Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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17.08.2023
Etch Uniformity Improvement in Radical Etch Using Confinement Ring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2022
Anhängig
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17.08.2023
Wafer edge tilt and etch rate uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2022
Anhängig
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17.08.2023
Evaluation of plasma uniformity using computer vision
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.02.2023
Anhängig
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17.08.2023
Method for depositing highly doped aluminum nitride piezoelectric material
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 27.01.2023
Anhängig
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17.08.2023
Balun Transformer With Enhanced Rf Coupling Embedded in High-Strength Dielectric Materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.02.2023
Anhängig
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16.08.2023
Bewegliche Randringe für Plasmabehandlungssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.08.2023
Portable robot for semiconductor equipment maintenance tasks
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2022
Anhängig
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10.08.2023
Systems and methods for reducing reflected power associated with an hf rf generator efficiently
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.12.2022
Anhängig
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10.08.2023
Rf Power Path Symmetry
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2023
Anhängig
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09.08.2023
Vorrichtung zur Behandlung von Scheibenförmigen Gegenständen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.08.2023
Undercoating coverage and resistance control for escs of substrate processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2022
Anhängig
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03.08.2023
Method and apparatus for radio frequency grid design in an esc to reduce film asymmetry
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.01.2023
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03.08.2023
Thin film growth modulation using wafer bow
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2023
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27.07.2023
Method for reducing variations in mask topography
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.12.2022
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27.07.2023
Active temperature control of showerheads for high temperature processes
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 13.12.2022
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27.07.2023
Multiple-Zone Gas Box Block Surface Heater
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 01.12.2022
Anhängig
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27.07.2023
Wafer transfer paddles with minimum contact area structures for reduced backside marking
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.12.2022
Anhängig
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27.07.2023
Apparatuses for backside wafer processing with edge-only wafer contact related application(s)
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.01.2023
Anhängig
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26.07.2023
Trägerring für eine Schwimmende Tcp-Kammergasplatte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.07.2023
Verfahren zur Herstellung eines Scandium-Aluminiumnitridtargets für Pld
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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20.07.2023
Method to control etch profile by rf pulsing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2022
Anhängig
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20.07.2023
Carbon Mask Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.01.2023
Anhängig
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20.07.2023
High selectivity and uniform dielectric etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.01.2023
Anhängig
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13.07.2023
Composition mixture control of efem environment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2022
Anhängig
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13.07.2023
Silicon Nitride Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.12.2022
Anhängig
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06.07.2023
Substrate processing tool with high-speed match network impedance switching for rapid alternating processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2022
Anhängig
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05.07.2023
Elektrostatisches Spannfutter zur Verwendung in der Halbleiterverarbeitung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 30.05.2018
Erteilt am 05.07.2023
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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29.06.2023
Conformal silicon oxide deposition using aminosilane and chlorosilane precursors
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2022
Anhängig
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29.06.2023
Electrostatic chucks with self-sealing gas conduits and/or reduced clogging due to residue
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2022
Anhängig
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28.06.2023
Systeme und Verfahren zur Pulsbreitenmodulierten Dosissteuerung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.09.2018
Erteilt am 28.06.2023
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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22.06.2023
Aqueous acid development or treatment of organometallic photoresist
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Development strategy for high-absorbing metal-containing photoresists
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
High Pressure Plasma Inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Method to smooth sidewall roughness and maintain reentrant structures during dielectric gap fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Development of hybrid organotin oxide photoresists
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Valve systems for balancing gas flow to multiple stations of a substrate processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 07.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Large Grain Tungsten Growth in Features
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Apparatus and method for splitting current from direct-drive radiofrequency signal generator between multiple coils
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Remote Plasma Clean (rpc) Delivery Inlet Adapter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2022
Anhängig
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22.06.2023
Improved Thermal And Electrical Interface Between Parts in an Etch Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2022
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31