Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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19.08.2021
Cooling plate for semiconductor processing chamber window
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2021
Anhängig
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19.08.2021
Decoupling radiofrequency (rf) signals from input signal conductors of a process chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2021
Anhängig
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19.08.2021
Tunability of edge plasma density tilt control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2021
Anhängig
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19.08.2021
Coating for plasma processing chamber part
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2021
Anhängig
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19.08.2021
High aspect ratio etch with infinite selectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2021
Anhängig
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12.08.2021
Electrohydrodynamic ejection printing and electroplating for photoresist-free formation of metal features
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 27.01.2021
Anhängig
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12.08.2021
In Situ Surface Coating Of Process Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Electrostatic edge ring mounting system for substrate processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Precursors for high-temperature deposition of silicon-containing films
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 03.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Radiofrequency signal filter arrangement for plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2021
Anhängig
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12.08.2021
Optimization of radiofrequency signal ground return in plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2021
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05.08.2021
Wafer chuck with thermal tuning cavity features
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2021
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05.08.2021
Gas distribution faceplate with oblique flow paths
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Impedance Match With an Elongated Rf Strap
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Plenum assemblies for cooling transformer coupled plasma windows
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Component with protective surface for processing chamber
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Etching and plasma uniformity control using magnetics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Segmented gas distribution plate for high-power, high-pressure processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Performance predictors for semiconductor-manufacturing processes
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Uv cure for local stress modulation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
Alloy Film Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.01.2021
Anhängig
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29.07.2021
Edge ring transfer with automated rotational pre-alignment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2021
Anhängig
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29.07.2021
Yttrium aluminum coating for plasma processing chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.01.2021
Anhängig
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29.07.2021
Protective coating for a semiconductor reaction chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2020
Anhängig
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28.07.2021
Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Wafern
Verfahrens- & Trenntechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2019
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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22.07.2021
Exclusion ring with flow paths for exhausting wafer edge gas
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2021
Anhängig
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22.07.2021
Mixed metal baseplates for improved thermal expansion matching with thermal oxide spraycoat
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 08.01.2021
Anhängig
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22.07.2021
Multizone gas distribution plate for trench profile optimization
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2021
Anhängig
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21.07.2021
Markerfilterndes Verfahren zur Automatischen Waferzentrierung und Zugehöriges System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2019
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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21.07.2021
Entwurf für Beweglichen Kantring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2017
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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15.07.2021
Ammonia abatement for improved roughing pump performance
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.01.2021
Anhängig
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15.07.2021
Automated cleaning of robot arms of substrate processing systems
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.12.2020
Anhängig
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15.07.2021
Autoconfiguration of hardware components of various modules of a substrate processing tool
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2020
Anhängig
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15.07.2021
Tsv process window and fill performance enhancement by long pulsing and ramping
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2021
Anhängig
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15.07.2021
High-speed 3d metal printing of semiconductor metal interconnects
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.01.2021
Anhängig
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15.07.2021
Showerhead with faceplate having internal contours
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2020
Anhängig
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08.07.2021
Station-to-station control of backside bow compensation deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2020
Anhängig
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24.06.2021
Purging spindle arms to prevent deposition and wafer sliding
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2020
Anhängig
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24.06.2021
Asymmetric Purged Block Beneath Wafer Plane To Manage Non-Uniformity
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2020
Anhängig
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24.06.2021
Encapsulated Rfid in Consumable Chamber Parts
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2020
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31