KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
31.12.2014	31.12.2014 Polarization measurements of metrology targets and corresponding target designs WO2014210381 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2014	31.12.2014 Selection and use of representative target subsets WO2014210384 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2014	24.12.2014 Erzeugung einer Zeitveränderlichen Intensitätskarte für Gitternetze EP2815422 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2013 Anhängig Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2014	24.12.2014 Gas Bearing Assembly For an Euv Light Source WO2014205429 Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2014	24.12.2014 Continuous generation of extreme ultraviolet light WO2014205410 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2014	24.12.2014 Hybrid imaging and scatterometry targets WO2014205274 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2014	24.12.2014 2D Programmable Aperture Mechanism WO2014205282 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2014	24.12.2014 Wafer inspection using free-form care areas WO2014205385 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2014	18.12.2014 System and method for determining the position of defects on objects, coordinate measuring unit and computer program for coordinate measuring unit WO2014200648 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2014	18.12.2014 On-product derivation and adjustment of exposure parameters in a directed self-assembly process WO2014201396 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2014	11.12.2014 System, method and apparatus for polarization control WO2014197814 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2014	11.12.2014 Dynamic removal of correlation of highly correlated parameters for optical metrology WO2014197447 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2014	11.12.2014 Automatic determination of fourier harmonic order for computation of spectral information for diffraction structures WO2014197450 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2014	11.12.2014 Method for auto-learning tool matching WO2014197494 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2014	11.12.2014 Apparatus and methods for finding a best aperture and mode to enhance defect detection WO2014197503 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2014	11.12.2014 Automatic wavelength or angle pruning for optical metrology WO2014197449 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.06.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.12.2014	10.12.2014 Integriertes Analoges Mehrkanal-Front-End und Umsetzer für Hochgeschwindigkeitsbildaufnahmeanwendungen EP2810244 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.02.2013 Anhängig Vertretung Coyle, Philip Aidan · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.12.2014	04.12.2014 Method and system for measuring heat flux WO2014194077 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.12.2014	04.12.2014 Method and system for controlling convection within a plasma cell WO2014193987 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.12.2014	04.12.2014 Multi-Layered Target Design WO2014193983 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.12.2014	04.12.2014 Scatterometry overlay metrology targets and methods WO2014193854 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.12.2014	04.12.2014 Combined imaging and scatterometry metrology WO2014194095 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.12.2014	03.12.2014 Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Form und Dickenvariation eines Wafers EP2807451 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2013 Anhängig Vertretung Coyle, Philip Aidan · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.11.2014	27.11.2014 Metrology system optimization for parameter tracking WO2014189853 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.11.2014	20.11.2014 Integrated Multi-Pass Inspection WO2014185980 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.11.2014	20.11.2014 Integrated Multi-Pass Inspection WO2014186476 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.11.2014	20.11.2014 Metrology system calibration refinement WO2014186768 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.11.2014	20.11.2014 Machine learning method and apparatus for inspecting reticles WO2014186407 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.11.2014	19.11.2014 Verfahren und Vorrichtung für Datenbankgestützte Retikelinspektion zur Requalifizierung EP2803079 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2012 Anhängig Vertretung Coyle, Philip Aidan · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.11.2014	12.11.2014 Vorrichtung zur Untersuchung von Halbleiter-Wafern und Masken, die ein Niederenergie-Elektronenmikroskop mit Zwei Beleuchtungsstrahlen Verwenden EP1290430 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2001 Erteilt am 12.11.2014 Vertretung Lukaszyk, Szymon Kancelaria Patentowa Lukaszyk Haines, Miles John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.10.2014	30.10.2014 Multi-Layer Ceramic Vacuum To Atmosphere Electric Feed Through WO2014176565 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2014	23.10.2014 Inspecting High-Resolution Photolithography Masks WO2014172476 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2014	23.10.2014 Method for correcting position measurements for optical errors and method for determining mask writer errors WO2014172473 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2014	23.10.2014 On-Device Metrology WO2014172648 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.10.2014	23.10.2014 Design based sampling and binning for yield critical defects WO2014172394 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2014	22.10.2014 Bibliothekserstellung mit Derivaten in Optischer Messtechnik EP2791968 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2012 Anhängig Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin Manley, Nicholas Michael · Liverpool Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2014	22.10.2014 Verfahren für Optimierte Scatterometrie EP2791653 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2012 Anhängig Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin WP Thompson · Liverpool Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2014	16.10.2014 System and method for the automatic determination of critical parametric electrical test parameters for inline yield monitoring WO2014168883 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2014	16.10.2014 Dynamic design attributes for wafer inspection WO2014168888 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2014	16.10.2014 Adaptive sampling for semiconductor inspection recipe creation, defect review, and metrology WO2014168884 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen