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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
22.02.2023
Metrologiemessverfahren und -Vorrichtung
EP4137889
Optik & Fototechnik
15.02.2023
Ladungsteilchenbeurteilungswerkzeug, Inspektionsverfahren
EP4133515
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2023
Seed-Lasersystem für Strahlungsquelle
EP4133557
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2023
Sensorpositionierungsverfahren, Positionierungssystem, Lithografische Vorrichtung, Metrologievorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP4134744
Optik & Fototechnik
15.02.2023
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
EP4134734
Optik & Fototechnik
15.02.2023
Blendenanordnung, Strahlmanipulatoreinheit, Verfahren zum Manipulieren Geladener Teilchenstrahlen und Geladene Teilchenprojektionsvorrichtung
EP4133514
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2023
Elektrostatischer Halter, Objekttisch und Lithografische Vorrichtung
EP4134748
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2023
Überlagerungsmessung unter Verwendung von Ausgeglichenen Kapazitätszielen
EP4134749
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.02.2023
Verfahren zur Modellierung von Messdaten über eine Substratfläche und Zugehörige Vorrichtungen
EP4134745
Optik & Fototechnik
15.02.2023
Verfahren zur Modellierung von Messdaten über eine Substratfläche und Zugehörige Vorrichtungen
EP4134746
Optik & Fototechnik
15.02.2023
Konditioniervorrichtung und -Verfahren
EP4134747
Optik & Fototechnik
08.02.2023
Stapelausrichtungstechniken
EP4128310
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.02.2023
Verfahren zum Bestimmen einer Inspektionsstrategie für eine Gruppe von Substraten in einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP4127834
Optik & Fototechnik
08.02.2023
Flutsäule, Werkzeug für Geladene Teilchen und Verfahren zum Fluten einer Probe mit Geladenen Teilchen
EP4128309
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2023
Optische Ladungsteilchenvorrichtung
EP4131329
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2023
Bildverbesserung basierend auf Ladungsspeicherreduktion bei der Inspektion von Ladungsteilchenstrahlen
EP4128313
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2023
Verfahren zur Datenabbildung für Analyse von Niedrigdimensionalen Daten
EP4130880
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
08.02.2023
Anordnung mit einem Nichtlinearen Element und Verfahren zu deren Verwendung
EP4127830
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Verfahren und Vorrichtung für die Metrologie
EP4124909
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.02.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Richten eines Ladungsteilchenstrahls auf eine Probe
EP4125111
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2023
Programmierbares Beleuchtungssystem für eine Lithografische Einrichtung
EP4124910
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Metrologieverfahren und Metrologievorrichtung
EP4124911
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Verfahren und Strukturierungsvorrichtungen sowie Vorrichtungen zur Messung der Fokusleistung einer Lithografievorrichtung, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
EP3394677
Optik & Fototechnik
01.02.2023
Verfahren, Anordnung und Vorrichtung zur Verbesserten Steuerung von Breitbandstrahlungserzeugung
EP3851904
Optik & Fototechnik
25.01.2023
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4123579
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2023
Ausrichtung eines Verzerrten Bildes
EP4123583
Software & Datenverarbeitung
25.01.2023
Verformbares Spiegelsystem
EP4123380
Optik & Fototechnik
25.01.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Photolithografischen Bildgebung
EP3963404
Optik & Fototechnik
25.01.2023
Objekthalter, Werkzeug und Verfahren zur Herstellung eines Objekthalters
EP4121819
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2023
Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen
EP4123683
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4120317
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
Substratsklemmverfahren in einem Lithographiesystem
EP2662728
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur für mindestens einen Steuerparameter in einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP4120019
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.01.2023
Systeme und Verfahren zur Signalelektronendetektion
EP4118672
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2023
System und Verfahren zur Fehlerprüfung mit Hohem Durchsatz in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4118675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Verfahren zum Modellieren von Systemen für die Vorausschauende Wartung von Systemen, Wie Lithografischen Systemen
EP4115241
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.01.2023
Detektor für Geladene Teilchen
EP4117016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Elektromagnetisches Motorsystem, Positionssteuerungssystem, Bühnenvorrichtung, Lithographische Vorrichtung, Verfahren zur Bestimmung eines Motorabhängigen Kommutierungsmodells für einen Elektromagnetischen Motor
EP4116772
Optik & Fototechnik
11.01.2023
Strahlanordnungsgeometrieoptimierer für Mehrstrahl-Inspektionssystem
EP4115438
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2023
Systeme und Verfahren zur Anpassung von Vorhersagemodellen zwischen Anlagenstandorten
EP3953765
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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Technologiefelder

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente
727
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
356
Elektronik & Schaltungstechnik
223
Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Maschinenelemente & Fluidtechnik
37
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
34
Verfahrens- & Trenntechnik
33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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