Pfeiffer Vacuum Patente

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Die Erfindung betrifft einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse, und einem in dem Gehäuse drehbar gelagerten Rotor, der zu einer Drehung antreibbar ist, die eine Förderung eines Prozessgases von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe bewirkt, wobei der Rotor in dem Gehäuse zumindest einseitig durch ein Wälzlager drehbar gelagert ist, und wobei eine Steifigkeit und/oder eine Dämpfungswirkung des Wälzlagers veränderbar ist.

Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einer Pumpenkomponente, mit einer Heizeinrichtung zum Beheizen der Pumpenkomponente und mit einem Sensor zur Erfassung einer Messgröße für den Pumpenbetrieb, wobei der Sensor unabhängig von der Heizeinrichtung angeordnet und die Heizeinrichtung für den Betrieb in Abhängigkeit der durch den Sensor erfassten Messgröße konfiguriert ist.

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Die Erfindung betrifft ein modulares Rahmensystem für Vakuumpumpen, mit einem Basisrahmen für eine erste Vakuumpumpe, und mit einem separaten, zusätzlich zu dem Basisrahmen vorgesehenen Zusatzrahmen für eine zweite Vakuumpumpe, wobei der Basisrahmen sowohl für einen Pumpbetrieb der ersten Vakuumpumpe ohne den Zusatzrahmen und ohne die zweite Vakuumpumpe als auch für einen gemeinsamen Pumpbetrieb beider Vakuumpumpen ausgebildet ist, bei dem die beiden Vakuumpumpen einen Pumpstand bilden und vakuumtechnisch miteinander verbunden sind, und wobei der Basisrahmen und der Zusatzrahmen derart ausgebildet sind, dass zur Bildung des Pumpstands der Zusatzrahmen am Basisrahmen und die zweite Vakuumpumpe am Zusatzrahmen abstützbar ist. Die Erfindung betrifft außerdem ein Vakuumsystem mit wenigstens zwei Vakuumpumpen und einem erfindungsgemäßen modularen Rahmensystem.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe umfassend einen ersten Arbeitspumpabschnitt, wenigstens einen zweiten Arbeitspumpabschnitt und eine Steuereinrichtung, mit der zwischen einer Reihenschaltung und einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann.

Die Erfindung betrifft einen monolithischer Permanentmagnet, insbesondere für ein Permanentmagnetlager einer Vakuumpumpe, mit einer Längsachse sowie mehreren entlang dieser angeordneten und zumindest annähernd axial magnetisierten Abschnitten, deren Magnetisierungen jeweils alternierend entgegengesetzt zueinander ausgerichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich die axiale Abmessung und/oder die Magnetisierung wenigstens eines magnetisierten Abschnitts und die axiale Abmessung und/oder die Magnetisierung wenigstens eines anderen magnetisierten Abschnitts unterscheiden.

Ein Vakuumgerät, insbesondere eine Vakuumpumpe, umfasst eine Gerätekomponente und eine elektronischen Einrichtung zur Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente. Die Gerätekomponente weist einen digitalen komponentenspezifischen Datensatz auf. Die elektronische Einrichtung ist mit der Gerätekomponente verbunden und eingerichtet, den komponentenspezifischen Datensatz der Gerätekomponente auszulesen.

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Ein erfindungsgemäßes Vakuumsystem, insbesondere Vakuumpumpe oder Anordnung aus zumindest einem Vakuumgerät, bevorzugt einer Vakuumpumpe, und wenigstens einem Rezipienten, bevorzugt einer Vakuumkammer oder einem Messgerät wie z.B. einem Elektronenmikroskop, umfasst einen Arbeitsbereich, ein Trennorgan, und einen Steuerraum, welcher durch das Trennorgan von dem Arbeitsbereich getrennt ist und in welchem ein relativ zum Druck im Arbeitsbereich veränderbarer Steuerdruck herrscht, wobei durch Verändern des Steuerdrucks mittels des Trennorgans eine Arbeitsbewegung im Arbeitsbereich durchführbar ist

