Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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14.12.2023
Vacuum-Insulated, Heated Reactor Construction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Liquid cooling plate for cooling of dielectric window of a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Rf and dc frequency and phase locked pulsed edge tilt control system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Substrate temperature control with integrated thermoelectric cooling system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.06.2023
Anhängig
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14.12.2023
In Situ Declogging in Plasma Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.06.2023
Anhängig
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14.12.2023
Chucking system with silane coupling agent
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2023
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14.12.2023
Systems and methods for compressing a sensor-based signal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.05.2023
Anhängig
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14.12.2023
Radio frequency system protection based on temperature inference
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.04.2023
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07.12.2023
Removal Of Metal Salt Precipitates in an Electroplating Tool
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.05.2023
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07.12.2023
Reduced temperature etching of doped silicon oxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Customizing etch selectivity and high aspect ratio feature loading through multi-level pulsing schemes utilizing sinusoidal and custom rf waveforms
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Yttria coating for plasma processing chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2023
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30.11.2023
Throttle valve for substrate processing systems
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Hybrid Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Single Wafer Reactor, Low Temperature, Thermal Silicon Nitride Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Replacement Signaling Seal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Hardmask for high aspect ratio dielectric etch at cryo and elevated temperatures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
Ion energy distribution control over substrate edge with non-sinusoidal voltage source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2023
Anhängig
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23.11.2023
High Modulus Carbon Doped Silicon Oxide Film For Mold Stack Scaling Solutions in Advanced Memory Applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Semiconductor processing chamber components with cladding
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.03.2023
Anhängig
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16.11.2023
Water-based pretreatment for photoresist scum removal
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Simultaneous dielectric etch with metal passivation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Multi-zone gas distribution for asymmetric wafer bow compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Multi-path helical mixer for asymmetric wafer bow compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Carrier ring with tabs
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.05.2023
Anhängig
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16.11.2023
Virtual Semiconductor Fab Environment
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 11.05.2023
Anhängig
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15.11.2023
System und Verfahren zur Automatisierung der Benutzerinteraktion für Halbleiterherstellungsausrüstung
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.09.2018
Erteilt am 15.11.2023
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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09.11.2023
Co-deposition and etch process
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2023
Anhängig
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09.11.2023
Processing chamber purge plate with shroud, and pedestal shield system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2023
Anhängig
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09.11.2023
Gas Supply Line Arrangements
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.04.2023
Anhängig
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09.11.2023
Post-development treatment of metal-containing photoresist
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
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09.11.2023
Multi-Modal Electrostatic Chucking
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2023
Anhängig
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09.11.2023
Organochloride etch with passivation and profile control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.05.2023
Anhängig
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08.11.2023
Verfahren und Prozess zur Implementierung von Maschinellem Lernen in eine Komplexe Multivariate Waferbearbeitungsausrüstung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2017
Erteilt am 08.11.2023
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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02.11.2023
Automatic gap compensation using light source and sensor for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2023
Anhängig
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02.11.2023
Method to enhance etch rate and improve critical dimension of features and mask selectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Nonconformal oxide film deposition using carbon-containing inhibitor
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Liquid-cooled optical window for semiconductor processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Conformal Copper Deposition On Thin Liner Layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Heat Guard
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2023
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31