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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
03.09.2025
Erkennung von Repeaterdefekten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
03.09.2025
Fokusmessungen mit Scatterometrie
Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
28.08.2025
Dynamic range extension of optical systems with multiple low intensity beams
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.08.2025
Sample inspection with multiple measurement modes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.08.2025
Methods and systems for real time robust control of machine learning based measurement recipe optimization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
28.08.2025
Image Modeling-Assisted Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
28.08.2025
Vacuum Ultraviolet Light Mirror
Optik & Fototechnik
28.08.2025
Off-axis through the lens mutually coherent dark field imaging system with incoherent light for overlay metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.08.2025
Erzeugung von Simulierten Bildern aus Designinformationen
Software & Datenverarbeitung
21.08.2025
Metrology measurements on small targets with control of zero-order side lobes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.08.2025
Deep learning model diagnostics tools using stacked images
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2025
Bildrauschverringerung unter Verwendung eines Gestapelten Entrauschenden Autocodierers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
14.08.2025
Machine learning libraries for recipe setup
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Systems and methods of sem inspection using selective scan approach
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Metrology with parallel subsystems and mueller signals training
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
14.08.2025
Reduced fluctuations and increased brightness uniformity of laser sustained plasma sources
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.08.2025
Adaptive and robust detection of large defects and image misalignment
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
31.07.2025
Amplitude Asymmetry Measurements in Overlay Metrology
Optik & Fototechnik
31.07.2025
Predicting tool induced shift using moiré overlay targets
Optik & Fototechnik
30.07.2025
Auf Tiefenlernen Basierende Adaptive Regionen von Interesse für Kritische Dimensionsmessungen von Halbleitersubstraten
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2025
Machine learning based semiconductor measurement models trained using historical data
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
24.07.2025
Methods and systems for reflectometry based measurements of deep, large pitch semiconductor structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2025
Process condition measurement device including thermally isolated electronic modules
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2025
Image sensor with oxide free wafer bonded structures and methods for fabricating image sensors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2025
Digital nonlinear neural network based image filtering for semiconductor applications
Software & Datenverarbeitung
10.07.2025
Measurements of semiconductor structures based on data collected at prior process steps
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
10.07.2025
Segmentation-based care area setup for inspection of a specimen using edge detection
Software & Datenverarbeitung
10.07.2025
Diffractive euv spectral purity filters for optical systems
Optik & Fototechnik
09.07.2025
Willkürlicher Wellenfrontkompensator für Optisches Bildgebungssystem mit Tiefem Uv (duv)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.07.2025
Lokalisierte Telezentrizität und Fokusoptimierung für Überlagerungsmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.07.2025
Calibration for in-plane distortion tool-to-tool matching
Software & Datenverarbeitung
02.07.2025
Strontiumtetraborat als Optisches Beschichtungsmaterial
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
02.07.2025
Feld-Zu-Feld-Korrekturen unter Verwendung von Overlay-Zielen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.06.2025
Beleuchtungsabtastung auf Beugungsbasis
19.06.2025
Messungen Komplexer Halbleiterstrukturen auf Basis von Komponentenmesssignalen
19.06.2025
Measurements of complex semiconductor structures based on component measurement signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
19.06.2025
Diffraction-Based Illumination Sampling
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.06.2025
Inspektionssystem mit Nichtrundförmiger Puppe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.06.2025
System and method for overlay metrology using a phase mask
Optik & Fototechnik
12.06.2025
System and method of finding pixel-to-design target for dram inspection
Software & Datenverarbeitung Akustik, Musik & Datenspeicherung

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