Lam Research Logo

Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

2.725 gesamt
Patent
19.07.2006
Verfahren zum Reinigen eines Chemisch-Mechanischen Polierkissens
EP1181134
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
19.07.2006
Verfahren und Vorrichtungen zum Optimieren eines Substrats in einem Plasma-Verarbeitungssystem
EP1680810
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2006
Electrically enhancing the confinement of plasma
WO2006074050
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2006
Apparatus for spatial and temporal control of temperature on a substrate
WO2006073947
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2006
Verfahren und Vorrichtung zum Ätzendpunktsnachweis
EP1678480
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2006
Silicon Electrode Assembly Surface Decontamination By Acidic Solution
WO2006071535
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2006
Window protector for sputter etching of metal layers
WO2006071816
Metallurgie & Oberflächentechnik
29.06.2006
Method and apparatus for controlling spatial temperature distribution
WO2006068805
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2006
Non-contact discrete removal of substrate surface contaminants/coatings, and method, apparatus, and system for implementing the same
WO2006068958
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2006
Rückätzprozess mit Stickoxid
EP1673805
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2006
Wafer heating and temperature control by backside fluid injection
WO2006065532
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.06.2006
System, method and apparatus for in-situ substrate inspection
WO2006065507
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
22.06.2006
Reduction of etch mask feature critical dimensions
WO2006065630
22.06.2006
System method and apparatus for dry-in, dry-out, low defect laser dicing using proximity technology
WO2006066100
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2006
Chemisch-Mechanische Poliervorrichtung mit Aktivierung der Polierflüssigkeit und Verfahren zu deren Anwendung
EP1322450
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
21.06.2006
Stickoxid-Entfernungsprozess für Organosilikatglas
EP1671363
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2006
Verfahren zum Reinigen eines Satzes von Strukturen aus Yttriumoxid in einem Plasmabehandlungssystem
EP1667850
Metallurgie & Oberflächentechnik
31.05.2006
Halbleiterstruktur unter Verwendung von Opfermaterial und Zugeörige Herstellungsverfahren
EP1415344
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2006
Mehrfrequenz-Plasmaätzreaktor
EP1661171
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Etching method including photoresist plasma conditioning step with hydrogen flow rate ramping
WO2006049736
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
WO2006049954
WO2006049954
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2006
Türscharnier mit Öffnungs-Unterstützung
EP1145280
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2006
Heat transfer system for improved semiconductor processing uniformity
WO2006044198
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
27.04.2006
Apparatus and methods for improving the stability of rf power delivery to a plasma load
WO2006044722
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
20.04.2006
Methods and apparatus for monitoring a process in a plasma processing system by measuring a plasma frequency
WO2006041656
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.04.2006
Semiconductor wafer material removal apparatus and method for operating the same
WO2006041629
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
19.04.2006
Verfahren und System zur Elektronischen Räumlichen Filterung von Optischen Signalen eines Spektralreflektometers
EP1647049
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Cluster tool process chamber having integrated high pressure and vacuum chambers
WO2006039133
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
13.04.2006
Solutions for cleaning silicon semiconductors or silicon oxides
WO2006039090
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
13.04.2006
Corrosion resistant apparatus for control of a multi-zone nozzle in a plasma processing system
WO2006039211
Metallurgie & Oberflächentechnik
13.04.2006
Wafer edge wheel with drying function
WO2006039127
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
13.04.2006
System and method for modulating flow through multiple ports in a proximity head
WO2006039225
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
12.04.2006
Verfahren zum Entfernen von Fotoresist von Substraten
EP1644776
Optik & Fototechnik
12.04.2006
Substrat-Träger mit Dynamischer Temperaturregelung
EP1644962
Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
06.04.2006
Methods and apparatus for tuning a set of plasma processing steps
WO2006036753
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
06.04.2006
Computer-implemented data presentation techniques for a plasma processing system
WO2006036893
Software & Datenverarbeitung Elektrische Energietechnik
06.04.2006
Methods and apparatus for monitoring a process in a plasma processing system by measuring self-bias voltage
WO2006036821
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2006
Methods and apparatus for monitoring a process in a plasma processing system by measuring impedance
WO2006036820
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.04.2006
Architektur für ein Programmierbares Vielzweck-Halbleiterverarbeitungssystem und Verfahren dafür
EP1642341
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
29.03.2006
Vorrichtung und Verfahren für die Abscheidung und Planarisierung von Dünnfilmschichten von Halbleiterscheiben
EP1639156
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Lam Research?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen