Pfeiffer Vacuum Patente

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor und mindestens einem mit einem Schmiermittel geschmierten Wälzlager zur Lagerung des Rotors, wobei das Wälzlager einen Außenring und einen Innenring sowie zwischen dem Außenring und dem Innenring gelagerte Wälzkörper, insbesondere Kugeln, umfasst, wobei auf einer Innenseite des Außenrings und einer Außenseite des Innenrings jeweils eine in Umfangsrichtung umlaufende Abwälzfläche für die Wälzkörper ausgebildet ist, und wobei mindestens ein Durchgang zum Abführen des Schmiermittels vorgesehen ist, welcher sich von der an dem Außenring ausgebildeten Abwälzfläche zur Außenseite des Außenrings erstreckt, und/oder wobei an der Innenseite des Außenrings und/oder an der Außenseite des Innenrings zumindest auf einer Seite der jeweiligen Abwälzfläche eine von der Abwälzfläche weg nach radial außen führende Ablauffläche für das Schmiermittel ausgebildet ist, und/oder wobei die Innenseite des Außenrings und/oder die Außenseite des Innenrings zumindest bereichsweise eine hydrophile Oberflächenbeschaffenheit und/oder zumindest bereichsweise eine hydrophobe Oberflächenbeschaffenheit aufweist.

Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem (11,13), das ein feststehendes Spiralbauteil (11) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (13) umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse (15) rotierenden Antriebswelle (17) mit einem Exzenterabschnitt (19) zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils (13), und einem elektrischen Antriebsmotor (21,23) für die Antriebswelle (17), wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen (11,13) ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel (113) vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Drehschieber-Vakuumpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe (56) und einem ersten Elektromotor (50), der antriebswirksam mit der Pumpstufe (56) verbunden ist. Die Vakuumpumpe verfügt ferner über zumindest einen von einem zweiten Elektromotor (68) angetriebenen Lüfter (66), mittels dessen sich die Vakuumpumpe kühlen lässt.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe und mit einer Druckermittlungseinheit zur Bestimmung eines an einer Saugseite der Vakuumpumpe herrschenden Drucks, die eine Messeinrichtung umfasst, wobei ein Messabgriff der Messeinrichtung im Bereich der Pumpstufe oder stromabwärts der Pumpstufe vorgesehen ist.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe oder ein zumindest eine Vakuumpumpe umfassendes Vakuumsystem, wobei der Vakuumpumpe eine Inertialmesseinheit zugeordnet ist, die zumindest einen Inertialsensor umfasst, der dazu ausgebildet ist, Bewegungen der Vakuumpumpe und/oder die Orientierung der Vakuumpumpe zu erfassen und diesbezügliche Messdaten und/oder durch Auswerten dieser Messdaten erhaltene Informationen bereitzustellen.

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, die in einem gemeinsamen Pumpengehäuse ausgebildet sind, zumindest einer Turbomolekularpumpstufe, die einen dem Pumpeneinlass zugeordneten Einlassbereich und einen Auslassbereich aufweist, und wenigstens einer zwischen dem Auslassbereich der Turbomolekularpumpstufe und dem Pumpenauslass wirksamen Vorpumpstufe, die dazu ausgebildet ist, von der Turbomolekularpumpstufe gefördertes Gas zu verdichten und gegen einen Gasdruck von mehr als 1 mbar, insbesondere gegen Atmosphärendruck, auszustoßen, wobei die Vorpumpstufe in die Turbomolekularpumpe integriert ist.

Eine Pumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst einen Stator mit zumindest einem Statorelement und einen von einem Motor zu einer Drehung um eine Rotationsachse antreibbaren Rotor mit zumindest einem Rotorelement, die zusammen eine Pumpstufe bilden, die in einem Pumpengehäuse angeordnet ist, wobei die Rotationsachse eine axiale Richtung definiert und das Pumpengehäuse einen Pumpeneinlass und zumindest einen Pumpenauslass definiert, wobei der zumindest eine Pumpenauslass in der axialen Richtung gesehen seitlich versetzt in Bezug auf die Rotationsachse ausgebildet ist, wobei der Pumpeneinlass zumindest eine Einlassöffnung, insbesondere genau eine Einlassöffnung, aufweist, die eine Einlassebene definiert und der zumindest eine Pumpenauslass zumindest eine Auslassöffnung, insbesondere genau eine Auslassöffnung, aufweist, die eine Auslassebene definiert, wobei die Einlassebene und die Auslassebene die gleiche Ebene oder parallele Ebenen sind oder wobei die Einlassebene und die Auslassebene einen Winkel von größer als 90° bis kleiner als 180° einschließen.

