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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
13.06.2013
Method, apparatus and composition for wet etching
WO2013084083
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
13.06.2013
System and method for cleaning gas injectors
WO2013085763
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.06.2013
Device and method for treating wafer-shaped articles
WO2013080106
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
06.06.2013
Gas feed insert in a plasma processing chamber and methods therefor
WO2013081843
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.06.2013
Movable grounding arrangements in a plasma processing chamber and methods therefor
WO2013081844
Elektronik & Schaltungstechnik
30.05.2013
Device and method for processing wafer shaped articles
WO2013076647
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Peripheral rf feed and symmetric rf return with rf strap input
WO2013078152
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Symmetric Rf Return Path Liner
WO2013078420
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Multi zone gas injection upper electrode system
WO2013078098
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.05.2013
Dual zone temperature control of upper electrodes
WO2013078097
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.05.2013
Bypass capacitors for high voltage bias power in the mid frequency rf range
WO2013078465
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
System, method and apparatus for detecting dc bias in a plasma processing chamber
WO2013078047
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.05.2013
Plasma processing chamber with flexible symmetric rf return strap
WO2013078434
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Systems and methods for controlling a plasma edge region
WO2013078368
Elektronik & Schaltungstechnik
30.05.2013
Peripheral rf feed and symmetric rf return for symmetric rf delivery
WO2013078346
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Plasma Processing Assemblies Including Hinge Assemblies
WO2013078003
Elektronik & Schaltungstechnik
30.05.2013
Triode reactor design with multiple radiofrequency powers
WO2013077984
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2013
Inert-Dominant Pulsing in Plasma Processing
WO2013072834
Metallurgie & Oberflächentechnik
23.05.2013
Device and method for processing wafer-shaped articles
WO2013072820
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2013
Method and device for processing wafer shaped articles
WO2013072819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2013
System, method and apparatus of a wedge-shaped parallel plate plasma reactor for substrate processing
WO2013074701
Metallurgie & Oberflächentechnik
23.05.2013
Distributed, non-concentric multi-zone plasma source systems, methods and apparatus
WO2013074824
Elektronik & Schaltungstechnik
23.05.2013
Hybrid Pulsing Plasma Processing Systems
WO2013072831
Metallurgie & Oberflächentechnik
23.05.2013
Distributed multi-zone plasma source systems, methods and apparatus
WO2013074354
Elektronik & Schaltungstechnik
16.05.2013
Pressure control valve assembly of plasma processing chamber and rapid alternating process
WO2013070416
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2013
System, method and apparatus for plasma sheath voltage control
WO2013070472
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2013
Substrate clamping system and method for operating the same
WO2013066542
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2013
Method and apparatus for processing wafer-shaped articles
WO2013061198
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2013
Window and mounting arrangement for twist-and-lock gas injector assembly of inductively coupled plasma chamber
WO2013062866
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.04.2013
Method and apparatus for processing wafer-shaped articles
WO2013057638
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2013
Edge seal for lower electrode assembly
WO2013059590
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2013
Automatisierte Test- und Kennzeichnungsdatenanalyseverfahren und Entsprechende Anordnung
EP2076784
Steuerungs- & Regelungstechnik
28.03.2013
Thermal plate with planar thermal zones for semiconductor processing
WO2013042027
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.03.2013
Heating plate with diode planar heater zones for semiconductor processing
WO2013042030
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.03.2013
A component of a substrate support assembly producing localized magnetic fields
WO2013039718
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.03.2013
Antennenanordnung und Plasmabearbeitungsvorrichtung mit einer solchen Anordnung
EP1412963
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Nassbehandlung von Wafern
EP1817791
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles
WO2013035019
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Method and apparatus for liquid treatment of wafer shaped articles
WO2013035020
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Pulsed Plasma Chamber in Dual Chamber Configuration
WO2013036371
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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116
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105
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50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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