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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
04.05.2022
Lithografisches Verfahren
EP3488294
Optik & Fototechnik
04.05.2022
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
EP3991255
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2022
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
EP3988996
Optik & Fototechnik
20.04.2022
Lochmuster zur Definition von Multistrahlen
EP3985710
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.04.2022
Interferometersystem, Verfahren zur Bestimmung eines Modussprungs einer Laserquelle eines Interferometersystems, Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Beweglichen Objekts und Lithografische Vorrichtung
EP3983750
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.04.2022
Elektronenoptische Anordnung mit Elektromagnetischer Abschirmung
EP3982391
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2022
Mehrstrahlige Ladungsteilchensäule
EP3982392
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2022
System für Geladene Teilchen, Blendenanordnung, Werkzeug für Geladene Teilchen und Verfahren zum Betreiben eines Systems für Geladene Teilchen
EP3982390
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2022
Druckregelventil, Flüssigkeitshandhabungsstruktur für Lithografische Vorrichtung und Lithografische Vorrichtung
EP3529665
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.04.2022
Achromatische Optische Relaisanordnung
EP3978964
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.04.2022
Ladungsteilchenstrahlengerät mit Geringem Übersprechen
EP3977499
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2022
Vorrichtung für Mehrfachladungsteilchenstrahl und Verfahren zum Betrieb davon
EP3977500
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2022
Vorrichtung mit Geladenem Mehrfachteilchenstrahl
EP3977501
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2022
Beurteilungswerkzeug für Geladene Partikel, Inspektionsverfahren
EP3975222
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2022
Pumpe
EP3974905
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.03.2022
Verfahren zur Erzeugung von Breitbandstrahlung und Zugehörige Breitbandquelle und Metrologievorrichtung
EP3974899
Optik & Fototechnik
23.03.2022
Grundplatte und Substratanordnung
EP3971647
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Verfahren zur Durchführung von Metrologie
EP3971555
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.03.2022
Positionsmesssystem und Lithographische Vorrichtung
EP3317725
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.03.2022
Hochspannungs-Verbinder und Durchführung für eine Vakuum-Vorrichtung
EP3971941
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Objektivlinsenanordnung, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches System-Array, Verfahren zur Fokussierung, Objektivlinsenanordnung
EP3971940
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Beurteilungswerkzeug für Geladene Partikel, Inspektionsverfahren
EP3971939
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Auf ein Objekt Während eines Lithografischen Prozesses zu Projizierende Markierung und Verfahren zum Entwurf einer Markierung
EP3971648
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Austauschbares Modul für Geladene Teilchen
EP3971938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2022
System und Verfahren zur Verzögerungszeitmessung
EP3968035
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.03.2022
Vorrichtung mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren
EP3966634
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.03.2022
Strahlungsquellenanordnung und Metrologiegerät
EP3968090
Optik & Fototechnik
09.03.2022
Mustererzeugungsvorrichtung
EP3963401
Optik & Fototechnik
09.03.2022
Wellenfrontmetrologiesensor und Maske Dafür, Verfahren zur Optimierung einer Maske und Zugehörige Vorrichtungen
EP3964809
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.03.2022
Objektpositionierer, Verfahren zur Korrektur der Form eines Objekts, Lithografisches Gerät, Vorrichtung zur Objektinspektion, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3963403
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2022
Beleuchtungsanordnung und Zugehöriges Digitales Holographisches Dunkelfeld-Mikroskop
EP3964892
Optik & Fototechnik
02.03.2022
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
EP3962241
Elektronik & Schaltungstechnik
02.03.2022
Abbildung von Metriken zwischen Fertigungssystemen
EP3961304
Optik & Fototechnik
02.03.2022
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
EP3317726
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2022
Multiskalen Physikalische Ätzmodellierung und Verfahren dafür
EP3961473
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2022
Ausleseschaltung für einen Detektor für Pixelierte Elektronen
EP3961268
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.03.2022
Lithografiesystem und Verfahren zur Verarbeitung eines Ziels, Wie Etwa eines Wafers
EP2823361
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Identifizierung von Kontaminationen in einem Halbleiterwerk
EP3961303
Optik & Fototechnik
02.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Konzeptdriftminderung
EP3961518
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
23.02.2022
Kontaminationsfalle
EP3957136
Elektronik & Schaltungstechnik

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132
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125
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60
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37
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34
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33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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