Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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14.12.2011
Plasmabehandlungsspule
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2002
Erteilt am 14.12.2011
Vertretung
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01.12.2011
Closed chamber with fluid separation feature
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2011
Anhängig
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01.12.2011
Apparatus and method for temperature control of a semiconductor substrate support
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.05.2011
Anhängig
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30.11.2011
Eine Kammer und ein Verfahren zur Waferherstellung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2004
Erteilt am 30.11.2011
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Thomson, Paul Anthony · Birkenhead
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24.11.2011
Movable chamber liner plasma confinement screen combination for plasma processing apparatuses
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.05.2011
Anhängig
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10.11.2011
Device for holding wafer shaped articles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2011
Anhängig
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10.11.2011
Method for treatment of substrates and treatment composition for said method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2011
Anhängig
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27.10.2011
A coating method for gas delivery system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2011
Anhängig
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27.10.2011
Methods and apparatus for an induction coil arrangement in a plasma processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2011
Anhängig
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26.10.2011
Vorrichtung zur Behandlung von Plattenförmigen Artikeln und Bedienungsverfahren dafür
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.10.2011
Steuerung der Ionenenergieverteilung in Plasmaverarbeitungssystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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20.10.2011
Grounded Chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2011
Anhängig
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19.10.2011
Verfahren und System zur Zentrierung eines Wafers auf einem Futter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.10.2011
Inorganic rapid alternating process for silicon etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2011
Anhängig
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13.10.2011
Non-contact detection of surface fluid droplets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2011
Anhängig
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12.10.2011
Verfahren zum Entfernen von Verunreinigungen von einem Substrat und Verfahren zur Herstellung einer Reinigungslösung
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 29.11.2006
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Wombwell, Francis · Birkenhead
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05.10.2011
Plasmaapparat mit Vorrichtung zur Reduzierung von Polymerablagerung auf einem Substrat und Verfahren zur Reduzierung von Polymerablagerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.10.2011
System und Methode zur Integration von In-Situ Messung bei einem Waferbehandlungsprozess
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.06.2004
Erteilt am 05.10.2011
Vertretung
Wombwell, Francis · Birkenhead
Thomson, Paul Anthony · Birkenhead
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29.09.2011
Reduction Of Particle Contamination Produced By Moving Mechanisms in A Process Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2011
Anhängig
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29.09.2011
Airflow Management For Low Particulate Count in A Process Tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2011
Anhängig
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21.09.2011
Verbesserte Substrattemperatursteuerung durch Verwendung von Flüssigkeitsgesteuertem Multizonensubstratträger
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.09.2011
Verfahren zur Wiederherstellung der Ätzrate und der Ätzeinheitlichkeit bei Siliziumelektrodenanordnungen
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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09.09.2011
Cleaning solution for sidewall polymer of damascene processes
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2011
Anhängig
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01.09.2011
System. method and apparatus for plasma etch having independent control of ion generation and dissociation of process gas
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.01.2011
Anhängig
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25.08.2011
Flush mounted fastener for plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.02.2011
Anhängig
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25.08.2011
Substrate load and unload mechanisms for high throughput
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 28.01.2011
Anhängig
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04.08.2011
Method and apparatus for pattern collapse free wet processing of semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.01.2011
Anhängig
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04.08.2011
Method of reducing pattern collapse in high aspect ratio nanostructures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.01.2011
Anhängig
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14.07.2011
Methodology For Cleaning Of Surface Metal Contamination From an Upper Electrode Used in A Plasma Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2010
Anhängig
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14.07.2011
Uv lamp assembly of degas chamber having rotary shutters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2010
Anhängig
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14.07.2011
Method and apparatus for processing bevel edge
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2010
Anhängig
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07.07.2011
Adjusting Substrate Temperature To Improve Cd Uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2010
Anhängig
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30.06.2011
Post Deposition Wafer Cleaning Formulation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2010
Anhängig
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29.06.2011
Verfahren zum Entfernen von Partikeln von einer Halbleiteroberfläche
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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29.06.2011
Substrat-Meniskus-Schnittstelle und Verfahren zum Betreiben
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.06.2011
Process To Keep Substrate Surface Wet During Plating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2010
Anhängig
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16.06.2011
System and method of preventing pattern collapse using low surface tension fluid
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2010
Anhängig
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09.06.2011
Small plasma chamber systems and methods
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2010
Anhängig
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08.06.2011
Einstellbarer Wärmekontakt zwischen einem Elektrostatischen Futter und einem Heissen Kantenring durch Aktivierung eines Kopplungsrings
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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08.06.2011
Elektroplattierungskopf und Verfahren zu dessen Gebrauch
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2005
Anhängig
Vertretung
Thomson, Paul Anthony · Birkenhead
Kontrus, Gerhard · Villach
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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