Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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26.10.2023
Liquid-cooled optical window for semiconductor processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2023
Anhängig
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26.10.2023
Nonconformal oxide film deposition using carbon-containing inhibitor
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.04.2023
Anhängig
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19.10.2023
Selective oxide etch using liquid precursor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2023
Anhängig
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12.10.2023
Hydrogen Reduction in Amorphous Carbon Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.04.2023
Anhängig
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05.10.2023
Systems and methods for controlling a power limiter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2023
Anhängig
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05.10.2023
Dual sensor wafer temperature measurement system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2023
Anhängig
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05.10.2023
Radiative Heat Windows And Wafer Support Pads in Vapor Etch Reactors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2023
Anhängig
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04.10.2023
Verwendung von Identifikatoren zur Zuordnung von Randringteilenummern zu Schlitznummern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.08.2019
Erteilt am 04.10.2023
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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28.09.2023
Showerhead assembly and substrate processing systems for improving deposition thickness uniformity
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.04.2022
Anhängig
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28.09.2023
High energy atomic layer etch of a carbon containing layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.03.2023
Anhängig
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28.09.2023
Fast Atomic Layer Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2023
Anhängig
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28.09.2023
Spark plasma sintered component for cryo-plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.03.2023
Anhängig
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21.09.2023
Apparatus for processing a wafer-shaped article
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2023
Anhängig
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21.09.2023
Feedback control systems for impedance matching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.05.2022
Anhängig
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21.09.2023
Sidewall passivation using aldehyde or isocyanate chemistry for high aspect ratio etch
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2023
Anhängig
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21.09.2023
Showerhead for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 09.03.2023
Anhängig
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21.09.2023
Dual plenum showerhead with center to edge tunability
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.02.2023
Anhängig
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21.09.2023
Seam-free and crack-free deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2023
Anhängig
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21.09.2023
Low-k dielectric protection during plasma deposition of silicon nitride
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2023
Anhängig
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21.09.2023
Reducing Capacitance in Semiconductor Devices
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2023
Anhängig
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20.09.2023
Werkzeuge für Substratverarbeitungssystem zur Überwachung, Beurteilung und Reaktion auf der Basis von Gesundheit mit Sensorabbildung und Ausgelöster Datenerfassung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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14.09.2023
Anolyte solution dosing for electroplating apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 05.03.2023
Anhängig
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14.09.2023
Systems and methods for reducing reflected power after a state transition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2023
Anhängig
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14.09.2023
Encapsulated compression washer for bonding ceramic plate and metal baseplate of electrostatic chucks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2023
Anhängig
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14.09.2023
Pedestal shroud to direct flow of process gases and byproducts in substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.03.2023
Anhängig
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14.09.2023
Methods of selective deposition and chemical delivery systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.03.2023
Anhängig
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13.09.2023
Plasmaquelle ohne Impedanzanpassung für die Herstellung von Halbleiterwafern und Verfahren zum Bereitstellen von Radiofrequenz an eine Elektrode einer Plasmakammer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.10.2018
Erteilt am 13.09.2023
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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07.09.2023
Selective precision etching of semiconductor materials
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2023
Anhängig
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07.09.2023
Gap Characterization in Electrodeposition Tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Rf assembly for substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Surface Inhibition Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Sensors for semiconductor processing tools
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Atomic Layer Etching Using an Inhibitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Thermal Film Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Wafer Bow Compensation By Patterned Uv Cure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2023
Anhängig
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30.08.2023
Vorrichtung zur Verarbeitung eines Waferförmigen Artikels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.08.2023
Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Kalter Kante und Niedriger Temperatur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.08.2023
Systems and methods for central frequency tuning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.12.2022
Anhängig
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24.08.2023
High pressure inert oxidation and in-situ annealing process to improve film seam quality and wer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.02.2023
Anhängig
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24.08.2023
Systems and methods for reducing variability in features of a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2022
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31