Vorrichtung zur Kommunikation mit einem Vakuumgerät, umfassend ein erstes Schnittstellenelement, das ausgebildet ist, mit einem von der Vorrichtung getrennt ausgebildeten Kommunikationsgerät zu kommunizieren, ein zweites Schnittstellenelement, das ausgebildet ist, mit dem Vakuumgerät zu kommunizieren, ein Speicherelement und ein Prozessorelement, das ausgebildet ist, Daten von dem Kommunikationsgerät über das erste Schnittstellenelement an das Speicherelement bereitzustellen und Daten von dem Speicherelement über das zweite Schnittstellenelement an das Vakuumgerät bereitzustellen, und/oder Daten von dem Vakuumgerät über das zweite Schnittstellenelement an das Speicherelement bereitzustellen und Daten von dem Speicherelement über das erste Schnittstellenelement an das Kommunikationsgerät bereitzustellen.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpraum, einem mit dem Pumpraum verbundenen Einlass und einem mit dem Pumpraum verbundenen Auslass, wobei in dem Pumpraum ein zu förderndes Gas von dem Einlass zu dem Auslass förderbar ist, wobei an den Einlass eine zu evakuierende Kammer anschließbar ist, wobei die Vakuumpumpe für das Zuführen eines Gasballasts in den Pumpraum ausgebildet ist, wobei die Vakuumpumpe ein Steuergerät umfasst, welches ausgebildet ist, eine Ballastpumpdauer zu berechnen, die angibt, wie lange Gasballast gepumpt werden muss, um im Pumpraum vorhandenes oder vermutetes Wasser auszupumpen, wobei das Steuergerät ferner ausgebildet ist, ein Zuführen des Gasballasts für eine Zuführdauer zu bewirken, wobei die Zuführdauer von der berechneten Ballastpumpdauer abhängt.

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Eine Vakuumpumpe weist eine Schnittstelle zum Verbinden der Vakuumpumpe mit einer Zubehöreinrichtung, einen Controller, der mit der Schnittstelle in Verbindung steht, und eine Entstörungseinrichtung auf, die mit der Schnittstelle und dem Controller verbunden ist. Der Controller ist ausgebildet, um zumindest zwei unterschiedliche Typen eines Signals zu erkennen, das an der Schnittstelle der Vakuumpumpe anliegt, und um die Entstörungseinrichtung in Abhängigkeit von dem erkannten Typ des an der Schnittstelle anliegenden Signals zu aktivieren.

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Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem gegenüber einem Stator der Vakuumpumpe um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, zu dessen drehbarer Lagerung wenigstens ein Permanentmagnetlager vorgesehen ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass das Permanentmagnetlager wenigstens einen, insbesondere ring- oder hohlzylinderförmig ausgebildeten, monolithischen Permanentmagnet umfasst, der zwei oder mehr in axialer Richtung aufeinanderfolgende Abschnitte aufweist, und bei dem zueinander benachbarte Abschnitte eine zumindest im Wesentlichen entgegengesetzte Magnetpolorientierung aufweisen.

