ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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15.01.2025
Vorrichtung zur Wellenlängenaufgelösten Strahlüberwachung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
System an apparatus for wavelength resolved beam profiling. The apparatus comprises a beam monitoring assembly configured to receive a radiation beam comprising a plurality of wavelengths, and to provide a diffracted radiation of the plurality of wavelengths, wherein each of the plurality of wavelengths is spatially separated in the diffracted radiation. The apparatus comprises a color selector configured to select a portion of the diffracted radiation. The apparatus comprises a detector configured to detect the selected diffracted radiation and to generate beam profile data of the selected radiation. The color selector is movable to select each of the plurality of diffracted wavelengths of the diffracted radiation such that the plurality of wavelengths do not overlap when incident on the detector. |
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15.01.2025
Metrologieverfahren und Datenverarbeitungsverfahren für Metrologie
Optik & Fototechnik
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15.01.2025
Beleuchtungskonfigurationsmodul für eine Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
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15.01.2025
Polierwerkzeug und Zugehörige Verfahren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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09.01.2025
Electrostatic Clamp Arrangement
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2024
Anhängig
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09.01.2025
Method of identifying service actions on a machine such as an exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.06.2024
Anhängig
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09.01.2025
Object holder, object table, method of controlling the shape of a surface, method of manufacturing the object holder, and their use in a lithographic method or apparatus
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2024
Anhängig
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09.01.2025
Methods of metrology related to overlay
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2024
Anhängig
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09.01.2025
Method and apparatus for improving accuracy of soft x-ray metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.06.2024
Anhängig
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09.01.2025
Electrostatic Clamp Arrangement
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.06.2024
Anhängig
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09.01.2025
Objekthalter, Objekttisch, Optisches Element und Verfahren zur Steuerung der Flachheit einer Oberfläche und deren Verwendung in einem Lithographischen Verfahren oder Gerät
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.01.2025
Objekthalter, Objekttisch, Optisches Element und Verfahren zur Steuerung der Flachheit einer Oberfläche und deren Verwendung in einem Lithographischen Verfahren oder Gerät
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08.01.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung der Genauigkeit von Weicher Röntgenmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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08.01.2025
Trägerplatte und Werkzeug zur Heterogenen Integration von Matrizen mit Unterschiedlicher Grösse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.01.2025
Elektrostatische Klemmvorrichtung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.01.2025
Elektrostatische Klemmvorrichtung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.01.2025
Objektträger mit einer Mehrere Stützelemente Aufweisenden Auflagefläche oder Optisches Element für eine Lithographische Vorrichtung, mit einer Metall-Si-Mehrschicht, einer Metall-Ge-Mehrschicht Und/oder einer Chromnitridschicht zu Selektiver Veränderung der Höhe Individueller Stützelemente oder der Gestalt des Optischen Elements in einer Thermischen Behandlung und Verfahren zur Korrektur der Flachheit einer Oberfläche des Objektträgers oder des Optischen Elements
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.01.2025
Objektträger mit Reversibel Veränderbarem Kristallinem/amorphem Phasenmaterial zu Selektiver Veränderung der Höhe Individueller Stützelemente, Entsprechendes Herstellungsverfahren und Entsprechende Verwendung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
There is provided an object holder configured to support an object, the object holder comprising a support surface having a plurality of support elements, wherein the plurality of support elements comprise a reversibly changeable crystalline/amorphous phase material configured to provide a selectively changeable height of individual support elements. Also provided is an object table comprising such an object holder, An apparatus for controlling the flatness of a surface comprising such an object holder, a lithographic apparatus or tool comprising such an object holder, a method of controlling the shape of a surface, a method of manufacturing an object holder, and the use of such apparatuses or method in a lithographic apparatus or process. |
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08.01.2025
Verfahren der Metrologie im Zusammenhang mit Überlagerung
Optik & Fototechnik
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02.01.2025
Pellicle membrane, pellicle, and method for manufacturing the same
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.05.2024
Anhängig
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02.01.2025
System and method for robot calibration
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.06.2024
Anhängig
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02.01.2025
A sealing system and a system for sealing an opening in a vacuum system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2024
Anhängig
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02.01.2025
Verfahren und Vorrichtung zur In-Situ-Messung der Temperatur eines Wafers im Vakuum
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2025
System and method for substrate alignment, and an apparatus including the system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.05.2024
Anhängig
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02.01.2025
Reluktanzaktuator, Positionierungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung, Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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02.01.2025
Reluktanzaktuator, Positionierungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung, Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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02.01.2025
Metrology Target
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.05.2024
Anhängig
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02.01.2025
Bearing
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.05.2024
Anhängig
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02.01.2025
Verfahren und Vorrichtung zur In-Situ-Messung der Temperatur eines Wafers im Vakuum
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.01.2025
Dichtungssystem und System zum Abdichten einer Öffnung in einem Vakuumsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.01.2025
Strukturierungsvorrichtung und Verfahren zur Verwendung davon
Optik & Fototechnik
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01.01.2025
System für Geladene Teilchen, Verfahren zur Bearbeitung einer Probe unter Verwendung eines Mehrfachstrahls von Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.01.2025
Pellikel und Membranen zur Verwendung in einem Lithographischen Gerät
Optik & Fototechnik
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26.12.2024
Optical Measurement Mark
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2024
Anhängig
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26.12.2024
Anti-reflective nanostructures for semiconductor lithography, metrology, and inspection systems
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.05.2024
Anhängig
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26.12.2024
Method of predicting a response of an electromagnetic system to illumination electromagnetic radiation
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.05.2024
Anhängig
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26.12.2024
Substrathalter
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26.12.2024
Integrated photonic chip for interference based alignment sensing
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2024
Anhängig
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26.12.2024
Substrathalter
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.12.2024
Reticle design for minimizing thermal strain
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.06.2024
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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