KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
24.09.2025	24.09.2025 Gleitendes Aussengehäuse für Aussenwerkzeug EP4620026 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Kombinierte Spektroskopische Reflektometrie und Mustererkennungsbasierte Messungen von Halbleiterstrukturen EP4620017 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Verfahren zur Abbildung der Wegpolarisationssteuerung zur Defekterkennungsempfindlichkeitsverbesserung EP4619737 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Vollständige Wafermessung auf der Basis eines Trainierten Vollständigen Wafermessmodells EP4619739 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.03.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Einzelgreifpupillenlandschaft über Breitbandbeleuchtung EP4619825 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.05.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Titrationsbasiertes Analytisches Verfahren zur Messung von Au in Au-Sulfit-Verarbeitungslösung EP4619748 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Laserstrahlhomogenisierung oder -Formung EP4619818 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Akustischer Xenontröpfchengenerator EP4620069 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Elektronenstrahlpositionsdetektion und -Umpositionierung EP4620018 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.05.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Dynamische Freiformoptik für Lithografiebeleuchtungsstrahlformung EP4620022 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Optik zur Messung von Dickschichten und Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis EP4619733 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.06.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Lokale Wafersignaturmaxima durch Clusterung für Metrologiegeführte Inspektion EP4619738 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Hochpräzise Ausrichtbare Optische Halterung EP4619808 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 System und Verfahren zur Verringerung von Messfehlern in Interferometriebasierter Metrologie EP4619703 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Kalibrierung der Winkelmittelung auf Messgeräten für Blanke Wafer zur Esfqr-Anpassungsverbesserung EP4619706 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Präzisionsstiftsteuerungssystem EP4619700 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Autofokusverfahren für Einstrahl- und Mehrstrahlsysteme EP4620016 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2025	24.09.2025 Rechteckiger Quaderförmiger Nichtpolarisierender Strahlteiler zur Vermeidung von Interferenzstreifen von Oberflächenreflexionen EP4619817 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.02.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2025	18.09.2025 Robust and accurate overlay target design for cmp WO2025193524 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2025	18.09.2025 High brightness x-ray source for semiconductor metrology WO2025193559 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2025	18.09.2025 Dynamic inspection of highly defective wafers WO2025193565 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Optischer Strahlsensor mit Mittendurchlässiger Ausschneidung EP4616182 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 System und Verfahren zur Verfolgung einer Echtzeitposition zur Abtastung von Überlagerungsmetrologie EP4616256 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Vorrichtungen zur Überwachung der Position eines Substrats EP4616446 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Abtastung von Überlagerungsmetrologie mit Hohem Signal-Rausch-Verhältnis EP4616254 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.02.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Oszillierende Sekundärstufe für Rahmenmodus-Overlaymetrologie EP4616146 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Geneigte Gleichmässige Beleuchtung für Bildgebungssysteme EP4616183 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.03.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 System und Verfahren zur Bestimmung der Überlagerungsmessung eines Abtastziels EP4616145 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.03.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2025	17.09.2025 Parallelabtastende Überlagerungsmetrologie mit Optischen Metaoberflächen EP4616144 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.04.2024 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.09.2025	12.09.2025 Method for gas purity improvement using vacuum swing adsorption WO2025188682 Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.09.2025	11.09.2025 Methods and systems for robust, automated tuning of feedforward motion control parameters WO2025188816 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.09.2025	11.09.2025 Method and system for automatic retraining of machine learning models for metrology metric estimation WO2025188683 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Laser-Sustained Plasma Generation in Supersonic Gas Jets WO2025183723 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2024 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Side-By-Side Off-Center die Overlay Target WO2025184049 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Interferometric phase error correction using a neural network WO2025183889 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Flatness precision improvement with systematic error reduction via induced wafer tilt variation WO2025183890 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Three-axis tuned mass damper for turbo molecular pump WO2025184124 Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Use of multiple electron beams for high throughput inspection WO2025184259 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Light weight high stiffness chuck with interchangeable top WO2025184122 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.09.2025	04.09.2025 Cvd Boron Uniformity Overcoming Loading Effects WO2025184123 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2025 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen