Ebara Patente
🇯🇵 Japan
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.514 gesamt| Patent | |||
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13.04.2022
Verwendung einer Zusammensetzung enthaltend Silikotitanat mit Sitinakitstruktur und Niobium
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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07.04.2022
Polishing device, and method for determining when to replace polishing pad
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2021
Anhängig
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30.03.2022
Am-Vorrichtung zur Herstellung eines Formkörpers und Verfahren zum Prüfen der Bestrahlungsposition in einem Am-Gerät
Kunststoff- & Polymertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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30.03.2022
Am-Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Formobjekts
Kunststoff- & Polymertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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17.03.2022
Electromagnet device, method for driving electromagnet device, and electromagnet control system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2021
Anhängig
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09.03.2022
Lagervorrichtung und Vakuumpumpenvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2019
Erteilt am 09.03.2022
Vertretung
Zusammenfassung
A bearing apparatus capable of reducing an installation space of a vacuum pump and sufficiently exhibiting a function of a bearing is disclosed. The bearing apparatus comprises: a bearing configured to support a shaft extending in a vertical direction; a bearing housing configured to house the bearing; a rotating cylinder disposed below the bearing housing and capable of fixing to the shaft, and a bearing casing configured to house the bearing, the bearing housing, and the rotating cylinder. The rotating cylinder comprises a slope formed on an outer circumferential surface of the rotating cylinder. |
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24.02.2022
Method for finalizing communication path in monitoring system, and monitoring system
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Status
Angemeldet am 18.06.2021
Anhängig
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24.02.2022
Method and apparatus for cleaning washing tool, substrate washing device, and method for manufacturing washing tool
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.07.2021
Anhängig
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09.02.2022
Spaltrohrmotor und damit Angetriebene Pumpe und Raketentriebwerkssystem und Flüssigbrennstoffrakete mit Verwendung davon
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Elektrische Energietechnik
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20.01.2022
Substrate treatment apparatus, and waterproofing device for acoustic sensor
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.07.2021
Anhängig
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13.01.2022
Liquid supply device and polishing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2021
Anhängig
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05.01.2022
Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung einer Oberfläche eines Substrats
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2018
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
Zusammenfassung
An apparatus and a method which can perform different processes, such as polishing and cleaning, on a surface of a substrate, such as a wafer, with a single processing head, and can process the surface of the substrate efficiently are disclosed. The apparatus according to the present invention includes: a substrate holder configured to hold a substrate and rotate the substrate; and a processing head configured to bring scrubbing tapes into contact with a first surface of the substrate to process the first surface. The processing head includes: pressing members arranged to press the scrubbing tapes against the first surface of the substrate; position switching devices configured to be able to switch positions of the pressing members between processing positions and retreat positions; tape feeding reels configured to feed the scrubbing tapes, respectively; and tape take-up reels configured to take up the scrubbing tapes, respectively. |
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30.12.2021
Ultrasonic processing device and ultrasonic cutting device
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 11.06.2021
Anhängig
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29.12.2021
Verfahren zur Herstellung eines Laufrads
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.10.2016
Erteilt am 29.12.2021
Vertretung
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16.12.2021
Substrate processing device, computer-readable recording medium with program recorded therein, and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.05.2021
Anhängig
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15.12.2021
Steuerungsvorrichtung, Steuerungssystem, Steuerungsverfahren, Programm und Vorrichtung zum Maschinellen Lernen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 06.05.2019
Erteilt am 15.12.2021
Vertretung
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02.12.2021
Polishing device, treatment system, and polishing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Cleaning device and cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.05.2021
Anhängig
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18.11.2021
Method for manufacturing barrier metal-free metal wiring structure, and barrier metal-free metal wiring structure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2021
Anhängig
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03.11.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung einer Rückseite eines Substrats
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.04.2017
Erteilt am 03.11.2021
Vertretung
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27.10.2021
