KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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12.03.2015
Apparatus and method for accurate measurement and mapping of forward and reverse-bias current-voltage characteristics of large area lateral p-n junctions
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2014
Anhängig
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12.03.2015
Method and apparatus for non-contact measurement of forward voltage, saturation current density, ideality factor and i-v curves in p-n junctions
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2014
Anhängig
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05.03.2015
Determining information for cells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 03.09.2013
Anhängig
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05.03.2015
Removing Process-Variation-Related Inaccuracies From Scatterometry Measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.08.2014
Anhängig
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05.03.2015
Scratch filter for wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2014
Anhängig
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05.03.2015
Tuning wafer inspection recipes using precise defect locations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2014
Anhängig
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04.03.2015
Vorrichtung und Verfahren zur Hochauflösenden Elektronenstrahlbildgebung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.02.2015
Metrology tool with combined xrf and saxs capabilities
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.08.2014
Anhängig
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26.02.2015
Block-To-Block Reticle Inspection
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 22.08.2014
Anhängig
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26.02.2015
Qualifying patterns for microlithography
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.08.2014
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26.02.2015
Broadband and wide field angle compensator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.08.2014
Anhängig
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26.02.2015
Method and system for high speed height control of a substrate surface within a wafer inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2014
Anhängig
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26.02.2015
Multi-Model Metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.08.2014
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19.02.2015
System and method for separation of pump light and collected light in a laser pumped light source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.08.2014
Anhängig
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19.02.2015
System and method for imaging a sample with a laser sustained plasma illumination output
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 14.08.2014
Anhängig
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18.02.2015
System und Verfahren zur Aufbereitung eines Degradierten Bildsensors durch Extreme Uv-Strahlung oder Tiefe Uv-Strahlung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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18.02.2015
Temperaturregelung in einem Euv-Fotomasken-Inspektionswerkzeug
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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12.02.2015
Setting up a wafer inspection process using programmed defects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.08.2014
Anhängig
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12.02.2015
Adaptive local threshold and color filtering
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2014
Anhängig
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12.02.2015
Methods and apparatus for patterned wafer characterization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2014
Anhängig
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12.02.2015
Adaptive electrical testing of wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.08.2014
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12.02.2015
Multi-spot illumination for improved detection sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2014
Anhängig
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11.02.2015
System und Verfahren zur Reinigung von Oberflächen und Komponenten einer Maske und Waferinspektionssystem auf Basis der Positiven Säule eines Glühentladungsplasmas
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.02.2015
Monitoring Changes in Photomask Defectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.07.2014
Anhängig
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04.02.2015
Modelloptimierungsansatz auf der Basis von Spektraler Empfindlichkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.03.2013
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
WP Thompson · Liverpool
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04.02.2015
Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung Verborgener Defekte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.01.2015
Reflection symmetric scatterometry overlay targets and methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2014
Anhängig
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28.01.2015
Verfahren und Vorrichtung zur Spektrallumineszenzmessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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22.01.2015
Producing resist layers using fine segmentation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.07.2014
Anhängig
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22.01.2015
Illumination configurations for scatterometry measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.07.2014
Anhängig
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21.01.2015
Verfahren und System zur Bestimmung einer oder mehrerer Optischer Eigenschaften einer Struktur eines Halbleiterwafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.01.2015
Metrology tool stage configurations and operation methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Methods and systems for detecting repeating defects on semiconductor wafers using design data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Combined x-ray and optical metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Identifying registration errors of dsa lines
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.07.2014
Anhängig
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15.01.2015
Aperture Alignment in Scatterometry Metrology Systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.07.2014
Anhängig
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31.12.2014
Optische Metrologie mit Zielen mit Feldverstärkungselementen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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31.12.2014
Tdi imaging system with variable voltage readout clock signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2014
Anhängig
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31.12.2014
Method and system for improving wafer surface inspection sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2014
Anhängig
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31.12.2014
Calculated electrical performance metrics for process monitoring and yield management
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2014
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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