Pfeiffer Vacuum Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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624 gesamt| Patent | |||
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06.01.2022
Dry Type Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 23.06.2021
Anhängig
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05.01.2022
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.11.2019
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
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05.01.2022
Vakuumpumpe und Verfahren zum Steuern des Abschaltens einer Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 07.11.2019
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
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05.01.2022
System mit einer Gasrezirkulationseinrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 06.11.2019
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
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05.01.2022
Verfahren zum Ermitteln einer Zustandsinformation in einem Vakuumgerät
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 06.11.2019
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
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05.01.2022
Positionserfassungsvorrichtung für ein Magnetgelagertes Objekt
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 08.11.2017
Erteilt am 05.01.2022
Vertretung
Zusammenfassung
Eine Vorrichtung zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Objekts, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularpumpe, umfasst eine berührungslose Sensorik und eine dieser zugeordnete, bei einer Steuerfrequenz f c arbeitende digitale Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung. Dabei umfasst die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung Mittel zur Erzeugung eines periodischen elektrischen Erregungssignals mit einer Erregungsfrequenz f e , die durch die folgende Beziehung definiert ist: f e = M f c , wobei M eine natürliche Zahl ist. Die berührungslose Sensorik ist zur Modulation des Erregungssignals in Abhängigkeit von der Position des Objekts ausgeführt und liefert als Ausgangssignal ein entsprechend moduliertes analoges Sensorsignal. Die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung umfasst zudem Mittel zur A/D-Wandlung des modulierten analogen Sensorsignals in ein digitales Sensorsignal, durch die das modulierte analoge Sensorsignal mit einer bezüglich der Erregungsfrequenz f e asynchronen Abtastfrequenz f s abgetastet wird, für die die folgende Beziehung gilt: f s f e / N , wobei N eine weitere, von M unabhängige natürliche Zahl ist. Zudem umfasst die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung mit der Steuerfrequenz f c arbeitende Rechenmittel zur Berechnung der Position des Objekts auf der Basis des von den Mitteln zur A/D-Wandlung gelieferten digitalen Sensorsignals. |
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29.12.2021
Drehzahlregelung eines Rotors einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 17.07.2019
Erteilt am 29.12.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Ein Verfahren zum Regeln der Drehzahl eines Rotors einer Vakuumpumpe umfasst, dass eine Temperatur des Rotors ermittelt wird, dass eine maximal zulässige Drehzahl des Rotors in Abhängigkeit von der Temperatur des Rotors ermittelt wird und dass eine tatsächliche Drehzahl des Rotors in Abhängigkeit von der maximal zulässigen Drehzahl geregelt wird. |
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29.12.2021
Trockenlaufende Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.03.2019
Erteilt am 29.12.2021
Vertretung
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22.12.2021
Molekularvakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.01.2020
Erteilt am 22.12.2021
Vertretung
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22.12.2021
Primäre Trockenlaufende Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 22.01.2020
Anhängig
Vertretung
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08.12.2021
Scrollvakuumpumpe und Montageverfahren
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 07.10.2019
Erteilt am 08.12.2021
Vertretung
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08.12.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 14.10.2019
Erteilt am 08.12.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend eine Primärstruktur, welche im Betrieb der Pumpe vibriert, und eine Dämpfungseinrichtung zur Dämpfung der Vibration der Primärstruktur, wobei die Dämpfungseinrichtung eine Dämpfungsmasse aufweist, welche mittels eines Federelements mit der Primärstruktur verbunden ist. |
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08.12.2021
Scrollpumpen und Herstellungsverfahren für Solche
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 07.10.2019
Erteilt am 08.12.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Scrollpumpe umfassend ein bewegliches, zum Erzeugen einer Pumpwirkung exzentrisch erregbares Spiralbauteil (30), wobei das Spiralbauteil eine Grundplatte (66) und eine sich ausgehend von der Grundplatte erstreckende Spiralwand (28) aufweist, wobei: - außen an der Grundplatte wenigstens zwei über den Umfang der Grundplatte beabstandete Haltevorsprünge (68) vorgesehen sind und/oder - die Spiralwand (28) an ihrem der Grundplatte (66) abgewandten Ende eine Nut (114) aufweist, in der ein Dichtungselement (64) aufgenommen ist, wobei die Nut (114) durch zwei gegenüberliegende Seitenwände (116, 118) begrenzt ist, und wobei in einem ersten Spiralabschnitt (120) eine erste der Seitenwände (118) dicker ist als eine zweite der Seitenwände (116) im ersten Spiralabschnitt (120) und/oder als eine oder beide Seitenwände (116, 118) in einem zweiten Spiralabschnitt (122). Verfahren zur Herstellung einer Scrollpumpe. |
