FEI Company Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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882 gesamt| Patent | |||
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01.06.2016
Schaltungssonde für Ladungsträgerstrahlsystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
A probe assembly can be selectively connected and disconnected from its electrical harness within a vacuum chamber by motion of a stage supporting the probe assembly, so that the probe assembly with the work piece mounted can be rotated and tilted without interference from a cable, and can then be reconnected without opening the vacuum chamber. Also described is a means of grounding a sample and probes when the probe assembly is disconnected from its electrical harness and a means of preventing damage to the probe mechanism and the probe itself by ensuring that the probes are not sticking up too far during operations. |
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01.06.2016
Lösen einer Sonde von einer TEM-Probe während Probenvorbereitung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.05.2016
Niedrigenergieionenstrahlätzung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.05.2016
Verfahren zur Verwendung einer kombnierten teilchenoptischen Linse
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.05.2016
Ladungsträgerteilchenmikroskop mit Barometrischer Druckkorrektur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.05.2016
Ladungsträgerteilchenmikroskop mit barometrischer Druckkorrektur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.05.2016
Kontaktlose Temperaturmessung in einem Ladungsträgerteilchenmikroskop
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.05.2016
System und Verfahren zur Ortung einer hohen Anzahl an fluoreszierenden Marken in biologischen Proben
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.05.2016
Verfahren zur Verarbeitung eines Werkstückes in einer Vakuumkammer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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04.05.2016
Verfahren zur Vorbereitung von Proben für Bildgebung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.05.2016
Zusammengesetzter Abtastpfad in einem Ladungsträgerteilchenmikroskop
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.04.2016
Dosisbasierte Endpunktbestimung für das Nieder-kV-FIB-Ätzen bei der TEM-Probenherstellung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.04.2016
System mit geladenem Teilchenstrahl
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.04.2016
Kompakte Hf-Antenne für eine Induktiv Gekoppelte Plasmaionenquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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20.04.2016
Induktiv gekoppelte Plasmaquelle als eine Elektronenstrahlquelle zur Spektralanalyse
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.04.2016
Funktionalisierte Gitter zur Lokalisierung und Bildgebung Biologischer Proben und Verfahren zur Verwendung davon
Pharma & Biotechnologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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20.04.2016
Verfahren und Apparat zur statistischen Charakterisierung von Nano-Partikeln
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.04.2016
Konditionierung einer Phasenplatte ohne Öffnung in einem TEM
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.04.2016
Rastermikroskop mit adaptiver Rasterung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.04.2016
Verfahren zur Abbildung einer Probe in einer Vorrichtung mit zwei geladenen Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.04.2016
Schikanenaustasteranordnung für ein Ladungsträgerstrahlsysteme und Verfahren zur Verwendung davon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.03.2016
Bestimmung von Emissionsparametern von Feldemissionsquellen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
The state of an emitter can be determined by measurements of how the current changes with the extraction voltage. A field factor ² function is determined by a series of relatively simple measurements of charged particles emitted at different conditions. The field factor can then be used to determine derived characteristics of the emission that, in the prior art, were difficult to determine without removing the source from the focusing column and mounting it in a specialized apparatus. The relations are determined by the source configuration and have been found to be independent of the emitter shape, and so emission character can be determined as the emitter shape changes over time, without having to determine the emitter shape and without having to redefine the relation between the field factor and the series of relatively simple measurements, and the relationships between the field factor and other emission parameters. |
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30.03.2016
Verfahren und System für Computertomographie-Bildgebung
Medizintechnik & Gesundheit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2011
Erteilt am 30.03.2016
Vertretung
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30.03.2016
Verfahren zum Betrachten von Proben mit einem Fluoreszenzmikroskop
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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23.03.2016
Röntgendetektor für Transmissionselektronenmikroskope
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.03.2016
Teilchenstrahlsystem mit Ionengenerator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.03.2016
System zur Befestigung einer Elektrode an einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.03.2016
Ablaufsteuerung zur Kombination automatisierter und manuell unterstützer Aufgaben in einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.03.2016
Verbesserte Spektroskopie in einem Transmissionsmikroskop mit geladenen Partikeln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.03.2016
Verfahren zur Erfassung von Ebsp-Mustern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.03.2016
Herstellung einer planaren Sichtprobe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 22.06.2007
Erteilt am 16.03.2016
Vertretung
Bakker, Hendrik · Eindhoven
Bakker, Hendrik · Eindhoven
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09.03.2016
Verfahren zur Spektroskopiedurchführung in einem Transmissions-Ladungsträger-Mikroskop
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.03.2016
Verbesserter Strahlungssensor und dessen Anwendung in einem Ladungsteilchenmikroskop
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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02.03.2016
Mikroskopie mit Geladenen Teilchen Kombiniert mit Raman-Spektroskopie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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02.03.2016
Verbesserter Strahlungssensor und dessen Anwendung in einem Ladungsteilchenmikroskop
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.03.2016
Verfahren zur Erfassung von EBSP-Mustern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.02.2016
Correction Of Beam Hardening Artifacts in Microtomography For Samples Imaged in Containers
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 15.08.2015
Anhängig
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25.02.2016
Tomographic reconstruction for material characterization
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 15.08.2015
Anhängig
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10.02.2016
Niedrigenergieionendünnung oder -abscheidung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
Samples such as semiconductor samples to be imaged in a Transmission Electron Microscope must, after excavating said sample from a wafer, be thinned to form a lamella with a thickness of, for example, 20 nm. This is commonly done by sputtering with ions in a charged particle apparatus equipped with a Scanning Electron Microscope (SEM) column and Focused Ion Beam (FIB) column, further equipped with one or more Gas Injection Systems (GISses). Likewise metallic samples (comprising for example steel and silicon) are inspected in the material science. A problem when milling a lamella to such a thickness is that a large part of the lamella becomes amorphous due to the bombardment with ions, and that ions get implanted in the sample. The invention provides a solution to said problem by applying a voltage difference between the capillary of the GIS (201) and the sample (200), and directing a beam of ions or electrons (206) to the jet of gas (207). The beam thereby ionizes gas that is accelerated to the sample, where (when using a low voltage between sample and GIS) low energy milling occurs, and thus little sample thickness becomes amorphous. |
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03.02.2016
Ladungsträgerstrahl-Bearbeitungssystem mit Visueller und Infrarotbildgebung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt FEI Company?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die FEI Company vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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