Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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19.09.2019
Turbomolecular pump deposition control and particle management
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 12.03.2019
Anhängig
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19.09.2019
Plasma Etching Chemistries Of High Aspect Ratio Features in Dielectrics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2019
Anhängig
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19.09.2019
Rf metrology system for a substrate processing apparatus incorporating rf sensors with corresponding lock-in amplifiers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2019
Anhängig
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18.09.2019
Verfahren zur Gepulsten Laserabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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11.09.2019
Gasverteilungssystem mit Schnellen Gasumschaltfähigkeiten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2005
Erteilt am 11.09.2019
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Gritschneder, Martin · München
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06.09.2019
Silicon-based deposition for semiconductor processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2018
Anhängig
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06.09.2019
Method monitoring chamber drift
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2019
Anhängig
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06.09.2019
Flow assisted dynamic seal for high-convection, continuous-rotation plating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2019
Anhängig
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06.09.2019
Selective deposition using hydrolysis
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2019
Anhängig
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29.08.2019
Rf Current Measurement in Semiconductor Processing Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2019
Anhängig
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29.08.2019
Capacitance Measurement Without Disconnecting From High Power Circuit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2019
Anhängig
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29.08.2019
Multi-plate electrostatic chucks with ceramic baseplates
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2019
Anhängig
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29.08.2019
Electroplating system with inert and active anodes
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.02.2019
Anhängig
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22.08.2019
Moving Substrate Transfer Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2019
Anhängig
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15.08.2019
Detecting partial unclamping of a substrate from an esc of a substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2019
Anhängig
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08.08.2019
Amorphous Carbon Layer Opening Process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2019
Anhängig
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08.08.2019
Electrostatic Chuck (esc) Pedestal Voltage Isolation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.01.2019
Anhängig
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08.08.2019
Electrostatic chucking pedestal with substrate backside purging and thermal sinking
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 28.01.2019
Anhängig
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08.08.2019
Manifold valve for multiple precursors
Metallurgie & Oberflächentechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 30.01.2019
Anhängig
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08.08.2019
Tin Oxide Mandrels in Patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2019
Anhängig
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01.08.2019
Spacer Profile Control Using Atomic Layer Deposition in A Multiple Patterning Process
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.01.2019
Anhängig
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25.07.2019
Selective processing with etch residue-based inhibitors
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2019
Anhängig
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04.07.2019
Conformality modulation of films using chemical inhibition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.12.2018
Anhängig
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04.07.2019
High-Power Radio-Frequency Spiral-Coil Filter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2018
Anhängig
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04.07.2019
Removal of electroplating bath additives
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.12.2018
Anhängig
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27.06.2019
Self-Assembled Monolayers As an Etchant in Atomic Layer Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.11.2018
Anhängig
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27.06.2019
Method for forming square spacers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2018
Anhängig
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27.06.2019
Systems and methods for homogenous intermixing of precursors in alloy atomic layer deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2018
Anhängig
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20.06.2019
Knurling Edge Driving Tool
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 27.11.2018
Anhängig
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20.06.2019
Ex situ coating of chamber components for semiconductor processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2018
Anhängig
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20.06.2019
Corrosion-Resistant Temperature Sensor Probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.11.2018
Anhängig
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13.06.2019
Oxidation Resistant Protective Layer in Chamber Conditioning
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2018
Anhängig
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13.06.2019
Integrated showerhead with improved hole pattern for delivering radical and precursor gas to a downstream chamber to enable remote plasma film deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2018
Anhängig
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13.06.2019
Rf pulsing within pulsing for semiconductor rf plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.11.2018
Anhängig
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13.06.2019
System and method for edge ring wear compensation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2018
Anhängig
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13.06.2019
Auto-calibration to a station of a process module that spins a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2018
Anhängig
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06.06.2019
Silicon Oxide Silicon Nitride Stack Stair Step Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.11.2018
Anhängig
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06.06.2019
Ferrite cage rf isolator for power circuitry
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2018
Anhängig
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06.06.2019
Method of improving deposition induced cd imbalance using spatially selective ashing of carbon based film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2018
Anhängig
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06.06.2019
Substrate processing system printed-circuit control board assembly with one or more heater layers
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2018
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31