Pfeiffer Vacuum Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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624 gesamt| Patent | |||
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14.06.2023
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 29.06.2021
Erteilt am 14.06.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, wobei ein Sensor zur Erfassung eines Magnetfelds vorgesehen ist, welcher mit einer Steuer- und/oder Auswerteeinheit verbunden ist, wobei die Steuer- und/oder Auswerteeinheit dazu ausgebildet ist, das erfasste Magnetfeld auszuwerten und auf der Basis der Auswertung in Abhängigkeit von zumindest einer Bedingung eine Maßnahme zu ergreifen. |
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11.05.2023
Turbomolecular vacuum pump and associated cleaning method
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.10.2022
Anhängig
Zusammenfassung
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11.05.2023
Multistage Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 08.09.2022
Anhängig
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04.05.2023
Dry Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.10.2022
Anhängig
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03.05.2023
Vakuumpumpe und Vakuumpumpensystem
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 31.03.2021
Erteilt am 03.05.2023
Vertretung
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03.05.2023
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 16.04.2021
Erteilt am 03.05.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit zumindest einem Einlass, einem Auslass und wenigstens zwei bezüglich einer gemeinsamen Rotationsachse konzentrischen, in Pumprichtung zwischen dem Einlass und dem Auslass aufeinander folgenden Holweckstufen, die jeweils ein Holweckstatorsegment mit einem Holweckgewinde und eine um die Rotationsachse rotierende Holweckhülse umfassen, wobei die Holweckstatorsegmente jeweils an einer Seite eines gemeinsamen Holweckstators angeordnet sind, der in einen radialen Zwischenraum zwischen den konzentrisch angeordneten Holweckhülsen ragt, die an einer mit einem Rotor der Vakuumpumpe drehfest verbundenen Holwecknabe befestigt sind. Ein axialer Abstand zwischen einem in den radialen Zwischenraum ragenden axialen Ende zumindest eines der Holweckstatorsegmente und der Holwecknabe ist größer als 25% der axialen Erstreckung eines in den radialen Zwischenraum ragenden Abschnitts der Holweckstatorsegmente. Alternativ oder zusätzlich ist der axiale Abstand größer als 25% der axialen Erstreckung zumindest einer der Holweckhülsen und/oder eine axiale Erstreckung eines in den radialen Zwischenraum ragenden Abschnitts zumindest eines der Holweckstatorsegmente ist kleiner als 75% der axialen Erstreckung zumindest einer der Holweckhülsen. |
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03.05.2023
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.10.2018
Erteilt am 03.05.2023
Vertretung
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26.04.2023
Scrollvakuumpumpe und Ihr Herstellungsverfahren
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 29.09.2020
Erteilt am 26.04.2023
Vertretung
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26.04.2023
Verfahren zur Herstellung einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.05.2020
Erteilt am 26.04.2023
Vertretung
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26.04.2023
Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 25.07.2017
Erteilt am 26.04.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Vakuumpumpe, insbesondere zur Erzeugung von Grob- und/oder Feinvakuum, mit zumindest einer Pumpenkomponente sowie einer Kühlvorrichtung zur konvektiven Kühlung der Pumpenkomponente mittels eines Kühlmediums, wobei die Kühlvorrichtung dazu eingerichtet ist, einen konvektiven Wärmeübergang zwischen der zu kühlenden Pumpenkomponente und dem Kühlmedium durch Anpassung eines Wärmeübergangskoeffizienten in Abhängigkeit und/oder zur Einhaltung eines Pumpenbetriebsparameters variabel zu verändern. |
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30.03.2023
Turbomolecular Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 21.09.2022
Anhängig
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29.03.2023
Vakuumpumpe und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 30.12.2022
Anhängig
Vertretung
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23.03.2023
Leak detector and associated method for checking the leaktightness of an object to be tested
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2022
Anhängig
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08.03.2023
Leckdetektor und Lecksuchverfahren zur Dichtheitsprüfung von Objekten
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.08.2018
Erteilt am 08.03.2023
Vertretung
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15.02.2023
Vakuumventil
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 21.04.2022
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
The present invention relates to a vacuum valve (10) for high- or ultra-high vacuum systems, the vacuum valve (10) comprising a valve housing (12) defining a passage connecting a first (18) and a second (20) opening of the valve housing (12), a valve body and a complementary seat (60) disposed in the passage, the valve body and/or the seat (60) comprising a seal member (52) and the valve body being movable in a linear axial direction along between an open position and a closed position, wherein the valve body cooperates with the seat (60) in the closed position so as to close the first opening gas tightly, and an electromechanical actuation unit for actuating the valve body, the actuation unit comprising an electric motor (34) and a mechanical conversion unit with an input portion drivingly connected to the electric motor (34) and an output portion drivingly connected to the valve body, wherein the mechanical conversion unit converts a rotational output of the electrical motor (34) into a linear movement of an output portion to move the valve body in the axial direction. The present invention further relates to method operating that vacuum valve and to a vacuum valve comprising a low force seal member. One advantage associated with vacuum valves according to the present invention is that they have a comparatively low energy consumption. |
