Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
29.03.2006	29.03.2006 Verfahren und Apparat für das Entfernen durch Reaktiven Gasen von einer Zurückgebliebenen Organischen Schicht von einem Substrat EP1639631 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2004 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2006	29.03.2006 Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Filmdicke auf einem Polierkissen EP1638734 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2004 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.03.2006	23.03.2006 Apparatus for the optimization of atmospheric plasma in a plasma processing system WO2006031452 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Methods of removing photoresist on substrates WO2006028858 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Etch with uniformity control WO2006028673 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2006	09.03.2006 Yttria insulator ring for use inside a plasma chamber WO2006026110 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Low-K Dielectric Etch WO2006019849 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Method for stripping photoresist from etched wafer WO2006020344 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.02.2006	08.02.2006 Verfahren zur Herstellung eines Verbesserten Bilayer-Resistmusters EP1623275 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2004 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2006	02.02.2006 Methods and apparatus for the optimization of etch resistance in a plasma processing system WO2006011996 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2006	02.02.2006 Apparatus for an optimized plasma chamber top piece WO2006011991 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2006	02.02.2006 Methods and apparatus for determining endpoint in a plasma processing system WO2006012022 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2006	02.02.2006 Methods and apparatus for optimal temperature control in a plasma processing system WO2006012021 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Method for providing uniform removal of organic material WO2006007355 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2006	12.01.2006 Method of determining the correct average bias compensation voltage during a plasma process WO2006004744 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2006	04.01.2006 System, Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserten Lokalen Doppel-Damascene-Planarisierung EP1611599 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2004 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2006	04.01.2006 Plasmaätzverfahren mittels Periodischer Modulation von Gaschemie EP1611603 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.04.2004 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2006	04.01.2006 Substratträger mit Temperaturgeregelter Oberfläche EP1611601 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2004 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Gritschneder, Martin · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2006	04.01.2006 Ein Kantenrandsystem und ein Verfahren zur Selbstdrainage EP1612844 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2005 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2005	21.12.2005 System zur Endpunktbestimmung Beim Chemisch-Mechanischen Polieren EP1399294 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2001 Erteilt am 21.12.2005 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.12.2005	15.12.2005 Plasma processor with electrode responsive to multiple rf frequencies WO2005119734 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2005	14.12.2005 System, Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserten Globalen Doppel-Damascene-Planarisierung EP1604393 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2004 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.11.2005	30.11.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Megaschall-Reinigung von Gemusterten Substraten EP1599298 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2004 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Wombwell, Francis · Birkenhead Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.11.2005	30.11.2005 Verfahren zur Verbesserung der Profilregelung und N/p-Beladung in Doppelt Dotierten Gate-Anwendungen EP1599894 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.02.2004 Anhängig Vertretung Wombwell, Francis · Birkenhead Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2005	24.11.2005 Apparatus including showerhead electrode and heater for plasma processing WO2005111268 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2005	23.11.2005 Verfahren und Vorrichtung für die In-Situ-Messung von Plasma-Ätz-Prozessen und Plasma-Abscheidungs-Prozessen mit Hilfe einer Breitbandigen Gepulsten Lichtquelle EP1218689 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Erteilt am 23.11.2005 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.11.2005	02.11.2005 Verbesserte Megaschall-Reinigungsleistung mittels Automatischer Abstimmung eines Hf-Generators bei Konstanter Höchstleistung EP1590828 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.12.2003 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.10.2005	26.10.2005 Poliervorrichtung und Polierverfahren mit Polierdrucksteuerung als Funktion der Überlappenden Fläche zwischen dem Polierkopf und der Halbleiterscheibe EP1311368 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2001 Erteilt am 26.10.2005 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.10.2005	20.10.2005 A method of plasma etch endpoint detection using a v-i probe diagnostics WO2005098091 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2005	06.10.2005 Methods for the optimization of substrate etching in a plasma processing system WO2005091974 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.10.2005	05.10.2005 Ein Verfahren und eine Vorrichtung um Waferoberflächen zu behandeln EP1583138 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2005 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.09.2005	29.09.2005 Dual doped polysilicon and silicon germanium etch WO2005091338 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.09.2005	22.09.2005 Line Edge Roughness Control WO2005088693 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.09.2005	21.09.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Metrologischen Prozesssteuerungzur Implementierung Komplementärer Sensoren EP1576336 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2003 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.09.2005	14.09.2005 Gasverteilungsvorrichtung und -Methode zum Gleichmässigen Ätzen EP1573775 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2003 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.08.2005	31.08.2005 Verfahren zur Überprüfung von Vorbearbeitungsregelungen in einem Waferreinigungssystem EP1192643 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2000 Erteilt am 31.08.2005 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2005	18.08.2005 System and method for stress free conductor removal WO2005076349 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.08.2005	04.08.2005 Selective etch of films with high dielectric constant WO2005071722 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Showerhead electrode assembly for plasma processing apparatuses WO2005065186 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.07.2005	14.07.2005 Yttria-coated ceramic components of semiconductor material processing apparatuses and methods of manufacturing the components WO2005062758 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen