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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
12.03.2015
Apparatus and method for accurate measurement and mapping of forward and reverse-bias current-voltage characteristics of large area lateral p-n junctions
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Method and apparatus for non-contact measurement of forward voltage, saturation current density, ideality factor and i-v curves in p-n junctions
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2015
Determining information for cells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.03.2015
Removing Process-Variation-Related Inaccuracies From Scatterometry Measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
05.03.2015
Scratch filter for wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2015
Tuning wafer inspection recipes using precise defect locations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2015
Vorrichtung und Verfahren zur Hochauflösenden Elektronenstrahlbildgebung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2015
Metrology tool with combined xrf and saxs capabilities
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2015
Block-To-Block Reticle Inspection
Software & Datenverarbeitung
26.02.2015
Qualifying patterns for microlithography
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2015
Broadband and wide field angle compensator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2015
Method and system for high speed height control of a substrate surface within a wafer inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2015
Multi-Model Metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.02.2015
System and method for separation of pump light and collected light in a laser pumped light source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.02.2015
System and method for imaging a sample with a laser sustained plasma illumination output
Optik & Fototechnik
18.02.2015
System und Verfahren zur Aufbereitung eines Degradierten Bildsensors durch Extreme Uv-Strahlung oder Tiefe Uv-Strahlung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
18.02.2015
Temperaturregelung in einem Euv-Fotomasken-Inspektionswerkzeug
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.02.2015
Setting up a wafer inspection process using programmed defects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2015
Adaptive local threshold and color filtering
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2015
Methods and apparatus for patterned wafer characterization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2015
Adaptive electrical testing of wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2015
Multi-spot illumination for improved detection sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2015
System und Verfahren zur Reinigung von Oberflächen und Komponenten einer Maske und Waferinspektionssystem auf Basis der Positiven Säule eines Glühentladungsplasmas
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2015
Monitoring Changes in Photomask Defectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2015
Modelloptimierungsansatz auf der Basis von Spektraler Empfindlichkeit
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
04.02.2015
Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung Verborgener Defekte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2015
Reflection symmetric scatterometry overlay targets and methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.01.2015
Verfahren und Vorrichtung zur Spektrallumineszenzmessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.01.2015
Producing resist layers using fine segmentation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2015
Illumination configurations for scatterometry measurements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2015
Verfahren und System zur Bestimmung einer oder mehrerer Optischer Eigenschaften einer Struktur eines Halbleiterwafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Metrology tool stage configurations and operation methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Methods and systems for detecting repeating defects on semiconductor wafers using design data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Combined x-ray and optical metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Identifying registration errors of dsa lines
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Aperture Alignment in Scatterometry Metrology Systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Optische Metrologie mit Zielen mit Feldverstärkungselementen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Tdi imaging system with variable voltage readout clock signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Method and system for improving wafer surface inspection sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Calculated electrical performance metrics for process monitoring and yield management
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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