Pfeiffer Vacuum Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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332 gesamt| Patent | |||
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11.11.2020
Vakuumpumpe und Verfahren zum Überwachen einer Vakuumpumpe
EP3736447
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 17.04.2020
Anhängig
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11.11.2020
Vakuumpumpe mit Überdrehzahlsicherung
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Status
Angemeldet am 13.09.2006
Erteilt am 11.11.2020
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11.11.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 21.11.2018
Erteilt am 11.11.2020
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04.11.2020
Membranvakuumpumpe
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Angemeldet am 24.08.2015
Erteilt am 04.11.2020
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04.11.2020
Verfahren zum Markieren eines Magnetrings eines Magnetlagers einer Vakuumpumpe
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Angemeldet am 08.09.2017
Erteilt am 04.11.2020
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28.10.2020
Vakuumpumpen-Dämpfer
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Angemeldet am 03.03.2015
Erteilt am 28.10.2020
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07.10.2020
Vakuumpumpe
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Angemeldet am 24.08.2015
Erteilt am 07.10.2020
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16.09.2020
Verwendung eines Synthetischen Öls in einer Vakuumpumpe und Vakuumpumpe
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Angemeldet am 12.11.2018
Erteilt am 16.09.2020
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09.09.2020
Zweiwellige Vakuumpumpe
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Angemeldet am 20.11.2009
Erteilt am 09.09.2020
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09.09.2020
Pumpe und Verfahren zum Wuchten eines Rotors
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Angemeldet am 30.09.2014
Erteilt am 09.09.2020
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09.09.2020
Rotorlagerung
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Angemeldet am 30.01.2015
Erteilt am 09.09.2020
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12.08.2020
Vakuumpumpe
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Angemeldet am 17.06.2015
Erteilt am 12.08.2020
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05.08.2020
Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe und Vakuumpumpe
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Angemeldet am 27.04.2015
Erteilt am 05.08.2020
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29.07.2020
Rotationsverdrängervakuumpumpe
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Angemeldet am 15.10.2015
Erteilt am 29.07.2020
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29.07.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 13.09.2018
Erteilt am 29.07.2020
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22.07.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 13.03.2015
Erteilt am 22.07.2020
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22.07.2020
Vakuumpumpe und Verfahren zum Verringern einer Restunwucht in einer Vakuumpumpe
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Angemeldet am 10.05.2016
Erteilt am 22.07.2020
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01.07.2020
Vakuumpumpe mit einer Innenverkleidung zur Aufnahme von Ablagerungen
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Status
Angemeldet am 22.12.2016
Erteilt am 01.07.2020
Vertretung
Zusammenfassung
Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend ein Gehäuse mit wenigstens einem Einlass für Fluid, insbesondere Prozessgas oder Luft, an welchen ein Rezipient anschließbar ist, und mit wenigstens einem Auslass für das Fluid, und wenigstens eine in dem Gehäuse angeordnete Pumpstufe zum Fördern des Fluids, insbesondere aus dem Rezipient, durch die Vakuumpumpe vom Einlass zum Auslass, wobei in dem Gehäuse eine Kammer ausgebildet ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass in der Kammer wenigstens eine Einlage zur Aufnahme von Ablagerungen angeordnet ist, die wenigstens eine die Kammer begrenzende Seite der Kammer überdeckt. |
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01.07.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 22.05.2015
Erteilt am 01.07.2020
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01.07.2020
Verfahren und Vorrichtung zum Fluten einer Vakuumkammer
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Angemeldet am 26.06.2015
Erteilt am 01.07.2020
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01.07.2020
Vakuumdichtung, Doppeldichtung, Vakuumsystem und Vakuumpumpe
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Angemeldet am 14.03.2017
Erteilt am 01.07.2020
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01.07.2020
Verfahren zur Lebensdaueroptimierung von Wälzlagern einer Vakuumpumpe
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Angemeldet am 17.10.2017
Erteilt am 01.07.2020
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01.07.2020
Schraubenvakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
Erteilt am 01.07.2020
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24.06.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 09.05.2014
Erteilt am 24.06.2020
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17.06.2020
Vakuumpumpe und Verfahren zur Herstellung einer Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 30.04.2015
Erteilt am 17.06.2020