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpe, mit zumindest einem Anschluss für eine Zubehöreinheit und mit einer Steuereinheit für die Zubehöreinheit, wobei die Steuereinheit dazu ausgebildet ist, eine an den Anschluss angeschlossene Zubehöreinheit in ihrer Art zu erkennen.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuseelement, einem Rotor, der mit seiner Längserstreckung eine axiale Richtung definiert, und einem für den Rotor vorgesehenen Lagerelement, wobei das Lagerelement in einer Öffnung des Gehäuseelements angeordnet ist, wobei zur Positionierung des Lagerelements relativ zum Gehäuseelement wenigstens ein vom Gehäuseelement separates erstes Bauteil vorgesehen ist, wobei die Öffnung wenigstens einen ersten zylindrischen Axialabschnitt mit konstantem Querschnitt aufweist, wobei das erste Bauteil im ersten Axialabschnitt der Öffnung angeordnet ist, wobei das erste Bauteil mit seinem Querschnitt radial ausschließlich innerhalb des Querschnitts der Öffnung im ersten Axialabschnitt angeordnet ist, wobei das erste Bauteil mittels wenigstens eines platten- und/oder scheibenförmigen Befestigungselements in der Öffnung befestigt ist, und wobei sich das Befestigungselement radial sowohl innerhalb des Querschnitts als auch außerhalb des Querschnitts des ersten Axialbereiches erstreckt.

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Die Erfindung betrifft ein Flanschelement zur Anordnung zwischen zwei Vakuumgeräten, insbesondere zwischen zwei jeweils einem Vakuumgerät zugeordneten Flanschen, mit einem einen Durchlass begrenzenden Ringabschnitt, in dem wenigstens eine Gruppe von in Umfangsrichtung verteilt angeordneten, insbesondere auf einem Kreis liegenden, Aufnahmen für Befestigungselemente ausgebildet sind, wobei zumindest einige, insbesondere alle, Aufnahmen der Gruppe jeweils als eine Sicherheitsaufnahme ausgebildet sind.

Verfahren zum Wuchten eines Rotors (13) einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, bei dem eine Unwucht des Rotors ermittelt wird und Material von dem Rotor mittels eines Lasers (1) in Abhängigkeit von der ermittelten Unwucht abgetragen wird, um die Unwucht zu verringern, wobei für einen Strahl (d1) des Laser eine Grobausrichtung und eine Feinausrichtung durchgeführt werden, wobei die Grobausrichtung ein Ausrichten des Strahls auf einen Flächenabschnitt (31, 51) des Rotors umfasst, der zur Materialabtragung vorgesehen ist, wobei die Grobausrichtung mittels zumindest eines ersten Spiegels (10) durchgeführt wird, der relativ zum Rotor translatorisch bewegt wird, und wobei bei der Feinausrichtung die Ausrichtung des Strahls ausgehend von der Grobausrichtung variiert wird, um ein gezieltes Abtragen des Materials im Bereich des Flächenabschnitts zu bewirken.

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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe, die zumindest einen Rotor umfasst, der mittels zumindest einer Lagereinrichtung drehbar gelagert ist, mit einer ersten Sensoreinrichtung, die benachbart zu der Lagereinrichtung angeordnet ist und mit der ein Betriebsparameter der Lagereinrichtung bestimmbar ist, und mit einer zweiten Sensoreinrichtung, die beabstandet von der Lagereinrichtung angeordnet ist und mit der ein Betriebsparameter der Vakuumpumpe, insbesondere ein Betriebsparameter eines Gehäuses der Vakuumpumpe, bestimmbar ist, wobei eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, die dazu ausgebildet und eingerichtet ist, den Betriebsparameter der Lagereinrichtung und den Betriebsparameter der Vakuumpumpe zu vergleichen und auf Basis des Vergleichs einen Betriebszustand der Lagereinrichtung zu ermitteln. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe.

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Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe oder SplitFlow-Pumpe, ist über wenigstens eine Ansaugöffnung mit einem Rezipienten verbindbar und zur Erzeugung eines Drucks kleiner oder gleich 10 -5 mbar, vorzugsweise zur Erzeugung eines Drucks kleiner oder gleich 10 -7 mbar, insbesondere kleiner oder gleich 10 -9 mbar, in dem Rezipienten ausgeführt. Dabei ist zur Abdichtung der Verbindung wenigstens eine Dichtung vorgesehen, die einen Kern, insbesondere einen Elastomerkern, sowie einen Mantel umfasst, der den Kern zumindest teilweise, insbesondere auf dessen der Ansaugöffnung zugewandten Seite, umgibt.