source material
WO2025016697
Elektronik & Schaltungstechnik
23.01.2025
Systems and methods for increasing throughput during voltage contrast inspection using points of interest and signals
WO2025016673
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2025
Overlay and alignment metrology systems and methods for semiconductor manufacturing
WO2025016658
Optik & Fototechnik
23.01.2025
Method of qualifying a machine such as an exposure apparatus
WO2025016662
Optik & Fototechnik
23.01.2025
An Optical Arrangement For Use in an Exposure Apparatus
WO2025016652
Optik & Fototechnik
23.01.2025
Substrate Height Measurement
WO2025016640
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.01.2025
Euv source vessel heated gas delivery apparatus and method
WO2025016632
Elektronik & Schaltungstechnik
23.01.2025
Apparatus and method for determining critical areas of patterned substrate
WO2025016684
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2025
System und Verfahren zum Laden einer Probe in eine Probenposition
WO2025016670
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2025
System und Verfahren zum Laden einer Probe in eine Probenposition
EP4495983
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2025
Optische Anordnung zur Verwendung in einer Belichtungsvorrichtung mit in Entgegengesetzte Richtungen Beweglichen Teil einer Optischen Scananordnung und Maskentischanordnung sowie Entsprechendes Verfahren zum Belichten eines Schaltungsmusters auf einem Substrat
EP4495692
Optik & Fototechnik
16.01.2025
An illumination configuration module for a metrology device
WO2025011854
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Metrology method and data processing method applicable to metrology
WO2025011864
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Systems and methods for defect inspection in charged-particle systems
WO2025011912
Software & Datenverarbeitung
16.01.2025
System and method for exposing a substrate edge and lithographic apparatus including the system
WO2025011888
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Lithographic apparatus, uniformity sensor for use therein with a plurality of sensing elements, method of determining a property of a radiation beam and method of determining a calibration for an optical element of a lithographic system
WO2025011873
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Lithographic apparatus and associated method
WO2025011859
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Metrology apparatus
WO2025011840
Optik & Fototechnik
16.01.2025
Spurschnittstelle und Substratverarbeitungsvorrichtung
WO2025011830
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2025
Polierwerkzeug und Zugehörige Verfahren
EP4743259
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
16.01.2025
Trägerplatte und Werkzeug zur Heterogenen Integration von Matrizen mit Unterschiedlicher Grösse
WO2025011842
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2025
Polierwerkzeug und Zugehörige Verfahren
WO2025011845
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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