Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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30.09.2021
High precision edge ring centering for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2020
Anhängig
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30.09.2021
Mid-Ring Erosion Compensation in Substrate Processing Systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.03.2020
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30.09.2021
Plasma-exclusion-zone rings for processing notched wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2021
Anhängig
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30.09.2021
In-situ wafer thickness and gap monitoring using through beam laser sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2021
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30.09.2021
Rf Signal Parameter Measurement in an Integrated Circuit Fabrication Chamber
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2021
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30.09.2021
Feature fill with nucleation inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2021
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30.09.2021
Dielectric window for substrate processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.03.2021
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23.09.2021
Rf reference measuring circuit for a direct drive system supplying power to generate plasma in a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.03.2021
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23.09.2021
Showerhead Purge Collar
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.03.2021
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23.09.2021
Method for conditioning a plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.03.2021
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23.09.2021
Plasma processing chamber with multilayer protective surface
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.03.2021
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16.09.2021
Substrate supports including bonding layers with stud arrays for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.02.2021
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10.09.2021
Atomic layer etching of molybdenum
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.03.2021
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10.09.2021
Control of wafer bow during integrated circuit processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2021
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10.09.2021
Pedestal including pedestal plates for semiconductor fab tools and method for orienting the pedestal plates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2021
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10.09.2021
Protection Of Channel Layer in Three-Terminal Vertical Memory Structure
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2021
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10.09.2021
Adapter Plate To Attach Turbo Pumps To Process Modules
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2021
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10.09.2021
Collaborative robot system on a mobile cart with a chamber docking system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Angemeldet am 02.03.2021
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10.09.2021
Linear arrangement for substrate processing tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.03.2021
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10.09.2021
Minimizing Reflected Power in A Tunable Edge Sheath System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.02.2021
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10.09.2021
Reactant Gas Pulse Delivery
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2021
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10.09.2021
Tuning voltage setpoint in a pulsed rf signal for a tunable edge sheath system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.02.2021
Anhängig
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10.09.2021
Chiller make-break connector for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2021
Anhängig
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10.09.2021
Ring structure with compliant centering fingers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.03.2021
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02.09.2021
High modulus boron-based ceramics for semiconductor applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2021
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02.09.2021
Semiconductor processing chamber with dual-lift mechanism for edge ring elevation management
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2021
Anhängig
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02.09.2021
Systems and methods for using binning to increase power during a low frequency cycle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.02.2021
Anhängig
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02.09.2021
Multi-Layer Hardmask For Defect Reduction in Euv Patterning
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2021
Anhängig
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02.09.2021
Wafer handling robot with radial gas curtain and/or interior volume control
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2021
Anhängig
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02.09.2021
Reduction of sidewall notching for high aspect ratio 3d nand etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2020
Anhängig
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02.09.2021
Thermal icefill and recess etch matching
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Method for conditioning semiconductor processing chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Core Removal
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Coolant channel with internal fins for substrate processing pedestals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Backside Reactive Inhibition Gas
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Graphene Integration
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Wafer lift pin mechanism for preventing local backside deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
High temperature substrate support with heat spreader
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 17.02.2021
Anhängig
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26.08.2021
Planar multi-layer radio frequency filters including stacked coils with structural capacitance
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.02.2021
Anhängig
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19.08.2021
Tunability of edge plasma density tilt control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2021
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31