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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
11.12.2025
Metrology using reference-based synthetic spectra
WO2025254697
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
04.12.2025
System and method for multi-merit adaptive sampling in overlay metrology
WO2025250568
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.12.2025
Image Reconstruction Via Manifold Learning
WO2025250445
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
04.12.2025
System and method for monitoring supercritical co2 drying
WO2025250490
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Methods and systems for chucking highly bowed semiconductor wafers
WO2025250480
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Methods and systems for measurement of semiconductor structures with mechanical stress modulation
WO2025250711
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2025
Bildsensoren mit Abstimmbarer Schwebender Diffusionsstruktur
EP4655824
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
27.11.2025
Carbon Coated Silicon Carbide Vacuum Wafer Chuck To Control Electrostatic Discharge To Wafer
WO2025244909
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
System and method for defect detection using deep learning-based image segmentation
WO2025244934
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
27.11.2025
Physics Augmented Regression Algorithm For Critical Dimensions in Large Pitch Targets
WO2025245546
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
20.11.2025
System and method for defect detection using a conditional masked autoencoder
WO2025240077
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
20.11.2025
System and method for enhancing photoluminescence
WO2025240176
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Electron beam metrology having a source energy spread with filtered tails
WO2025240279
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Field mirrors for imaging field compression driven photon efficiency and imaging wavefront improvement
WO2025240205
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.11.2025
Electron beam inspections with high sensitivity and throughput
WO2025240371
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Multi-azimuth illumination and imaging inspection system and method
WO2025240806
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.11.2025
Aberration corrector for scanning electron microscope with multiple electron beams
WO2025240800
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Measurement condition dependent, multi-dimensional model of optical dispersion of semiconductor structures
WO2025235185
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Optical method to enhance detection visibility using bright emissive probe
WO2025235337
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.11.2025
Systems and methods for ex-situ bakeout of differentially pumped vacuum chambers
WO2025230751
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Feature placement error (fpe) metrology and correction
WO2025230725
Optik & Fototechnik
06.11.2025
Vision foundation model for multimode imaging
WO2025230721
Software & Datenverarbeitung
05.11.2025
Höhensensor mit mehreren Arbeitsabständen unter Verwendung mehrerer Wellenlängen
EP3807589
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2025
Erkennung von Nichtüberwachten Struktursynonymen mittels Bild-Hashing
EP4200897
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
30.10.2025
System and method for determining overlay measurement of a scanning target using multiple wavelengths
WO2025226420
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.10.2025
Combining deep learning model hidden layer output with specimen-specific input for defect classification or another semiconductor application
WO2025226447
Software & Datenverarbeitung
22.10.2025
Metrologie mit Diffraktionsbasiertem Fokus
EP3507653
Optik & Fototechnik
22.10.2025
Kombination aus Raman- und Spektralellipsometrie mit mehreren Wellenlängen zur Messung eines Filmstapels
EP4634610
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Methods for measurement of raim
WO2025216912
Optik & Fototechnik
16.10.2025
Focus Position Measurement While Scanning
WO2025216977
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.10.2025
Breitbandige Beleuchtungsabstimmung
EP4091016
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.10.2025
Improved ultra-high sensitivity hybrid inspection with full wafer coverage capability
WO2025212714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Single grab pupil landscape via outside the objective lens broadband illumination
WO2025207697
Optik & Fototechnik
02.10.2025
High Contrast Imaging in Bonded Sample Metrology Using Oblique Illumination
WO2025207548
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.10.2025
Combined ellipsometry and scatterometry
WO2025207842
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Scanning diffraction based overlay scatterometry
WO2025207314
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.10.2025
Systems and methods for alignment and placement of electronic devices on carrier tape
WO2025207698
Elektronik & Schaltungstechnik
01.10.2025
Fehlererkennung auf Transparenten oder Transluzenten Wafern
EP3646372
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.10.2025
Multioverlay-Metrologieziel mit Gestapeltem Gitter
EP4623341
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
System and method for device-like overlay targets measurement
WO2025198904
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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