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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
08.08.2024
Second illumination mode selector (ims) for yieldstar
WO2024160479
Optik & Fototechnik
08.08.2024
Apparatus for contamination reduction in charged particle beam systems
WO2024160448
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2024
Holographie auf Basis Niederenergetischer Elektronenmikroskopie
EP4411783
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2024
Vorrichtung und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4409617
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2024
Phase generated carrier interrogator and associated phase generated carrier interrogation method
WO2024156440
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.08.2024
Target Material Storage Assembly For an Euv Radiation Source
WO2024156525
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektronik & Schaltungstechnik
02.08.2024
Method of focus metrology
WO2024156458
Optik & Fototechnik
02.08.2024
Progressively energized electrostatic clamp for a lithography apparatus
WO2024156457
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
02.08.2024
Direct Digitizing Detection Channel
WO2024156512
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2024
Objekthalter und Verfahren zur Herstellung des Objekthalters
EP4407374
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2024
System und Verfahren zur Erzeugung von Superkontinuumstrahlung
EP4407372
Optik & Fototechnik
31.07.2024
Optisches Modul für Extrem-Ultraviolett-Lichtquelle
EP4405732
Optik & Fototechnik
25.07.2024
Focus metrology method and associated metrology device
WO2024153407
Optik & Fototechnik
25.07.2024
Fastener systems and components for loading
WO2024153430
Maschinenelemente & Fluidtechnik
25.07.2024
Control conductivity of polyimide film by irradiation for rtc application
WO2024153429
Optik & Fototechnik
25.07.2024
Method and apparatus for patterning process performance determination
WO2024153591
Optik & Fototechnik
24.07.2024
System und Verfahren zur Inspektion durch Fehlermechanismusklassifizierung und -Identifizierung in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4402540
Optik & Fototechnik
24.07.2024
Optische Komponente auf Basis einer Photonischen Hohlkernkristallfaser zur Breitbandstrahlungserzeugung
EP4365653
Optik & Fototechnik
24.07.2024
Thermische Konditionierungseinheit, Substrathandhabungsvorrichtung und Lithografische Vorrichtung
EP4402538
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2024
Sensorsystem
EP4402537
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.07.2024
System and method for discharging a patterning device
WO2024149536
Optik & Fototechnik
18.07.2024
Substrate Clamp Lubrication
WO2024149504
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2024
Systeme und Verfahren zur Erkennung von Defekten bei einer Musterungsvorrichtung
EP4399571
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.07.2024
Fokusmetrologieverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4400913
Optik & Fototechnik
17.07.2024
Vorrichtung mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
EP3660883
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2024
Sem-Bildverbesserung
EP4399731
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2024
Verfahren zur Überwachung eines Lithographischen Verfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP4399572
Optik & Fototechnik
11.07.2024
Improved dynamics geometry for one dimensional leaf spring guiding
WO2024146741
Optik & Fototechnik
10.07.2024
Schmierung einer Substratklemme
EP4398034
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.07.2024
Methods and systems for determining reticle deformation
WO2024141236
Optik & Fototechnik
04.07.2024
A fluid handling system and method
WO2024141208
Optik & Fototechnik
04.07.2024
Euv light source target generator with pre-coalescence droplet detection module
WO2024141348
Elektronik & Schaltungstechnik
04.07.2024
Method to generate an acceleration setpoint profile for a movable object, setpoint generator and lithographic apparatus
WO2024141209
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.07.2024
Apparatuses and methods for extreme ultraviolet light source utilizing thermally induced breakup of target material stream
WO2024141345
Elektronik & Schaltungstechnik
04.07.2024
System, methods, and apparatuses with reduced noise current
WO2024141275
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.07.2024
Charged particle apparatus with improved vacuum chamber
WO2024141423
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.07.2024
Masking device and controlling method thereof
WO2024141487
Optik & Fototechnik
04.07.2024
Multichannel Lock-In Camera For Multi-Parameter Sensing in Lithographic Processes
WO2024141235
Optik & Fototechnik
04.07.2024
Source mask optimization based on systematic effects on a lithographic apparatus
WO2024141256
Optik & Fototechnik
04.07.2024
Metrology system based on multimode optical fiber imaging and lithographic apparatus
WO2024141215
Optik & Fototechnik

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Elektrische Energietechnik
171
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92
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60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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