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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
07.03.2013
System and method for performing hot water seal on electrostatic chuck
WO2013030734
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
28.02.2013
Method and device for wet treatment of plate-like articles
WO2013027153
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2013
Verfahren und Material zur Reinigung eines Substrats
EP1803804
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
27.02.2013
Verteiler zur Bearbeitung einer Substratoberfläche mit mehreren Verfahrensfenstern
EP2117033
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2013
A system and method for monitoring temperatures of and controlling multiplexed heater array
WO2013025852
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2013
Auf Intelligenten Komponenten Basierende Verwaltungstechniken in einem Substrat-Bearbeitungssystem
EP1831807
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
31.01.2013
Improved ultrasonic cleaning method and apparatus
WO2013014556
Verfahrens- & Trenntechnik
24.01.2013
Negative ion control for dielectric etch
WO2013012591
Elektronik & Schaltungstechnik
24.01.2013
Data architecture and user interface for plasma processing related software applications
WO2013011401
Software & Datenverarbeitung
24.01.2013
Electrostatic chuck with wafer backside plasma assisted dechuck
WO2013012612
Elektronik & Schaltungstechnik
24.01.2013
Atomic Layer Etching Using Metastables Formed From an Inert Gas
WO2013012620
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2013
Dual phase cleaning chambers and assemblies comprising the same
WO2013012693
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2013
Methods of dechucking and system thereof
WO2013009794
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2013
Apparatus for treating a wafer-shaped article
WO2013005155
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.01.2013
Methods for automatically determining capacitor values and systems thereof
WO2013006775
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2013
Synchronized And Shortened Master-Slave Rf Pulsing in A Plasma Processing Chamber
WO2013006759
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.01.2013
Pedestal with edge gas deflector for edge profile control
WO2013006241
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Systems and methods for controlling etch selectivity of various materials
WO2013003676
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2012
System and method for decreasing scrubber exhaust from gas delivery panels
WO2012174053
Verfahrens- & Trenntechnik
20.12.2012
Powered grid for plasma chamber
WO2012173769
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2012
Passive Compensation For Temperature-Dependent Wafer Gap Changes in Plasma Processing Systems
WO2012173980
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.12.2012
Verfahren zum Ablösen von Fotolack in Gegenwart von Normalen Und/oder Porösen Dielektrischen Materialien mit Niedrigem K-Wert
EP1880414
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2012
Method for providing high etch rate
WO2012170302
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2012
Use of spectrum to synchronize rf switching with gas switching during etch
WO2012170249
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Device for treating surfaces of wafer-shaped articles
WO2012164455
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Method and apparatus for liquid treatment of wafer shaped articles
WO2012164454
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Substrate freeze dry apparatus and method
WO2012166727
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Gas distribution system for ceramic showerhead of plasma etch reactor
WO2012166362
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor
WO2012166364
Metallurgie & Oberflächentechnik
29.11.2012
Vacuum Seal Arrangement Useful in Plasma Processing Chamber
WO2012162051
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2012
Device and process for liquid treatment of wafer shaped articles
WO2012156858
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.11.2012
High Pressure Bevel Etch Process
WO2012154747
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Semiconductor processing system having multiple decoupled plasma sources
WO2012154666
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Method for achieving smooth side walls after bosch etch process
WO2012154764
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Mitigation of silicide formation on wafer bevel
WO2012154454
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2012
Sensor-Integration mit "plug And Play" Funktion für ein Prozessmodul
EP1269276
Steuerungs- & Regelungstechnik
07.11.2012
Plasmaverarbeitungsvorrichtung zur Erzeugung Gleichmässiger Behandlungsraten
EP1230668
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2012
Verbesserte Ultraschallreinigungsflüssigkeit sowie Verfahren und Vorrichtung damit
EP2519966
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2012
Substantially non-oxidizing plasma treatment devices and processes
WO2012148370
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2012
Improved ultrasonic treatment method and apparatus
WO2012147038
Verfahrens- & Trenntechnik

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31

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