Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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24.06.2021
Asymmetric Purged Block Beneath Wafer Plane To Manage Non-Uniformity
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2020
Anhängig
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23.06.2021
Austauschbare Und/oder Zusammenklappbare Randringanordnungen zur Plasmahüllenabstimmung Einschliesslich Randringpositionierungs- und -Zentrierfunktionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2018
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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17.06.2021
Multi-state pulsing for achieving a balance between bow control and mask selectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2020
Anhängig
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17.06.2021
Pedestal polishing apparatus
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2020
Anhängig
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17.06.2021
Liquid Precursor Vaporizer
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Pressure batch compensation to stabilize cd variation for trim and deposition processes
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Impedance Transformation in Radio-Frequency-Assisted Plasma Generation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
In-Situ Pecvd Cap Layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Reflective fourier ptychography imaging of large surfaces
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.11.2020
Anhängig
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10.06.2021
Substrate supports with integrated rf filters
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.11.2020
Anhängig
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10.06.2021
Systems and methods for using a transformer to achieve uniformity in processing a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.11.2020
Anhängig
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03.06.2021
Doping Processes in Metal Interconnect Structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2020
Anhängig
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03.06.2021
Edge removal for through-resist plating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.11.2020
Anhängig
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03.06.2021
Carrier ring to pedestal kinematic mount for substrate processing tools
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
Coin-slot and ball-lock ceramic lift pin holders
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2020
Anhängig
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27.05.2021
Interconnect structure with selective electroplated via fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
Detection and location of anomalous plasma events in fabrication chambers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
Low temperature sintered coatings for plasma chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
Temperature Monitoring
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 11.11.2020
Anhängig
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20.05.2021
Frequency Based Impedance Adjustment in Tuning Circuits
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2020
Anhängig
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19.05.2021
Ätzen von Atomschichtätzen mittels Elektronenanregung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.07.2019
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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14.05.2021
Single Crystal Metal Oxide Plasma Chamber Component
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.10.2020
Anhängig
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14.05.2021
Plasma-enhanced atomic layer deposition with radio-frequency power ramping
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2020
Anhängig
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06.05.2021
Systems and methods for cleaning a showerhead
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.10.2020
Anhängig
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06.05.2021
Wafer handling robot with gravitational field sensor
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.10.2020
Anhängig
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06.05.2021
Methods to enable seamless high quality gapfill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.10.2020
Anhängig
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29.04.2021
Determination of recipe for manufacturing semiconductor
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2020
Anhängig
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29.04.2021
Heat and volatile-organic-compounds detecting systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.10.2020
Anhängig
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29.04.2021
Semiconductor equipment module fabrication with additive manufacturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.10.2020
Anhängig
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29.04.2021
Monolithic Anisotropic Substrate Supports
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 20.10.2020
Anhängig
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29.04.2021
Radio Frequency (rf) Power Imbalancing in A Multi-Station Integrated Circuit Fabrication Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.10.2020
Anhängig
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22.04.2021
Molybdenum Fill
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.10.2020
Anhängig
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22.04.2021
In-situ monitoring of substrate surfaces
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 29.09.2020
Anhängig
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22.04.2021
WO2021076746
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2020
Anhängig
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15.04.2021
Power source isolation circuits for heater elements of substrate supports of substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.10.2020
Anhängig
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15.04.2021
Positive tone development of cvd euv resist films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.10.2020
Anhängig
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15.04.2021
Inorganic coating of plasma chamber component
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2020
Anhängig
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15.04.2021
Autoclean For Load Locks in Substrate Processing Systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.10.2020
Anhängig
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15.04.2021
Semiconductor Substrate Bevel Cleaning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2020
Anhängig
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14.04.2021
Entwürfe für Beweglichen Kantring
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2017
Erteilt am 14.04.2021
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31