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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
14.07.2005
Proximity brush unit apparatus and method
WO2005064645
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2005
Expertmethode und Datenanalysesystem
EP1550155
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2005
Verfahren und Vorrichtung zum Anwenden Differentieller Entfernungsraten auf eine Oberflûche eines Substrats
EP1550152
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2005
Verbessertes Plasma-Ätzverfahren
EP1550153
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2005
Verfahren und System zur Steuerung von Bandoberflächentemperatur und Aufschlämmungstemperatur bei Chemisch-Mechanischem Linearplanarisieren
EP1549465
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
29.06.2005
Verfahren zur in Situ Bearbeitungsüberwachung eines Strukturierten Substratsunter Anwendung von Reflektometrie
EP1546649
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2005
Teilmembrantrûgerkopf
EP1545832
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
29.06.2005
Verfahren zur Verringerung der Wafer-Bogenbildung
EP1547137
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2005
Auf Wirbelströme Basierende Messungsfähigkeiten
EP1543316
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.06.2005
Benutzeroberfläche zur Quantifizierung von Scheibenunregelmässigkeiten und Graphische Untersuchungssignifikanz
EP1543550
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2005
Verfahren zum Quantifizieren von Gleichförmigkeitsmustern und Einschluss von Expertenwissen für die Werkzeugentwicklung und -Steuerung
EP1543551
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.06.2005
Method for toolmatching and troubleshooting a plasma processing system
WO2005054880
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.06.2005
Methode und System zur Detektion und Lokalisation von Metallrückständen in einer Sequenz Multipler Schritte
EP1540327
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.05.2005
Abrichtvorrichtung für Polierkissen und Verfahren zu dessen Anwendung
EP1322449
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11.05.2005
Verfahren und Verbindungen für das Härten von Photolack in Ätzprozessen
EP1529308
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2005
Verfahren zur Einstellung der Spannung eines Betriebenen Faraday-Schirms
EP1525602
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2005
Method and apparatus for wafer mechanical stress monitoring and wafer thermal stress monitoring
WO2005035191
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14.04.2005
System, method and apparatus for applying liquid to a cmp polishing pad
WO2005032764
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
07.04.2005
Etch with ramping
WO2005031835
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2005
System and method for integrated multi-use optical alignment
WO2005028994
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2005
Wafer-Träger mit Kerbe zur Entkoppelung von Haltering und Halterplatte
EP1294537
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30.03.2005
Verfahren zum Ätzen Dielektrischer Schichten mit Verbesserter Resist-Und/oder Ätzprofilcharakteristik
EP1518265
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2005
Reduction of feature critical dimensions
WO2005024904
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2005
Integrierte Schrittweise Statistische Prozesssteuerung in einem Plasmaverarbeitungssystem
EP1512174
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.02.2005
Method for balancing return currents in plasma processing apparatus
WO2005013310
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2005
Application of heated slurry for cmp
WO2005005102
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
19.01.2005
Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen einer Polierscheibe
EP1497076
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.01.2005
Verunreinigungsarme Bauteile für Halbleiterverarbeitungsapparatur und Verfahren zur Herstellung von Bauteilen
EP1495155
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2005
Magnetic enhancement for mechanical confinement of plasma
WO2005001877
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2005
Trägerloses Polierband zum Chemisch-Mechanischen Polieren
EP1214175
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
29.12.2004
System und Verfahren zur Breitband-Lichtendpunktdetektion zur Filmwechselanzeige
EP1490898
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.12.2004
Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Übergänge der Oberflächeneigenschaften eines Wafers bei dem Chemisch-Mechanischen Polierverfahren für Prozess-Status und Prozess-Kontrolle
EP1487611
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2004
Verfahren und System zur Verminderung von Photochemischer Korrosion bei Reinigungsprozessen
EP1218927
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2004
Verstärkter Riemen für Chemisch-Mechanisches-Planarisieren
EP1483182
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
10.11.2004
System und Verfahren zur Lieferungsabwicklung, Steuerung und Mischung von Chemikalien und Schlämmen für Cmp-/reinigungssysteme
EP1474729
Steuerungs- & Regelungstechnik
03.11.2004
Verfahren zur Herstellung von Verstärkten Waferpolierkissen und Diese Verfahren Implementierende Vorrichtungen
EP1345733
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
20.10.2004
Verfahren und Vorrichtung zum Anlegen einer Abwärtskraft an einen Wafer bei Cmp
EP1467839
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
22.09.2004
Verfahren und Vorrichtungen zur Aufbereitung und Temperaturregelung einer Verarbeitungsoberfläche
EP1459358
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2004
Vorrichtung und Verfahren zur Temperaturkontrolle einer Halbleiterscheibe Beim Chemisch-Mechanischen Polieren
EP1458522
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
22.09.2004
Verfahren zur Herstellung von Verbindungsstrukturen mit Dielektrischen Eigenschaften eines Niedrigen K
EP1459373
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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774
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177
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141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
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105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
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31

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