Brennerkopf für Abgasbehandlungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung Davon, Brennkammer für Abgasbehandlungsvorrichtung sowie Herstellungsverfahren und Wartungsverfahren dafür
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.08.2017
Erteilt am 27.10.2021
Vertretung
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27.10.2021
Poliervorrichtung und Polierverfahren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 31.05.2013
Erteilt am 27.10.2021
Vertretung
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06.10.2021
Einrichtung zum Halten eines Substrats und Vorrichtung zur Bearbeitung dessen
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2020
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Provided is a top ring that ensures uniformly pressing a substrate against a polishing pad. A top ring 302 for holding a substrate WF includes a base member 301 coupled to a top ring shaft 18, an elastic film 320 that is mounted to the base member 301 and forms a pressurization chamber 322 for pressurizing the substrate WF between the base member 301 and the elastic film 320, a substrate suction member 330 that includes a porous member 334 including a substrate suction surface 334a for suctioning the substrate WF and a pressure reducing portion 334b communicating with a pressure reducing unit 31. The substrate suction member 330 is held to the elastic film 320. |
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30.09.2021
Workpiece chemical-mechanical polishing system, computation system, and method for generating simulation model of chemical-mechanical polishing
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2021
Anhängig
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29.09.2021
Vorrichtung zur Herstellung einer Versorgungsflüssigkeit und Verfahren zur Herstellung Dergleichen
Verfahrens- & Trenntechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2017
Erteilt am 29.09.2021
Vertretung
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23.09.2021
Processing system, processing-part exchange device, processing-part determination device, and method for exchanging processing part on grinder by using processing system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 07.10.2020
Anhängig
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22.09.2021
Laufrad, mit Laufrad Versehene Pumpe und Verfahren zur Herstellung eines Laufrades
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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16.09.2021
Warning display device
Steuerungs- & Regelungstechnik
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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Status
Angemeldet am 25.01.2021
Anhängig
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16.09.2021
Polishing method, polishing device, and computer-readable recording medium recording program
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2021
Anhängig
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08.09.2021
Vorrichtung und Verfahren zum Polieren einer Oberfläche eines Substrats
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 13.07.2017
Erteilt am 08.09.2021
Vertretung
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12.08.2021
Substrate processing device and substrate processing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2021
Anhängig
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11.08.2021
Spaltrohrmotorpumpe
Elektrische Energietechnik
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05.08.2021
Centrifugal Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 25.09.2020
Anhängig
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01.07.2021
Cleaning device, polishing device, and device and method for calculating rotational rate of substrate in cleaning device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.12.2020
Anhängig
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30.06.2021
Entgiftungsvorrichtung, Verfahren zum Ersetzen von Rohrleitungsabschnitten einer Entgiftungsvorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Rohrleitungen einer Entgiftungsvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.10.2019
Erteilt am 30.06.2021
Vertretung
Zusammenfassung
A detoxifying device 100 having an inner wall 104 that forms a flow passage 103 through which treatment gas flows includes a first piping 130 that forms a part of the flow passage 103, a replaceable piping section 170 that forms a part of the flow passage 103 at the position downstream of the first piping 130, and is connected thereto for sprinkling the cleaning water to remove the solid product adhering to the inner wall 104, and a second piping 150 that forms a part of the flow passage 103 at the position downstream of the piping section 170, and is connected thereto. |
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23.06.2021
Substratverarbeitungsvorrichtung und Substrathaltevorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 11.04.2019
Erteilt am 23.06.2021
Vertretung
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17.06.2021
Processing unit and substrate processing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.10.2020
Anhängig
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17.06.2021
Substrate cleaning system and substrate cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2020
Anhängig
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17.06.2021
Substrate cleaning device, polishing device, buffing device, substrate cleaning method, substrate processing device, and machine learning device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2020
Anhängig
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17.06.2021
Substrate processing device and substrate processing method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2020
Anhängig
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Wer vertritt Ebara?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Ebara vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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