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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
28.06.2023
Verfahren und Computerprogramm zur Ausrichtungsbestimmung
EP4202970
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Identifizierung von Verunreinigungen in einem Halbleiter-Fab
EP4196851
Optik & Fototechnik
21.06.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung einer Reparaturdosis für ein Belichtungsfeld eines mit einem Lithographischen Gerät Belichteten Substrats
EP4198631
Optik & Fototechnik
21.06.2023
Detektorinspektionsvorrichtung, Detektoranordnung, Detektorarray, Einrichtung und Verfahren
EP4199032
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
21.06.2023
Ladungsteilcheneinrichtung, Mehrfachvorrichtungseinrichtung, Verfahren zur Verwendung einer Ladungsteilcheneinrichtung und Steuerungsverfahren
EP4199027
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Optische Ladungsteilchenvorrichtung und Projektionsverfahren
EP4199031
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Verfahren zum Bearbeiten einer Probe mittels einer Teilchenstrahlvorrichtung zur Bewertung
EP4199033
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Vorrichtung für Geladene Teilchen, Gerät zur Bewertung Geladener Teilchen, Messverfahren und Überwachungsverfahren
EP4199028
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Substrathalter und Lithografisches Gerät
EP4018262
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Magnetische Linse und Erregerstromsteuerungsverfahren
EP3357079
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2023
Systeme und Verfahren zur Reduzierung der Musterverschiebung in einer Lithografievorrichtung
EP4194950
Optik & Fototechnik
14.06.2023
Optisches Element
EP4194937
Optik & Fototechnik
14.06.2023
Blende und Verfahren
EP4194908
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
14.06.2023
Identifizierung von Abweichenden Modulen aus einer Referenzpopulation für die Maschinendiagnose
EP4194951
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
14.06.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Messrezepts und Zugehörige Vorrichtungen
EP4194952
Optik & Fototechnik
14.06.2023
Lasertriangulationsvorrichtung und Kalibrierverfahren
EP3861279
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.06.2023
Verfahren zur Überwachung eines Lithographischen Verfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP4191337
Optik & Fototechnik
07.06.2023
Metrologisches Kalibrierverfahren
EP4191338
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
31.05.2023
Mehrachsige Magnetische Linse
EP3244419
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2023
Metrologisches Verfahren und Zugehöriges Metrologisches Werkzeug
EP4187321
Optik & Fototechnik
31.05.2023
Vorrichtung zur Detektion Geladener Teilchen
EP3580773
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2023
Membran für Euv-Lithografie
EP3449312
Optik & Fototechnik
24.05.2023
Verfahren und Vorrichtung für die Metrologie
EP4184426
Software & Datenverarbeitung
24.05.2023
Erlangung eines einen Herstellungsprozess Charakterisierenden Parameters
EP4184250
Optik & Fototechnik
24.05.2023
Emitter zur Emission Geladener Teilchen
EP4182960
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2023
Vorrichtung zum Schutz von Flüssigkeitsleitungen in einer Euv-Quelle
EP4182587
Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
24.05.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Korrekturstrategie in einem Halbleiterherstellungsverfahren und Zugehörige Vorrichtungen
EP4182758
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
24.05.2023
Verfahren zur Klassifizierung von Halbleiterscheiben
EP4182967
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
17.05.2023
System und Verfahren zur Untersuchung mittels Geladener Partikel
EP4181167
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2023
Latente Raumsynchronisierung von Maschinenlernmodellen für Metrologie-Inferenz in Vorrichtungen
EP4181018
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.05.2023
Ausrichtung eines Verzerrten Bildes
EP4181168
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2023
Mehrachsige Magnetische Immersionsobjektivlinse
EP3232444
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2023
Modensteuerung von Photonischen Kristallfaserbasierten Breitbandigen Lichtquellen
EP3786703
Optik & Fototechnik
10.05.2023
Optische Metrologie von Lithographischen Prozessen mit Asymmetrischen Subauflösungsmerkmalen zur Verbesserung der Messung
EP3391150
Optik & Fototechnik
10.05.2023
Mehrstrahlsäule für Geladene Teilchen, Mehrstrahlsäulenanordnung für Geladene Teilchen, Inspektionsverfahren
EP4176460
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2023
Detektorsubstrat zur Verwendung in einem Mehrstrahl-Bewertungswerkzeug für Geladene Teilchen
EP4176467
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2023
Verfahren zur Thermomechanischen Steuerung eines Wärmeempfindlichen Elements und Vorrichtung zur Verwendung in einem Lithographischen Herstellungsverfahren
EP4176313
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
EP4174567
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Leistungsparameterverteilung
EP4174577
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
EP4174568
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
2.737
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
727
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
356
Elektronik & Schaltungstechnik
223
Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Maschinenelemente & Fluidtechnik
37
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
34
Verfahrens- & Trenntechnik
33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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