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01.12.2021
Spiralvakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.09.2015
Erteilt am 01.12.2021
Vertretung
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01.12.2021
Verfahren zum Regeln eines Permanentmagnetsynchronmotors, Steuervorrichtung und Vakuumgerät
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 31.12.2019
Erteilt am 01.12.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Regeln eines Permanentmagnetsynchronmotors, wobei der Permanentmagnetsynchronmotor einen Permanentmagnetrotor und eine Mehrzahl von, bevorzugt um eine Rotationsachse des Permanentmagnetrotors angeordnete, Spulen umfasst, die mit einem sich, bevorzugt um die Rotationsachse drehenden, Spannungsvektor ansteuerbar sind, wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte umfasst: Ermitteln von zum Erreichen einer gewünschten Bewegung des Permanentmagnetrotors nötigen Zielspannungsvektor und Zielansteuergrad; Ermitteln eines ersten Zeitraums zum Ansteuern der Spulen mit einem ersten Spannungsvektor und eines zweiten Zeitraums zum Ansteuern der Spulen mit einem zweiten Spannungsvektor, so, dass eine aus der Ansteuerung der Spulen während des ersten Zeitraums und des zweiten Zeitraums resultierende Ansteuerung der Spulen äquivalent ist zu einer Ansteuerung der Spulen mit dem Zielspannungsvektor und dem Zielansteuergrad; Ansteuern der Spulen mit dem ersten Spannungsvektor für den ersten Zeitraum; vor oder nach dem ersten Zeitraum, Ansteuern der Spulen mit dem zweiten Spannungsvektor für den zweiten Zeitraum; Ermitteln einer Stromsteigung basierend auf einer Stromänderung in den Spulen während des ersten Zeitraums und/oder während des zweiten Zeitraums; und Regeln des Permanentmagnetsynchronmotors basierend auf der ermittelten Stromsteigung. |
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24.11.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 19.12.2019
Erteilt am 24.11.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und einem im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor, zwischen denen wenigstens ein radiales Magnetlager mit bezüglich der Drehachse koaxial ineinander liegenden Paketen jeweils aus mehreren axial aufeinander folgenden Permanentmagnetringen angeordnet ist, wobei zumindest eines der Pakete axial zwischen zwei Stellabschnitten einer Stelleinrichtung eingespannt ist, und wobei sich die Stellabschnitte unter Wärmeeinfluss derart verhalten, dass eine axiale Verschiebung des Pakets resultiert. |
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18.11.2021
Device and method for monitoring a deposit of reaction by-products for the discharge of a vacuum pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 16.04.2021
Anhängig
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17.11.2021
Vakuumpumpe und Verfahren zur Herstellung einer Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 19.11.2019
Erteilt am 17.11.2021
Vertretung
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17.11.2021
Vakuumpumpe mit einem Kühlkörper und Verfahren zur Herstellung des Kühlkörpers
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 12.04.2017
Erteilt am 17.11.2021
Vertretung
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10.11.2021
Vakuumgerät mit Wellendichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 26.04.2017
Erteilt am 10.11.2021
Vertretung
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04.11.2021
Primary vacuum pump and installation
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 26.03.2021
Anhängig
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03.11.2021
Primär-Vakuumpumpe vom Typ Trockenpumpe und Kontrollverfahren der Einspritzung eines Reinigungsgases
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.09.2019
Erteilt am 03.11.2021
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03.11.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 21.07.2017
Erteilt am 03.11.2021
Vertretung
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03.11.2021
Verfahren zum Ermitteln einer Temperatur mittels eines Infrarot-Sensors
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2019
Erteilt am 03.11.2021
Vertretung
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03.11.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 05.09.2019
Erteilt am 03.11.2021
Vertretung
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03.11.2021
Vakuumpumpe mit Schneidklemmen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2018
Erteilt am 03.11.2021
Vertretung
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13.10.2021
Vakuumpumpe sowie Anordnung mit einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 22.08.2014
Erteilt am 13.10.2021
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13.10.2021
Pumpeneinheit
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.11.2019