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Gehäuse, zumindest einer im Gehäuse angeordneten Funktionseinheit, und wenigstens einer außerhalb des Gehäuses angeordneten Gegeneinheit, die über wenigstens eine Leitung mit der Funktionseinheit elektrisch und/oder informationstechnisch verbunden ist, wobei die Leitung durch eine in einer Gehäusewand ausgebildete Öffnung hindurch verläuft, wobei die Gegeneinheit in einer Betriebsorientierung außen an der Gehäusewand angebracht ist und die Öffnung abdeckt, und wobei die Öffnung und die Gegeneinheit hinsichtlich ihrer Abmessungen derart aufeinander abgestimmt sind, dass die Gegeneinheit in einer von der Betriebsorientierung verschiedenen Montageorientierung durch die Öffnung hindurchführbar ist. |
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17.06.2020
Pumpe
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Status
Angemeldet am 06.10.2015
Erteilt am 17.06.2020
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03.06.2020
Membranvakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 06.06.2014
Erteilt am 03.06.2020
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13.05.2020
Vakuumpumpe mit Ballastgasventil
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Status
Angemeldet am 13.11.2017
Erteilt am 13.05.2020
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpenkörper, dessen Innenseite einen Pumpraum begrenzt und an dessen Außenseite ein Ventil zur Steuerung der Zufuhr eines Ballastgases in den Pumpraum angeordnet ist, wobei das Ventil eine Einlassöffnung und eine Auslassöffnung aufweist, wobei ein erster und ein zweiter Kanal in dem Pumpenkörper ausgebildet sind, wobei der Eingang jedes Kanals dem Ventil zugewandt ist und der Ausgang jedes Kanals in den Pumpraum mündet, und das Ventil zwischen einer ersten und einer zweiten Öffnungsstellung verstellbar ist und wobei die Auslassöffnung in der ersten Öffnungsstellung mit dem Eingang des ersten Kanals und in der zweiten Öffnungsstellung mit dem Eingang des zweiten Kanals ausgerichtet ist. |
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13.05.2020
Vakuumsicherheitsventil
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Status
Angemeldet am 27.04.2018
Erteilt am 13.05.2020
Vertretung
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13.05.2020
Scrollpumpe und Verfahren zum Betreiben einer Scrollpumpe
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Status
Angemeldet am 06.10.2015
Erteilt am 13.05.2020
Vertretung
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06.05.2020
Verfahren und System zur Versorgung einer Lageranordnung
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Status
Angemeldet am 10.03.2015
Erteilt am 06.05.2020
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29.04.2020
Membranpumpe
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Status
Angemeldet am 21.01.2015
Erteilt am 29.04.2020
Vertretung
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22.04.2020
Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 04.09.2015
Erteilt am 22.04.2020
Vertretung
Zusammenfassung
Ein Verfahren zum Wuchten eines Rotors (149) einer Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbopumpe, Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe, oder eines Rotors (149) einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbopumpe, Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe,wobei der Rotor (149) gegenüber einem Stator der Vakuumpumpe (111) oder der Rotationseinheit um eine Rotationsachse (151) drehbar gelagert ist, umfasst die Schritte: - Messen einer Unwucht des Rotors (149) bei sich um die Rotationsachse (151) drehendem Rotor (149), und - Beaufschlagen des Rotors (149) an wenigstens einer in Abhängigkeit von der gemessenen Unwucht errechneten Stelle (P1, P2, P3, P4, P5) mit einem Strahl (304), insbesondere Laser-, lonen- oder Elektronenstrahl, derart, dass mittels des Strahls (304) zur möglichst vollständigen Beseitigung oder zumindest zur Reduzierung der Unwucht Material von dem Rotor (149) abgetragen wird. |
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22.04.2020
Feststellung der Strömung eines Hilfsgases, das in eine Vakuumpumpe Gespeist Wird
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Status
Angemeldet am 29.06.2015
Erteilt am 22.04.2020
Vertretung
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15.04.2020
Turbomolekularpumpe
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Status
Angemeldet am 26.10.2015
Erteilt am 15.04.2020
Vertretung
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01.04.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 29.01.2015
Erteilt am 01.04.2020
Vertretung
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25.03.2020
Verfahren zum Reduzieren eines Magnetischen Streuvektorfelds einer Rotationseinheit mit einem Permanentmagnetlager für eine Vakuumpumpe mittels eines Kompensationsmagneten sowie Rotationseinheit und Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 03.08.2016
Erteilt am 25.03.2020
Vertretung
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25.03.2020
Schraubenvakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
Erteilt am 25.03.2020
Vertretung
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11.03.2020
Rotorscheibe
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Status
Angemeldet am 04.05.2015
Erteilt am 11.03.2020
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Rotorscheibe für einen mehrere separate, übereinander angeordnete, an einer Rotorwelle angebrachte Rotorscheiben oder genau eine separate, an einer Rotorwelle (14) angebrachte Rotorscheibe (12) umfassenden Rotor einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, wobei die Rotorscheibe eine Mehrzahl von in Umfangsrichtung verteilt angeordneten Schaufeln (16) umfasst, die jeweils ein in radialer Richtung von innen nach außen verlaufendes Dickenprofil aufweisen, und wobei wenigstens eine Schaufel ein Dickenprofil mit zumindest einer zwei Abschnitte (18, 20) der Schaufel (16) trennenden Stufe (22) aufweist. |
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11.03.2020
Vakuumpumpe
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Status
Angemeldet am 30.04.2015
Erteilt am 11.03.2020
Vertretung
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