Pfeiffer Vacuum Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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624 gesamt| Patent | |||
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26.08.2021
Dry Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 12.02.2021
Anhängig
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18.08.2021
Verfahren zur Überwachung eines Betriebszustandes einer Pumpvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 15.05.2018
Erteilt am 18.08.2021
Vertretung
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29.07.2021
Dry Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 21.01.2021
Anhängig
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28.07.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 12.08.2015
Erteilt am 28.07.2021
Vertretung
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28.07.2021
Vakuumgerät
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 06.08.2019
Erteilt am 28.07.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Ein Vakuumgerät, insbesondere eine Vakuumpumpe, umfasst eine Gerätekomponente und eine elektronischen Einrichtung zur Steuerung und/oder Regelung der Gerätekomponente. Die Gerätekomponente weist einen digitalen komponentenspezifischen Datensatz auf. Die elektronische Einrichtung ist mit der Gerätekomponente verbunden und eingerichtet, den komponentenspezifischen Datensatz der Gerätekomponente auszulesen. |
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14.07.2021
Vakuumsystem
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 06.12.2016
Erteilt am 14.07.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Ein erfindungsgemäßes Vakuumsystem, insbesondere Vakuumpumpe oder Anordnung aus zumindest einem Vakuumgerät, bevorzugt einer Vakuumpumpe, und wenigstens einem Rezipienten, bevorzugt einer Vakuumkammer oder einem Messgerät wie z.B. einem Elektronenmikroskop, umfasst einen Arbeitsbereich, ein Trennorgan, und einen Steuerraum, welcher durch das Trennorgan von dem Arbeitsbereich getrennt ist und in welchem ein relativ zum Druck im Arbeitsbereich veränderbarer Steuerdruck herrscht, wobei durch Verändern des Steuerdrucks mittels des Trennorgans eine Arbeitsbewegung im Arbeitsbereich durchführbar ist |
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24.06.2021
Vacuum pump and method for injecting a purging gas
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 11.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Rotor and multistage dry vacuum pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 23.11.2020
Anhängig
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10.06.2021
Method for manufacturing metal parts and associated assembly method
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.11.2020
Anhängig
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10.06.2021
Tool for implanting a radiofrequency identification rfid tag
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 26.11.2020
Anhängig
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09.06.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.08.2015
Erteilt am 09.06.2021
Vertretung
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09.06.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 20.07.2018
Erteilt am 09.06.2021
Vertretung
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02.06.2021
Vakuumgerät
Verfahrens- & Trenntechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.07.2019
Erteilt am 02.06.2021
Vertretung
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26.05.2021
Verfahren und Station zur Messung der Verschmutzung einer Transportbox zur Förderung und Atmosphärischen Lagerung von Substraten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2016
Erteilt am 26.05.2021
Vertretung
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26.05.2021
Vakuumgerät, Zubehöreinheit und System
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 31.08.2018
Erteilt am 26.05.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpe, mit zumindest einem Anschluss für eine Zubehöreinheit und mit einer Steuereinheit für die Zubehöreinheit, wobei die Steuereinheit dazu ausgebildet ist, eine an den Anschluss angeschlossene Zubehöreinheit in ihrer Art zu erkennen. |
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19.05.2021
Vakuumpumpenanordnung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 22.01.2015
Erteilt am 19.05.2021
Vertretung
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19.05.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 30.11.2018
Erteilt am 19.05.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuseelement, einem Rotor, der mit seiner Längserstreckung eine axiale Richtung definiert, und einem für den Rotor vorgesehenen Lagerelement, wobei das Lagerelement in einer Öffnung des Gehäuseelements angeordnet ist, wobei zur Positionierung des Lagerelements relativ zum Gehäuseelement wenigstens ein vom Gehäuseelement separates erstes Bauteil vorgesehen ist, wobei die Öffnung wenigstens einen ersten zylindrischen Axialabschnitt mit konstantem Querschnitt aufweist, wobei das erste Bauteil im ersten Axialabschnitt der Öffnung angeordnet ist, wobei das erste Bauteil mit seinem Querschnitt radial ausschließlich innerhalb des Querschnitts der Öffnung im ersten Axialabschnitt angeordnet ist, wobei das erste Bauteil mittels wenigstens eines platten- und/oder scheibenförmigen Befestigungselements in der Öffnung befestigt ist, und wobei sich das Befestigungselement radial sowohl innerhalb des Querschnitts als auch außerhalb des Querschnitts des ersten Axialbereiches erstreckt. |
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14.05.2021
Trap for vacuum line, installation and use
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.10.2020
Anhängig
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05.05.2021
Einfach Bedienbare Flanschverbindung für Vakuumvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 13.03.2018
Erteilt am 05.05.2021
Vertretung
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28.04.2021
Befestigungsvorrichtung, Pumpe, Pumpenaufbau
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 05.09.2018
Erteilt am 28.04.2021
Vertretung
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22.04.2021
Dry vacuum pump and manufacturing method
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.09.2020