Anhängig
Vertretung
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07.10.2021
Station and method for measuring airbone molecular contamination
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.03.2021
Anhängig
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06.10.2021
Anschlussvorrichtung, System und Verfahren zum Betreiben einer Anschlussvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2019
Erteilt am 06.10.2021
Vertretung
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29.09.2021
Seitenkanal-Vakuumpumpstufe mit einem Kanalquerschnitt, der eine Bestimmte Krümmung Aufweist
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 14.07.2014
Erteilt am 29.09.2021
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22.09.2021
Vakuumpumpe und Verfahren zur Schmierung einer Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.11.2019
Erteilt am 22.09.2021
Vertretung
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22.09.2021
Vakuumpumpe und Verfahren zum Betreiben Derselben
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 16.04.2018
Erteilt am 22.09.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einer Pumpenkomponente, mit einer Heizeinrichtung zum Beheizen der Pumpenkomponente und mit einem Sensor zur Erfassung einer Messgröße für den Pumpenbetrieb, wobei der Sensor unabhängig von der Heizeinrichtung angeordnet und die Heizeinrichtung für den Betrieb in Abhängigkeit der durch den Sensor erfassten Messgröße konfiguriert ist. |
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22.09.2021
Vakuumpumpe, Wobei der Träger eines Wälzlagers eine Veränderbare Steifigkeit Und/oder Dämpfungswirkung Hat
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 05.03.2018
Erteilt am 22.09.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse, und einem in dem Gehäuse drehbar gelagerten Rotor, der zu einer Drehung antreibbar ist, die eine Förderung eines Prozessgases von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe bewirkt, wobei der Rotor in dem Gehäuse zumindest einseitig durch ein Wälzlager drehbar gelagert ist, und wobei eine Steifigkeit und/oder eine Dämpfungswirkung des Wälzlagers veränderbar ist. |
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22.09.2021
Elektrische Durchführung für ein Vakuumgerät, in der Form einer Dichtungsplatine
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2017
Erteilt am 22.09.2021
Vertretung
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15.09.2021
Modulares Rahmensystem für Vakuumpumpen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 25.09.2019
Erteilt am 15.09.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft ein modulares Rahmensystem für Vakuumpumpen, mit einem Basisrahmen für eine erste Vakuumpumpe, und mit einem separaten, zusätzlich zu dem Basisrahmen vorgesehenen Zusatzrahmen für eine zweite Vakuumpumpe, wobei der Basisrahmen sowohl für einen Pumpbetrieb der ersten Vakuumpumpe ohne den Zusatzrahmen und ohne die zweite Vakuumpumpe als auch für einen gemeinsamen Pumpbetrieb beider Vakuumpumpen ausgebildet ist, bei dem die beiden Vakuumpumpen einen Pumpstand bilden und vakuumtechnisch miteinander verbunden sind, und wobei der Basisrahmen und der Zusatzrahmen derart ausgebildet sind, dass zur Bildung des Pumpstands der Zusatzrahmen am Basisrahmen und die zweite Vakuumpumpe am Zusatzrahmen abstützbar ist. Die Erfindung betrifft außerdem ein Vakuumsystem mit wenigstens zwei Vakuumpumpen und einem erfindungsgemäßen modularen Rahmensystem. |
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10.09.2021
Dry vacuum pump and method for manufacturing same
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.02.2021
Anhängig
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08.09.2021
Vakuumsystem
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.07.2019
Erteilt am 08.09.2021
Vertretung
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01.09.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.11.2017
Erteilt am 01.09.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe umfassend einen ersten Arbeitspumpabschnitt, wenigstens einen zweiten Arbeitspumpabschnitt und eine Steuereinrichtung, mit der zwischen einer Reihenschaltung und einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann. |
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01.09.2021
Monolithischer Permanentmagnet
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 05.04.2017
Erteilt am 01.09.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft einen monolithischer Permanentmagnet, insbesondere für ein Permanentmagnetlager einer Vakuumpumpe, mit einer Längsachse sowie mehreren entlang dieser angeordneten und zumindest annähernd axial magnetisierten Abschnitten, deren Magnetisierungen jeweils alternierend entgegengesetzt zueinander ausgerichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich die axiale Abmessung und/oder die Magnetisierung wenigstens eines magnetisierten Abschnitts und die axiale Abmessung und/oder die Magnetisierung wenigstens eines anderen magnetisierten Abschnitts unterscheiden. |
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Wer vertritt Pfeiffer Vacuum?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Pfeiffer Vacuum vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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