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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
24.11.2021
Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen
EP3913429
Optik & Fototechnik
24.11.2021
Konfiguration eines Eingebermodells
EP3913435
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.11.2021
Euv-Strahlungsquelle
EP3911126
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
17.11.2021
Verfahren zur Modellierung von Systemen oder zur Durchführung von Prädiktiver Wartung von Systemen, Wie Etwa Lithografische Systeme, sowie Zugehörige Lithografische Systeme
EP3910419
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
17.11.2021
Polarisationssteuerungssystem
EP3910420
Optik & Fototechnik
17.11.2021
Verfahren zur Direkten Zersetzung von Stochastischen Mitwirkenden
EP3910418
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.11.2021
Verfahren zur Bestimmung einer Inspektionsstrategie für eine Gruppe von Substraten in einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP3910417
Optik & Fototechnik
10.11.2021
Verfahren zur Verringerung von Effekten einer Linsenheizung Und/oder -Kühlung in einem Lithographischen Prozess
EP3702839
Optik & Fototechnik
10.11.2021
Mehrstrahl-Inspektionsgerät
EP3906578
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2021
Bestimmung einer Teilmenge von Komponenten einer Optischen Charakteristik einer Mustervorrichtung
EP3906442
Optik & Fototechnik
10.11.2021
Ladungsteilchenstrahlsystem zum Abtasten einer Probe
EP3906579
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2021
Substrathalter für eine Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
EP3903152
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2021
Inspektionswerkzeug, Verfahren zum Betreiben eines Inspektionswerkzeugs und Nichttransitorisches Computerlesbares Medium
EP3901982
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2021
Lithografische Vorrichtung mit Thermischem Konditionierungssystem zur Konditionierung eines Wafers
EP3899663
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung
EP3899659
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Verfahren zur Erzeugung und Optimierung eines Probenschemas
EP3899664
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Objekttisch mit einer Elektrostatischen Klemme
EP3899665
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage einer mit einem Prozess Assoziierten Prozessmetrik
EP3901700
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
13.10.2021
Ausrichten eines Verzerrten Bildes
EP3893057
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.10.2021
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Zugehörige Vorrichtung und Computerprogramm
EP3893056
Optik & Fototechnik
13.10.2021
Blendenanordnung, Strahlmanipulatoreinheit, Verfahren zum Manipulieren Geladener Teilchenstrahlen und Geladene Teilchenprojektionsvorrichtung
EP3893263
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2021
Beurteilungswerkzeug mit Geladenen Partikeln, Inspektionsverfahren
EP3893264
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2021
Verfahren zur Vorhersage der Ausbeute eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP3891558
Optik & Fototechnik
13.10.2021
Verfahren zur Bestimmung der den Ertrag Beeinträchtigenden Grundursache bei einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP3891559
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2021
Entfernung eines Artefakts aus einem Bild
EP3889684
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.10.2021
Anordnung mit einem Nichtlinearen Element und Verfahren zu deren Verwendung
EP3889681
Optik & Fototechnik
29.09.2021
Flutsäule, Werkzeug für Geladene Teilchen und Verfahren zum Fluten einer Probe mit Geladenen Teilchen
EP3886138
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Elektromagnetische Zusammengesetzte Linse und Optisches System mit Geladenen Teilchen mit einer Solchen Linse
EP3881347
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP3882701
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Objekthalter, Werkzeug und Verfahren zur Herstellung eines Objekthalters
EP3882700
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2021
Metrologiemessverfahren und -Vorrichtung
EP3879343
Optik & Fototechnik
15.09.2021
Verfahren zum Ableiten einer Lokalen Gleichförmigkeitsmetrik und Zugehörige Vorrichtungen
EP3879342
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.09.2021
Verfahren im Herstellungsverfahren einer Vorrichtung, Nichtflüchtiges Computerlesbares Medium und zur Ausführung des Verfahrens Konfiguriertes System
EP3877812
Optik & Fototechnik
15.09.2021
Aperturkörper, Flutsäule und Ladungsteilchenwerkzeug
EP3879557
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Verlängerung der Lebensdauer eines Zielmaterialausgabesystems
EP3874915
Elektronik & Schaltungstechnik
08.09.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
EP3875633
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
08.09.2021
Schwingungsisolationssystem und Zugehörige Anwendungen in der Lithographie
EP3876036
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.09.2021
Strahlmanipulator in einer Ladungsteilchenstrahl-Belichtungsvorrichtung
EP3876258
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2021
Metrologieverfahren und -Vorrichtung zur Messung einer Periodischen Struktur auf einem Substrat
EP3876037
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.09.2021
Interferometersystem und Lithographievorrichtung
EP3872444
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
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37
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34
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33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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