Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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12.06.2025
Azimuthal Edge Ring Control To Improve Residual Non-Uniformity Near Substrate Edges
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Liquid cooled ceramic window for inductively coupled plasma processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2024
Anhängig
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12.06.2025
Ceramic top plate with an annular projection to protect a seal ring and a bonding layer of a substrate support from ion erosion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2024
Anhängig
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12.06.2025
Shield for plasma chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2024
Anhängig
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12.06.2025
Assembled window for processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.10.2024
Anhängig
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11.06.2025
Elektrotauchlackierungssysteme
Metallurgie & Oberflächentechnik
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05.06.2025
Forming Aluminum Nitride Coating On Aluminum-Containing Metal
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
WO2025117301
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2024
Anhängig
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05.06.2025
Gas distribution plate assembly for semiconductor processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.10.2024
Anhängig
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30.05.2025
Von Unten Geklammerte Stiftbuchsenanordnungen für Dielektrische Ätzkammerelektroden
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.05.2025
Electrostatic chuck with thermal interface for providing cooling uniformity and increasing voltage standoff
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2024
Anhängig
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30.05.2025
Showerhead having multiple plenums and a faceplate with a central gas distribution port
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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22.05.2025
Precursor Concentration Monitoring
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2024
Anhängig
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22.05.2025
Modification Of Carbon Films in A Plasma Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2024
Anhängig
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22.05.2025
Selective etch of stack using hf and another fluorine containing component
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2024
Anhängig
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22.05.2025
Selective etch of stack using a hydrogen and fluorine containing gas and an -oh containing gas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2024
Anhängig
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15.05.2025
Dual Plenum Showerhead
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2024
Anhängig
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15.05.2025
Coaxial, Multi-Feed Gas Delivery Stem
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2024
Anhängig
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15.05.2025
Diffusion Barriers To Reduce Queue-Time Effects in Euv Lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.11.2024
Anhängig
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15.05.2025
Atomic layer deposition with inhibition and in-situ passivation, and hardmask protection during etching of a gapfill film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.11.2024
Anhängig
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15.05.2025
Systems and methods to improve wafer bow compensation efficiency and flatten wafers to neutral bow
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2024
Anhängig
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15.05.2025
Composite window with liquid cooling for inductively coupled plasma processing system
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.10.2024
Anhängig
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15.05.2025
Temperature-controlled wafer support pedestal with vacuum clamping features
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.10.2024
Anhängig
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15.05.2025
Determining line edge roughness and line width roughness metrics
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.11.2024
Anhängig
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08.05.2025
An in-situ metal liner for improved high aspect ratio etch with bow control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2024
Anhängig
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08.05.2025
Vapor delivery system with charge volume container
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2024
Anhängig
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08.05.2025
Substrate processing system with in-situ capacitive dividers for detection of plasma properties
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.10.2024
Anhängig
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07.05.2025
Wafer-Handhabungsroboter mit Drehgelenk-Encodern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2018
Erteilt am 07.05.2025
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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07.05.2025
Zyklische Entwicklung von Metalloxid-Photolacken zur Verhinderung von Ätzstopps
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.05.2025
Atomlagenätzen und Glätten von Refraktären Metallen und Anderen Materialien mit Hoher Oberflächenbindungsenergie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2019
Erteilt am 07.05.2025
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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01.05.2025
Predicting Tilt Parameters
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.10.2024
Anhängig
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01.05.2025
Blended and vertical composition gradient euv resists
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2024
Anhängig
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01.05.2025
Temperature-controlled showerhead for semiconductor processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.10.2024
Anhängig
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30.04.2025
Plasmaverstärkte Niedertemperatur-Atomschichtabscheidung von Metallen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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24.04.2025
Correction of deposition process drift
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.09.2024
Anhängig
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24.04.2025
Use of synthetic photo-realistic images for semiconductor
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2024
Anhängig
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24.04.2025
Apparatus for processing a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2024
Anhängig
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23.04.2025
System zur Verarbeitung von Waferförmigen Artikeln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.04.2025
Multi Plenum Showerhead Without Faceplate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.10.2024
Anhängig
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17.04.2025
Circulation of non-pfas fluids in liquid and supercritical fluid states through substrate processing system components
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 25.09.2024
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31