Anhängig
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08.04.2021
Turbomolecular Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.09.2020
Anhängig
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07.04.2021
Flanschelement
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 23.04.2019
Erteilt am 07.04.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft ein Flanschelement zur Anordnung zwischen zwei Vakuumgeräten, insbesondere zwischen zwei jeweils einem Vakuumgerät zugeordneten Flanschen, mit einem einen Durchlass begrenzenden Ringabschnitt, in dem wenigstens eine Gruppe von in Umfangsrichtung verteilt angeordneten, insbesondere auf einem Kreis liegenden, Aufnahmen für Befestigungselemente ausgebildet sind, wobei zumindest einige, insbesondere alle, Aufnahmen der Gruppe jeweils als eine Sicherheitsaufnahme ausgebildet sind. |
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07.04.2021
Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 28.09.2017
Erteilt am 07.04.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Verfahren zum Wuchten eines Rotors (13) einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, bei dem eine Unwucht des Rotors ermittelt wird und Material von dem Rotor mittels eines Lasers (1) in Abhängigkeit von der ermittelten Unwucht abgetragen wird, um die Unwucht zu verringern, wobei für einen Strahl (d1) des Laser eine Grobausrichtung und eine Feinausrichtung durchgeführt werden, wobei die Grobausrichtung ein Ausrichten des Strahls auf einen Flächenabschnitt (31, 51) des Rotors umfasst, der zur Materialabtragung vorgesehen ist, wobei die Grobausrichtung mittels zumindest eines ersten Spiegels (10) durchgeführt wird, der relativ zum Rotor translatorisch bewegt wird, und wobei bei der Feinausrichtung die Ausrichtung des Strahls ausgehend von der Grobausrichtung variiert wird, um ein gezieltes Abtragen des Materials im Bereich des Flächenabschnitts zu bewirken. |
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07.04.2021
Vakuumsystem und Verfahren zur Herstellung eines Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2019
Erteilt am 07.04.2021
Vertretung
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01.04.2021
Station and method for cleaning a transport enclosure for the conveying and atmospheric storage of semiconductors substrates
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2020
Anhängig
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31.03.2021
Schraubenvakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
Erteilt am 31.03.2021
Vertretung
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25.03.2021
Sniffer probe and leak detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2020
Anhängig
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24.03.2021
Splitflow-Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 01.07.2015
Erteilt am 24.03.2021
Vertretung
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24.03.2021
Modulationsverfahren für einen Drehstrom-Wechselrichter
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2017
Erteilt am 24.03.2021
Vertretung
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17.03.2021
Abbremsverfahren für einen Permanentmagnet-Synchronmotor
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 06.05.2019
Erteilt am 17.03.2021
Vertretung
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10.03.2021
Pumpeinheit und Verwendung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 21.03.2018
Erteilt am 10.03.2021
Vertretung
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10.03.2021
Vakuumpumpengehäuse, Vakuumpumpe und Verfahren zur Herstellung eines Vakuumpumpengehäuses
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.01.2015
Erteilt am 10.03.2021
Vertretung
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03.03.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 23.06.2014
Erteilt am 03.03.2021
Vertretung
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24.02.2021
Überwachung der Lagereinrichtung einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 27.02.2019
Erteilt am 24.02.2021
Vertretung
Zusammenfassung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe, die zumindest einen Rotor umfasst, der mittels zumindest einer Lagereinrichtung drehbar gelagert ist, mit einer ersten Sensoreinrichtung, die benachbart zu der Lagereinrichtung angeordnet ist und mit der ein Betriebsparameter der Lagereinrichtung bestimmbar ist, und mit einer zweiten Sensoreinrichtung, die beabstandet von der Lagereinrichtung angeordnet ist und mit der ein Betriebsparameter der Vakuumpumpe, insbesondere ein Betriebsparameter eines Gehäuses der Vakuumpumpe, bestimmbar ist, wobei eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, die dazu ausgebildet und eingerichtet ist, den Betriebsparameter der Lagereinrichtung und den Betriebsparameter der Vakuumpumpe zu vergleichen und auf Basis des Vergleichs einen Betriebszustand der Lagereinrichtung zu ermitteln. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe. |
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17.02.2021
Leckerfassungsmodul und Verfahren zur Überprüfung der Dichtigkeit eines Objekts mittels eines Tracer-Gases
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.04.2019
Erteilt am 17.02.2021
Vertretung
Zusammenfassung
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17.02.2021
Vakuumvorrichtung
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 06.09.2018
Erteilt am 17.02.2021
Vertretung
Zusammenfassung
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17.02.2021
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 09.10.2014
Erteilt am 17.02.2021
Vertretung
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03.02.2021
Vakuumpumpe mit einer Kupplungsanordnung zur Kompensation von Wellenexzentrizitäten
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2016
Erteilt am 03.02.2021
Vertretung
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21.01.2021
Pumping Unit
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 24.06.2020
Anhängig
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Wer vertritt Pfeiffer Vacuum?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Pfeiffer Vacuum vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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