Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
07.05.2014
Apparat und Verfahren zum Rf-Entkoppeln und zur Kontrolle der Vorspannung in einem Plasmareaktor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.06.2002
Erteilt am 07.05.2014
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Wombwell, Francis · Birkenhead
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.03.2014
Multifrequenzplasmaätzreaktor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.02.2014
Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung eines Substrats
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.09.2005
Erteilt am 26.02.2014
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Thomson, Paul Anthony · Birkenhead
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.12.2013
System, Vorrichtung und Verfahren zur Waferbehandlung unter Verwendung von Monofrequenz-Rf-Leistung in einer Plasma-Behandlungskammer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.10.2001
Erteilt am 11.12.2013
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Thomson, Paul Anthony · Birkenhead
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.11.2013
Metal Hardmask All in One Integrated Etch
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.05.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.11.2013
Steuerung des Wafernahen Drucks zur Plasma Einschränkung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.09.2001
Erteilt am 06.11.2013
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.10.2013
Dielectric Window Cleaning Apparatuses
Verfahrens- & Trenntechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.10.2013
Current peak spreading schemes for multiplexed heated array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.04.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.10.2013
Layer-layer etch of non volatile materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.04.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2013
Methods and apparatuses for controlling plasma in a plasma processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2013
Method and apparatus for forming features with plasma pre-etch treatment on photoresist
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2013
Acoustic Energy Utilization in Plasma Processing
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.10.2013
Installation fixture for elastomer bands and methods of using the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2013
Apparatus and method for liquid treatment of wafer-shaped articles
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2013
Methods and apparatuses for effectively reducing gas residence time in a plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2013
Methods and apparatus for supplying process gas in a plasma processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2013
Shared Gas Panels in Plasma Processing Chambers Employing Multi-Zone Gas Feeds
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.10.2013
Shared Gas Panels in Plasma Processing Systems
Maschinenelemente & Fluidtechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2013
Electroless Gap Fill
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2013
Methods and apparatus for selectively modulating azimuthal non-uniformity in a plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2013
Methods and apparatus for selectively modifying rf current paths in a plasma processing system
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2013
Electroless Copper Alloy Capping
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.09.2013
Methods and apparatus for correcting for non-uniformity in a plasma processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2013
Process and apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.02.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2013
Chamber filler kit for plasma etch chamber useful for fast gas switching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 01.03.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2013
Hybrid Plasma Processing Systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.02.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.09.2013
Multiplexed heater array using ac drive for semiconductor processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.09.2013
Lösungen und Verfahren zur Metallabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2013
Methods and apparatus for synchronising rf pulses in a plasma processing system
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2013
Methods and materials for anchoring gapfill metals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.02.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.08.2013
Pressure control valve assembly of plasma processing chamber and rapid alternating process
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2013
Verwaltung von Verarbeitungsinformationen bei einem Plasmaverarbeitungswerkzeug
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.02.2006
Erteilt am 14.08.2013
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.07.2013
Mixed Mode Pulsing Etching in Plasma Processing Systems
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.06.2013
Apparatus for treating surfaces of wafer-shaped articles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.06.2013
Method of making device
Akustik, Musik & Datenspeicherung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Device for treating surfaces of wafer-shaped articles and gripping pin for use in the device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Electroless Copper Deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Silicon Nitride Dry Trim Without Top Pulldown
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Silicon On Insulator Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Semiconductor processing system with source for decoupled ion and radical control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31