Pumpe, insbesondere Vakuumpumpe, umfassend eine Gleitschicht (152), wobei die Gleitschicht eine, insbesondere durch anodische Oxidation in einem säurehaltigen Elektrolyten gebildete, Oxidschicht sowie eine Polymer basierte Versiegelung, insbesondere auf Basis eines fluorhaltigen Polymers, umfasst, und wobei die Oxidschicht zumindest teilweise von der Versiegelung bedeckt und/oder mit der Versiegelung imprägniert ist. Verfahren zur Herstellung einer Gleitschicht (152), umfassend die folgenden Schritte: a) Erzeugen einer Oxidschicht, insbesondere durch anodische Oxidation, in einem, vorzugsweise Oxalsäure enthaltenden, Elektrolyten; und b) Beschichten der Oxidschicht mit einer Versiegelung.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, wobei ein Sensor zur Erfassung eines Magnetfelds vorgesehen ist, welcher mit einer Steuer- und/oder Auswerteeinheit verbunden ist, wobei die Steuer- und/oder Auswerteeinheit dazu ausgebildet ist, das erfasste Magnetfeld auszuwerten und auf der Basis der Auswertung in Abhängigkeit von zumindest einer Bedingung eine Maßnahme zu ergreifen.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit zumindest einem Einlass, einem Auslass und wenigstens zwei bezüglich einer gemeinsamen Rotationsachse konzentrischen, in Pumprichtung zwischen dem Einlass und dem Auslass aufeinander folgenden Holweckstufen, die jeweils ein Holweckstatorsegment mit einem Holweckgewinde und eine um die Rotationsachse rotierende Holweckhülse umfassen, wobei die Holweckstatorsegmente jeweils an einer Seite eines gemeinsamen Holweckstators angeordnet sind, der in einen radialen Zwischenraum zwischen den konzentrisch angeordneten Holweckhülsen ragt, die an einer mit einem Rotor der Vakuumpumpe drehfest verbundenen Holwecknabe befestigt sind. Ein axialer Abstand zwischen einem in den radialen Zwischenraum ragenden axialen Ende zumindest eines der Holweckstatorsegmente und der Holwecknabe ist größer als 25% der axialen Erstreckung eines in den radialen Zwischenraum ragenden Abschnitts der Holweckstatorsegmente. Alternativ oder zusätzlich ist der axiale Abstand größer als 25% der axialen Erstreckung zumindest einer der Holweckhülsen und/oder eine axiale Erstreckung eines in den radialen Zwischenraum ragenden Abschnitts zumindest eines der Holweckstatorsegmente ist kleiner als 75% der axialen Erstreckung zumindest einer der Holweckhülsen.

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Vakuumpumpe, insbesondere zur Erzeugung von Grob- und/oder Feinvakuum, mit zumindest einer Pumpenkomponente sowie einer Kühlvorrichtung zur konvektiven Kühlung der Pumpenkomponente mittels eines Kühlmediums, wobei die Kühlvorrichtung dazu eingerichtet ist, einen konvektiven Wärmeübergang zwischen der zu kühlenden Pumpenkomponente und dem Kühlmedium durch Anpassung eines Wärmeübergangskoeffizienten in Abhängigkeit und/oder zur Einhaltung eines Pumpenbetriebsparameters variabel zu verändern.

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The present invention relates to a vacuum valve (10) for high- or ultra-high vacuum systems, the vacuum valve (10) comprising a valve housing (12) defining a passage connecting a first (18) and a second (20) opening of the valve housing (12), a valve body and a complementary seat (60) disposed in the passage, the valve body and/or the seat (60) comprising a seal member (52) and the valve body being movable in a linear axial direction along between an open position and a closed position, wherein the valve body cooperates with the seat (60) in the closed position so as to close the first opening gas tightly, and an electromechanical actuation unit for actuating the valve body, the actuation unit comprising an electric motor (34) and a mechanical conversion unit with an input portion drivingly connected to the electric motor (34) and an output portion drivingly connected to the valve body, wherein the mechanical conversion unit converts a rotational output of the electrical motor (34) into a linear movement of an output portion to move the valve body in the axial direction. The present invention further relates to method operating that vacuum valve and to a vacuum valve comprising a low force seal member. One advantage associated with vacuum valves according to the present invention is that they have a comparatively low energy consumption.

Ein Verfahren ist zum Betreiben einer Vakuumpumpe vorgesehen, die einen Rotor, einen Stator, ein aktiv geregeltes Magnetlager zum Lagern des Rotors und ein Fanglager für den Rotor aufweist. Gemäß dem Verfahren wird ein Satz von Betriebsvorgaben für die Vakuumpumpe bereitgestellt, der zumindest einen bei einem Störungsereignis zu erreichenden Betriebszustand der Vakuumpumpe aufweist. Ferner wird ein Störungsereignis detektiert, bei welchem der Rotor bezogen auf den Stator einen für den Rotor vorgesehenen Raumbereich derart verlässt, dass ein Verschleiß an dem Fanglager auftritt. Anhand des detektierten Störungsereignisses wird ein Verschleißinkrement für das Fanglager geschätzt. Das Verschleißinkrement wird zu einer Variablen für den Gesamtverschleiß des Fanglagers hinzugefügt. Anhand des Satzes von Betriebsvorgaben für die Vakuumpumpe und anhand der Variablen für den Gesamtverschleiß des Fanglagers wird schließlich ermittelt, ob eine Maßnahme zur Stabilisierung des Rotors ausgeführt wird.

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