KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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03.09.2025
Erkennung von Repeaterdefekten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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03.09.2025
Fokusmessungen mit Scatterometrie
Optik & Fototechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Status
Angemeldet am 30.03.2015
Erteilt am 03.09.2025
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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28.08.2025
Dynamic range extension of optical systems with multiple low intensity beams
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 12.02.2025
Anhängig
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28.08.2025
Sample inspection with multiple measurement modes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.02.2025
Anhängig
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28.08.2025
Methods and systems for real time robust control of machine learning based measurement recipe optimization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 07.02.2025
Anhängig
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28.08.2025
Image Modeling-Assisted Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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28.08.2025
Vacuum Ultraviolet Light Mirror
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.02.2025
Anhängig
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28.08.2025
Off-axis through the lens mutually coherent dark field imaging system with incoherent light for overlay metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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27.08.2025
Erzeugung von Simulierten Bildern aus Designinformationen
Software & Datenverarbeitung
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21.08.2025
Metrology measurements on small targets with control of zero-order side lobes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 10.02.2025
Anhängig
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21.08.2025
Deep learning model diagnostics tools using stacked images
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2025
Anhängig
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20.08.2025
Bildrauschverringerung unter Verwendung eines Gestapelten Entrauschenden Autocodierers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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14.08.2025
Machine learning libraries for recipe setup
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2025
Anhängig
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14.08.2025
Systems and methods of sem inspection using selective scan approach
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2025
Anhängig
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14.08.2025
Metrology with parallel subsystems and mueller signals training
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 29.01.2025
Anhängig
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14.08.2025
Reduced fluctuations and increased brightness uniformity of laser sustained plasma sources
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.01.2025
Anhängig
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07.08.2025
Adaptive and robust detection of large defects and image misalignment
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.01.2025
Anhängig
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31.07.2025
Amplitude Asymmetry Measurements in Overlay Metrology
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.01.2025
Anhängig
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31.07.2025
Predicting tool induced shift using moiré overlay targets
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.01.2025
Anhängig
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30.07.2025
Auf Tiefenlernen Basierende Adaptive Regionen von Interesse für Kritische Dimensionsmessungen von Halbleitersubstraten
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.07.2025
Machine learning based semiconductor measurement models trained using historical data
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.01.2025
Anhängig
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24.07.2025
Methods and systems for reflectometry based measurements of deep, large pitch semiconductor structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2025
Anhängig
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24.07.2025
Process condition measurement device including thermally isolated electronic modules
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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24.07.2025
Image sensor with oxide free wafer bonded structures and methods for fabricating image sensors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.01.2025
Anhängig
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17.07.2025
Digital nonlinear neural network based image filtering for semiconductor applications
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 02.01.2025
Anhängig
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10.07.2025
Measurements of semiconductor structures based on data collected at prior process steps
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.12.2024
Anhängig
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10.07.2025
Segmentation-based care area setup for inspection of a specimen using edge detection
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 30.12.2024
Anhängig
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10.07.2025
Diffractive euv spectral purity filters for optical systems
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.12.2024
Anhängig
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09.07.2025
Willkürlicher Wellenfrontkompensator für Optisches Bildgebungssystem mit Tiefem Uv (duv)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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09.07.2025
Lokalisierte Telezentrizität und Fokusoptimierung für Überlagerungsmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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03.07.2025
Calibration for in-plane distortion tool-to-tool matching
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 12.12.2024
Anhängig
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02.07.2025
Strontiumtetraborat als Optisches Beschichtungsmaterial
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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02.07.2025
Feld-Zu-Feld-Korrekturen unter Verwendung von Overlay-Zielen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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19.06.2025
Beleuchtungsabtastung auf Beugungsbasis
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19.06.2025
Messungen Komplexer Halbleiterstrukturen auf Basis von Komponentenmesssignalen
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19.06.2025
Measurements of complex semiconductor structures based on component measurement signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.12.2024
Anhängig
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19.06.2025
Diffraction-Based Illumination Sampling
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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18.06.2025
Inspektionssystem mit Nichtrundförmiger Puppe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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12.06.2025
System and method for overlay metrology using a phase mask
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
System and method of finding pixel-to-design target for dram inspection
Software & Datenverarbeitung
Akustik, Musik & Datenspeicherung
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Status
Angemeldet am 05.12.2024
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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