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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
03.06.2011
An Electrostatic Chuck With an Angled Sidewall
WO2011065965
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2011
Plasmabearbeitungsvorrichtung mit Integriertem Vollwellenlängen-Spektrometer für Waferbearbeitung
EP1269165
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2011
Methods and apparatus for detecting the confinement state of plasma in a plasma processing system
WO2011063262
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2011
Methods and apparatus for controlling a plasma processing system
WO2011063246
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
18.05.2011
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Prozesses und Bestimmung eines Zustandsübergangs
EP1570363
Software & Datenverarbeitung
12.05.2011
Quartz window for a degas chamber
WO2011056194
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2011
Method and apparatus of halogen removal
WO2011056484
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2011
Heating plate with planar heater zones for semiconductor processing
WO2011049620
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2011
Rf isolation for power circuitry
WO2011049993
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2011
Current Control in Plasma Processing Systems
WO2011049994
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.04.2011
Method for repairing low-k dielectric damage
WO2011050062
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2011
System and method for wafer carrier vibration reduction
WO2011050117
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2011
Method for tunably repairing low-k dielectric damage
WO2011050171
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.04.2011
Antenne zur Erzeugung Gleichförmiger Prozessraten
EP1632006
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2011
Verfahren zur Nassbehandlung von Scheibenförmigen Gegenständen
EP1483778
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2011
Plasmabehandlungsanlage mit Spule mit Variabler Rf-Kupplung
EP1166321
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.04.2011
Verfahren zur Reinigung der Oberfläche eines Substrates
EP1323187
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
17.03.2011
Replaceable upper chamber parts of plasma processing apparatus
WO2011031321
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2011
Methods and arrangement for detecting a wafer-released event within a plasma processing chamber
WO2011031589
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2011
Methods and arrangement for plasma dechuck optimization based on coupling of plasma signaling to substrate position and potential
WO2011031590
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.03.2011
Direct drive arrangement to control confinement rings positioning and methods thereof
WO2011028599
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
10.03.2011
Arrangements for manipulating plasma confinement within a plasma processing system and methods thereof
WO2011028600
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.03.2011
Apparatus and methods for enhanced fluid delivery on bevel etch applications
WO2011028617
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2011
A local plasma confinement and pressure control arrangement and methods thereof
WO2011026127
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2011
A multi-peripheral ring arrangement for performing plasma confinement
WO2011026126
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2011
Radio Frequency (rf) Ground Return Arrangements
WO2011026129
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2011
Method and apparatus for measuring wafer bias potential
WO2011021160
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2011
Methode zur Überwachung der Ätztiefe
EP1543547
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.02.2011
Seasoning Plasma Processing Systems
WO2011017716
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2011
Determining plasma processing system readiness without generating plasma
WO2011008376
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2011
Materials and systems for advanced substrate cleaning
WO2011008658
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
12.01.2011
Verfahren zur Bearbeitung eines Dielektrischen Films
EP2272086
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2011
Einrichtung und Verfahren zur Nassbehandlung von Plattenartigen Artikeln
EP2102895
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.01.2011
Reinigungsvorrichtungskammer mit Hohem Durchsatz
EP2272089
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2011
Methods and apparatus to predict etch rate uniformity for qualification of a plasma chamber
WO2011002804
Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik
06.01.2011
Methods and apparatus for predictive preventive maintenance of processing chambers
WO2011002803
Software & Datenverarbeitung Elektronik & Schaltungstechnik
06.01.2011
Methods and arrangements for in-situ process monitoring and control for plasma processing tools
WO2011002800
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2011
Automatic fault detection and classification in a plasma processing system and methods thereof
WO2011002798
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2011
Methods for constructing an optimal endpoint algorithm
WO2011002810
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2011
Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof
WO2011002811
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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105
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Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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