Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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03.05.2012
Closed chamber for wafer wet processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.10.2011
Anhängig
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02.05.2012
Verfahren zur Behandlung eines Halbleiterwafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.05.2012
Verfahren zur Behandlung eines Halbleiterwafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.05.2012
Reinigungsapparat und Reingungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.05.2012
Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Halbleiterwafer-Oberflächen mittels mehrerer, in nächster Nähe zu den Waferoberflächen angebrachter Ein- und Auslässe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.04.2012
Dual sensing end effector with single sensor
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.10.2011
Anhängig
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26.04.2012
Plasma ignition and sustaining methods and apparatuses
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.10.2011
Anhängig
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26.04.2012
Methods of fault detection for multiplexed heater array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.09.2011
Anhängig
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26.04.2012
Methods for depositing bevel protective film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2011
Anhängig
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26.04.2012
Methods and apparatus for igniting and sustaining plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2011
Anhängig
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12.04.2012
Substrate processing system with multiple processing devices deployed in shared ambient emvironment and associated methods
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 22.09.2011
Anhängig
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11.04.2012
Plasmabehandlungsreaktor
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2007
Erteilt am 11.04.2012
Vertretung
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04.04.2012
Verfahren und System zur Bearbeitung eines Substrates mit einem Dynamischen Flüssigen Meniskus
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.04.2012
System, Verfahren und Vorrichtung zur Dünnfilmsubstrat-Signaltrennung unter Verwendung von Wirbelströmen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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29.03.2012
Improved ultrasonic cleaning method and apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 23.09.2011
Anhängig
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29.03.2012
Plasma confinement ring assembly for plasma processing chambers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.08.2011
Anhängig
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22.03.2012
Methods for controlling plasma constituent flux and deposition during semiconductor fabrication and apparatus for implementing the same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.09.2011
Anhängig
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22.03.2012
Polar regions for electrostatic de-chucking with lift pins
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.09.2011
Anhängig
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14.03.2012
Reinigungslösung
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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08.03.2012
Showerhead Electrode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 25.08.2011
Anhängig
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16.02.2012
Methods for preventing corrosion of plasma-exposed yttria coated constituents
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.08.2011
Anhängig
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15.02.2012
Moduliertes Multifrequenzverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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15.02.2012
Plasmaätzkammer mit Kapazitiver Multifrequenzkopplung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.02.2012
Methods for stabilizing contact surfaces of electrostatic chucks
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 01.08.2011
Anhängig
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09.02.2012
Distributed multi-zone plasma source systems, methods and apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2011
Anhängig
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09.02.2012
Plasma processing chamber with dual axial gas injection and exhaust
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.06.2011
Anhängig
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09.02.2012
Dual plasma volume processing apparatus for neutral/ion flux control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.06.2011
Anhängig
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09.02.2012
Parasitic Plasma Prevention in Plasma Processing Chambers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.07.2011
Anhängig
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09.02.2012
Systems, methods and apparatus for separate plasma source control
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2011
Anhängig
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09.02.2012
Systems, methods and apparatus for choked flow element extraction
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.06.2011
Anhängig
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09.02.2012
Radio frequency (rf) power filters and plasma processing systems including rf power filters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.07.2011
Anhängig
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08.02.2012
Thermischgesprühte, Yttriumoxyd Enthaltende Beschichtung für Plasmareaktoren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.06.2003
Erteilt am 08.02.2012
Vertretung
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26.01.2012
Device for holding wafer shaped articles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.07.2011
Anhängig
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25.01.2012
Vorrichtung zur dynamischen Ausrichtung von Substraten
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.11.2000
Erteilt am 25.01.2012
Vertretung
Hackney, Nigel John · London
Kontrus, Gerhard · Villach
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25.01.2012
Ätzung mit Hohem Seitenverhältnis durch Verwendung einer Modulation von Rf-Leistungen mit Verschiedenen Frequenzen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.08.2004
Erteilt am 25.01.2012
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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19.01.2012
Metallization processes, mixtures, and electronic devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.07.2011
Anhängig
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12.01.2012
Methods, devices, and materials for metallization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.06.2011
Anhängig
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04.01.2012
Makros zur Steuerung der Bewegungen von Wafern
Software & Datenverarbeitung
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04.01.2012
Entfluorisierungsprozess
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.12.2011
Ozone plenum as uv shutter or tunable uv filter for cleaning semiconductor substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.06.2011
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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