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02.02.2023
Sniffer probe and leak detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.07.2022
Anhängig
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26.01.2023
Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.07.2022
Anhängig
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12.01.2023
Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 29.06.2022
Anhängig
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04.01.2023
Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 05.11.2020
Erteilt am 04.01.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Ein Verfahren ist zum Betreiben einer Vakuumpumpe vorgesehen, die einen Rotor, einen Stator, ein aktiv geregeltes Magnetlager zum Lagern des Rotors und ein Fanglager für den Rotor aufweist. Gemäß dem Verfahren wird ein Satz von Betriebsvorgaben für die Vakuumpumpe bereitgestellt, der zumindest einen bei einem Störungsereignis zu erreichenden Betriebszustand der Vakuumpumpe aufweist. Ferner wird ein Störungsereignis detektiert, bei welchem der Rotor bezogen auf den Stator einen für den Rotor vorgesehenen Raumbereich derart verlässt, dass ein Verschleiß an dem Fanglager auftritt. Anhand des detektierten Störungsereignisses wird ein Verschleißinkrement für das Fanglager geschätzt. Das Verschleißinkrement wird zu einer Variablen für den Gesamtverschleiß des Fanglagers hinzugefügt. Anhand des Satzes von Betriebsvorgaben für die Vakuumpumpe und anhand der Variablen für den Gesamtverschleiß des Fanglagers wird schließlich ermittelt, ob eine Maßnahme zur Stabilisierung des Rotors ausgeführt wird. |
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14.12.2022
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 23.04.2015
Erteilt am 14.12.2022
Vertretung
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30.11.2022
Vakuumgerät
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 17.12.2020
Erteilt am 30.11.2022
Vertretung
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30.11.2022
Drehschieber-Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 28.08.2018
Erteilt am 30.11.2022
Vertretung
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02.11.2022
Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 28.09.2017
Erteilt am 02.11.2022
Vertretung
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26.10.2022
Verfahren zur Kalibrierung einer Membranvakuumpumpe sowie Membranvakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 06.11.2014
Erteilt am 26.10.2022
Vertretung
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20.10.2022
Vacuum pump and method for monitoring a vacuum pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 13.04.2022
Anhängig
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20.10.2022
Refined sniffing-based leak detection system
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.04.2022
Anhängig
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13.10.2022
Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 22.02.2022
Anhängig
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07.09.2022
Rotoranordnung für eine Vakuumpumpe, Vakuumpumpe und Verfahren zum Herstellen einer Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 09.09.2020
Erteilt am 07.09.2022
Vertretung
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07.09.2022
Befestigungsschiene mit Exzentereinrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 01.07.2020
Erteilt am 07.09.2022
Vertretung
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07.09.2022
Verfahren zur Vorhersage eines Drehdefektes Beim Rotor einer Vakuumpumpe und Zugehörige Pumpvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2010
Erteilt am 07.09.2022
Vertretung
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07.09.2022
Vakuumpumpe mit einem Peltierelement
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 22.11.2018
Erteilt am 07.09.2022
Vertretung
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01.09.2022
Dry Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 03.02.2022
Anhängig
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24.08.2022
Verfahren zum Fügen einer Welle mit einer Nabe, insbesondere für eine Vakuumpumpe
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 05.03.2020
Erteilt am 24.08.2022
Vertretung
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03.08.2022
Vakuumsystem und Verfahren zum Identifizieren Elektronischer Module in einem Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.08.2019
Erteilt am 03.08.2022
Vertretung
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28.07.2022
Vacuum pump of the dry vacuum pump type and pumping unit
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 12.01.2022
Anhängig
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28.07.2022
Magnetic bearing for a rotating machine, associated power supply method and associated rotating machine
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 18.01.2022
Anhängig
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27.07.2022
Verfahren zur Herstellung eines Elektromotors oder eines Vakuumgeräts mit einem Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 27.07.2020
Erteilt am 27.07.2022
Vertretung
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20.07.2022
Verfahren zum Hochfahren einer Geberlosen Permanentmagnet-Synchronmaschine
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 25.08.2020
Erteilt am 20.07.2022
Vertretung
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14.07.2022
Pumping stage and dry vacuum pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 23.12.2021
Anhängig
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14.07.2022
Dry vacuum pump and method of manufacture
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 04.01.2022
Anhängig
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Wer vertritt Pfeiffer Vacuum?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Pfeiffer Vacuum vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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