Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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10.04.2025
Selectivity in Thermal Etch Processes Through Surface Passivation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.10.2024
Anhängig
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10.04.2025
Cooling plate with aperiodic organic reticulated cooling passage pattern
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.10.2024
Anhängig
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10.04.2025
Selective removal of redeposited carbon masks during etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.09.2024
Anhängig
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10.04.2025
Selective etch of stack below metal mask using oxygen and fluorine
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.09.2024
Anhängig
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09.04.2025
Unterschicht mit Gebundenen Dotierungsstoffen für Photolithographie
Optik & Fototechnik
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09.04.2025
Verfahren zur Abscheidung von Piezoelektrischem Material aus Hochdotiertem Aluminiumnitrid
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
A method for manufacturing a doped wurtzite aluminium nitride piezoelectric thin film is disclosed which comprises: - providing a deposition device, such as a pulsed laser deposition device or a physical vapor deposition device, with a target (1) and a substrate (2), wherein the target material is a doped aluminum nitride composite and wherein the doping element is a rare earth element, preferably scandium; - depositing a first layer (5) of the target material on the substrate by operating the deposition device, wherein the kinetic energy of the plasma particles being deposited is above a first threshold value; and - depositing a second layer (6) of the target material on top of the first layer by operating the deposition device, wherein the kinetic energy of the plasma particles being deposited is below a second threshold value, wherein the first threshold value is larger than the second threshold value. |
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03.04.2025
Chemical sensor for automatic flow compensation of mass flow controller
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Methods and apparatuses using tunable reactive gas source
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Coils for generating radio frequency fields
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Reconfigurable advanced modular precursor delivery system (ampds)
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Pretreating substrate for selective deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Systems and methods for regulating power output from a matchless plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2024
Anhängig
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03.04.2025
Integrated Multi-Ported Valve Assembly
Metallurgie & Oberflächentechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Angemeldet am 11.09.2024
Anhängig
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02.04.2025
In-Situ-Behandlung von Molybdänoxyhalogenidnebenprodukten in einer Halbleiterverarbeitungsanlage
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.03.2025
Showerhead Having Components Removably Coupled To One Another
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.09.2024
Anhängig
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27.03.2025
Reclamation of hydrogen halides in dry development of photoresists
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2024
Anhängig
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27.03.2025
Chemical Vapor Deposition-Enhanced Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2024
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27.03.2025
Integrated capacitively coupled plasma and remote inductively coupled plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2024
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26.03.2025
Selbstzentrierender Kantenring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.03.2025
Molybdenum in Logic Beol Metallization
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2024
Anhängig
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20.03.2025
A finite element simulation method to predict the film thickness profile from zonal shoped
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2024
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20.03.2025
In-situ patterning for etch process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2024
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20.03.2025
Prevention of atmosphere exposure in gas delivery system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2024
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19.03.2025
Fensterkantenheizvorrichtung für Hochleistungsplasmaverarbeitungsanwendungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.03.2025
Selective etching by removal of a volatilizable terminal functional group
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.09.2024
Anhängig
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13.03.2025
In-situ high aspect ratio etch with a re-deposited helmet mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.09.2024
Anhängig
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13.03.2025
Selective substrate processing based on electrode regions
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 30.05.2024
Anhängig
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12.03.2025
Molybdänhalogenide in Speicheranwendungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.03.2025
Systeme und Verfahren zur Pulsbreitenmodulierten Dosissteuerung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.03.2025
Dynamic temperature control of zoned substrate support in substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.08.2024
Anhängig
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06.03.2025
Electroplating Cell Neutralization
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2024
Anhängig
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06.03.2025
Deposition with modification step for sputtering and/or composition modification
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.08.2024
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06.03.2025
Rotating element and substrate holder for electroplating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.08.2024
Anhängig
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06.03.2025
Membrane frame for electrodeposition tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 23.08.2024
Anhängig
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06.03.2025
Semiconductor process cooling system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 22.07.2024
Anhängig
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06.03.2025
Plasma processing system including segmented electrode with floating segments
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.08.2024
Anhängig
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06.03.2025
Filtering A Drain Path in an Electrodeposition Tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 22.08.2024
Anhängig
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05.03.2025
Metallsilizid-Kontaktbildung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.02.2025
Seam-Free Gapfill By Inhibited Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 19.08.2024
Anhängig
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27.02.2025
Method for cleaning chamber with hydrogen fluoride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.08.2024
Anhängig
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