KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
495 gesamt| Patent | |||
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21.02.2019
Machine Learning in Metrology Measurements
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.12.2017
Anhängig
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24.01.2019
Image-based metrology overlay metrology and monitoring using through-focus imaging
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2018
Anhängig
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17.01.2019
Methods and systems for semiconductor metrology based on polychromatic soft x-ray diffraction
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.07.2018
Anhängig
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03.01.2019
System and method for x-ray imaging and classification of volume defects
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.06.2018
Anhängig
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02.01.2019
Analyse der Grundursachen von Prozessabweichungen in der Scatterometrie
Optik & Fototechnik
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13.12.2018
Repeater Defect Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2018
Anhängig
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13.12.2018
Multi-column scanning electron microscopy system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2018
Anhängig
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06.12.2018
Process monitoring for deep structures with x-ray scatterometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.05.2018
Anhängig
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05.12.2018
Optisches Bildgebungssystem mit Katroptischem Objektiv, Breitbandobjektiv mit Spiegel sowie Brechungslinsen und Optisches Breitband-Bildgebungssystem mit Zwei oder Mehr Abbildungswegen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.10.2008
Erteilt am 05.12.2018
Vertretung
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29.11.2018
Scalable and flexible job distribution architecture for semiconductor inspection and metrology systems
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 18.05.2018
Anhängig
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29.11.2018
Zonal analysis for recipe optimization and measurement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2017
Anhängig
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22.11.2018
Apparatus and methods for inspecting reticles
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.12.2017
Anhängig
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14.11.2018
Verfahren und System zur Regionalen Phasenabwicklung mit Strukturunterstützter Korrektur
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2016
Erteilt am 14.11.2018
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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07.11.2018
Hybride Inspektoren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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31.10.2018
Standortbasierte Quantifizierung einer Substrattopographie und Ihres Verhältnisses zu Defokussierung und Überlappung in der Lithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.01.2011
Erteilt am 31.10.2018
Vertretung
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31.10.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Form- oder Dickedaten eines Substrats
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.02.2010
Erteilt am 31.10.2018
Vertretung
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31.10.2018
Scatterometrie-Metrologie-Targetdesignoptimierung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2010
Erteilt am 31.10.2018
Vertretung
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18.10.2018
Filter assembly for providing adjustable spectral capabilities in a broadband inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.04.2018
Anhängig
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18.10.2018
System, method and computer program product for systematic and stochastic characterization of pattern defects identified from a fabricated component
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.04.2018
Anhängig
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11.10.2018
Contour based defect detection
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 30.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Care areas for improved electron beam defect detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2018
Anhängig
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27.09.2018
Stochastically-aware metrology and fabrication
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2018
Anhängig
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27.09.2018
Methods and systems for inline parts average testing and latent reliability defect detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2018
Anhängig
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07.09.2018
Determining the impacts of stochastic behavior on overlay metrology data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.02.2018
Anhängig
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07.09.2018
Layer-to-layer feedforward overlay control with alignment corrections
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2018
Anhängig
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30.08.2018
Inspection of photomasks by comparing two photomasks
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.02.2018
Anhängig
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16.08.2018
Identifying Process Variations During Product Manufacture
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
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16.08.2018
Electron source architecture for a scanning electron microscopy system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2018
Anhängig
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16.08.2018
Mitigation Of Inaccuracies Related To Grating Asymmetries in Scatterometry Measurements
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
Anhängig
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08.08.2018
Fotolacksimulation
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2010
Erteilt am 08.08.2018
Vertretung
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12.07.2018
Device-Like Metrology Targets
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.02.2017
Anhängig
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23.05.2018
Streulichtmessung mit Diskreter Polarisation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2011
Erteilt am 23.05.2018
Vertretung
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17.05.2018
Lithography systems with integrated metrology tools having enhanced functionalities
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2017
Anhängig
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03.05.2018
Fault discrimination and calibration of scatterometry overlay targets
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.10.2017
Anhängig
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03.05.2018
Process Module(s) Integrated Into A Metrology And/or Inspection Tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.10.2017
Anhängig
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19.04.2018
Diagnostic systems and methods for deep learning models configured for semiconductor applications
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.09.2017
Anhängig
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19.04.2018
Defect review sampling and normalization based on defect and design attributes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.10.2017
Anhängig
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19.04.2018
Metrology systems and methods for process control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.10.2017
Anhängig
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12.04.2018
Expediting Spectral Measurement in Semiconductor Device Fabrication
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.08.2017
Anhängig
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28.03.2018
Doppeltablett-Trägereinheit
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.01.2011
Erteilt am 28.03.2018
Vertretung
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2