Pfeiffer Vacuum Patente

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Pumpe, insbesondere Vakuumpumpe, umfassend eine pumpaktive Komponente mit einer Beschichtung, wobei die Beschichtung eine, insbesondere durch anodische Oxidation in einem säurehaltigen Elektrolyten gebildete, Poren aufweisende Oxidschicht sowie eine fluorfreie Polymer-basierte und/oder Sol-Gel-basierte Versiegelung umfasst, und wobei die Poren der Oxidschicht zumindest teilweise von der Versiegelung bedeckt und/oder mit der Versiegelung imprägniert und/oder mit der Versiegelung gefüllt sind. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Versiegeln einer porösen Oxidschicht.

Ein Vakuumgerät umfasst mindestens zwei Vakuumpumpen (110,120) mit jeweils mindestens einem Schmiermittelraum (112,114,122,124), der für ein Schmiermittel zur Schmierung mindestens einer Komponente der jeweiligen Vakuumpumpe vorgesehen ist. Ferner umfasst das Vakuumgerät einen zentralen Einlass (150) für das Schmiermittel, der mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht, und einen zentralen Auslass (160) für das Schmiermittel, der ebenfalls mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht.

Die Erfindung betrifft ein Rückschlagventil umfassend einen Durchgang für ein Fluid, ein bewegliches Schließelement und einen Dichtungssitz, wobei das Schließelement und der Dichtungssitz derart korrespondierend ausgebildet sind, dass das Schließelement den Durchgang sperrt, wenn es sich in Anlage mit dem Dichtungssitz befindet, und ein Masseelement, welches mit dem Schließelement verbunden ist.

Die Erfindung betrifft eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei das bewegliche Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden, von diesen begrenzten Spiralnuten und deren Boden bildendem Spiralgrund sowie einen mit dem Exzenterabschnitt der Antriebswelle zusammenwirkenden Träger für die Spiralanordnung umfasst, wobei das feststehende Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden und Spiralgrund sowie einen Träger für die Spiralanordnung umfasst. Dabei weist gemäß einem ersten Aspekt zumindest eine Spiralwand an einem freien Endabschnitt eine reduzierte Dicke auf, die kleiner ist als die Dicke eines dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitts der Spiralwand. Gemäß einem zweiten Aspekt weist zumindest eine Spiralwand einen freien Endabschnitt auf, der an seiner radialen Außenseite und/oder an seiner radialen Innenseite relativ zu einem dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitt der Spiralwand einen Rücksprung aufweist.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe mit einem Einlass und einem Auslass in Pumprichtung stromabwärts des Einlasses. Die Holweck-Pumpstufe umfasst einen Holweck-Rotor mit einer Rotorhülse und einen Holweck-Stator mit einer Statorhülse, die unter Bildung eines Holweckspalts koaxial zu dem Holweck-Rotor angeordnet ist. Die Statorhülse weist ein Holweck-Gewinde mit mehreren Gewindenuten auf, die durch an der Statorhülse ausgebildete Stege und durch einen durch die Statorhülse gebildeten Nutgrund begrenzt sind. Die Statorhülse ist einstückig ausgebildet und zumindest ein Gewindeparameter des Holweck-Gewindes aus der Gruppe von Gewindeparametern, die aus der Anzahl der Stege, der Gewindesteigung, der Breite der Gewindenuten, der Breite der Stege und der Höhe der Stege über dem Nutgrund besteht, ändert sich über die axiale Erstreckung der Statorhülse .

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Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und mit einem drehbar in dem Stator gelagerten Rotor (17) für zumindest eine Pumpstufe, wobei zur Lagerung des Rotors zumindest eine Lagereinheit vorgesehen ist, die ein Lager (42) sowie zumindest einen dem Lager zugeordneten Aktor (58, 60, 62, 68, 72) aufweist, der zur selektiven Veränderung zumindest einer Betriebseigenschaft und/oder -stellung des Lagers angeordnet ist.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem ersten Gehäusebauteil, in dem ein pumpwirksamer Abschnitt der Vakuumpumpe und/oder ein Antrieb für einen pumpwirksamen Abschnitt der Vakuumpumpe angeordnet ist, einem zweiten Gehäusebauteil, welches von dem ersten Gehäusebauteil separat ausgeführt ist und in dem eine Funktionseinheit für die Vakuumpumpe vorgesehen ist und einer an dem zweiten Gehäusebauteil vorgesehenen Kühleinrichtung für die Funktionseinheit, wobei eine Isoliereinrichtung zwischen der Kühleinrichtung und dem ersten Gehäusebauteil vorgesehen ist, und wobei die Kühleinrichtung zwischen der Isoliereinrichtung und dem zweiten Gehäusebauteil angeordnet ist.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die eine Holweck-Statorhülse mit einer Innenseite und einer Außenseite und ein dem Pumpeneinlass entgegen der Pumprichtung zugewandtes Einlassende aufweist. An der Innenseite und/oder an der Außenseite der Holweck-Statorhülse ist ein Holweck-Gewinde mit mehreren spiralförmig umlaufenden Stegen ausgebildet, die jeweils eine dem Einlassende zugewandte erste Gewindeflanke und eine dem Einlassende abgewandte zweite Gewindeflanke aufweisen. Die Stege weisen am Einlassende der zumindest einen Holweck-Pumpstufe jeweils eine radial ausgerichtete Stirnfläche auf, die mit der zweiten Gewindeflanke einen überstumpfen ersten Winkel einschließt, welcher kleiner als 300° ist.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor und mindestens einem mit einem Schmiermittel geschmierten Wälzlager zur Lagerung des Rotors, wobei das Wälzlager einen Außenring und einen Innenring sowie zwischen dem Außenring und dem Innenring gelagerte Wälzkörper, insbesondere Kugeln, umfasst, wobei auf einer Innenseite des Außenrings und einer Außenseite des Innenrings jeweils eine in Umfangsrichtung umlaufende Abwälzfläche für die Wälzkörper ausgebildet ist, und wobei mindestens ein Durchgang zum Abführen des Schmiermittels vorgesehen ist, welcher sich von der an dem Außenring ausgebildeten Abwälzfläche zur Außenseite des Außenrings erstreckt, und/oder wobei an der Innenseite des Außenrings und/oder an der Außenseite des Innenrings zumindest auf einer Seite der jeweiligen Abwälzfläche eine von der Abwälzfläche weg nach radial außen führende Ablauffläche für das Schmiermittel ausgebildet ist, und/oder wobei die Innenseite des Außenrings und/oder die Außenseite des Innenrings zumindest bereichsweise eine hydrophile Oberflächenbeschaffenheit und/oder zumindest bereichsweise eine hydrophobe Oberflächenbeschaffenheit aufweist.

Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem (11,13), das ein feststehendes Spiralbauteil (11) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (13) umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse (15) rotierenden Antriebswelle (17) mit einem Exzenterabschnitt (19) zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils (13), und einem elektrischen Antriebsmotor (21,23) für die Antriebswelle (17), wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen (11,13) ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel (113) vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

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