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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
03.02.2011
Method for selective oxidation, device for selective oxidation, and computer-readable memory medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2011
Actuator element and method for manufacturing actuator element
Elektrische Energietechnik
03.02.2011
Planar antenna member and plasma processing device equipped with same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.02.2011
Plasmaverarbeitungsgerät
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2011
Treatment device and method for operating same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2011
Device and method for forming film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2011
Film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2011
Substratverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2011
Film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2011
Microwave plasma processing device and microwave plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2011
Verarbeitungssystem und Verfahren zum Chemischen Behandeln eines Substrats
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2011
Microwave plasma-treatment apparatus and dielectric plate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.01.2011
Wet treatment device and wet treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2011
Abnormality detection system, abnormality detection method, and recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Cvd-Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung der Cvd-Vorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Steuereinrichtung und Steuerverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Substrate treatment method, computer recording medium, and substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Template processing device, imprint system, template processing method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Template treatment device and imprint system
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Imprint system, imprinting method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Improving the adhesiveness of fluorocarbon(cfx) film by doping of amorphous carbon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2010
Plasma treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2010
Plasma processing device and cooling device for plasma processing devices
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2010
Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2010
Temperature increase control method for heating device for substrate treatment system, computer recording medium, and substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.12.2010
Film deposition method, pretreatment device, and treating system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2010
Barrier layer, film deposition method, and treating system
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.12.2010
Method for forming ge-sb-te film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.12.2010
Transfer Module
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.12.2010
Method for forming ge-sb-te film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
15.12.2010
Mehrzonenwiderstandsheizung
Metallurgie & Oberflächentechnik
09.12.2010
Transfer Module
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2010
Plasma processing apparatus and power feeding method for plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.12.2010
Starting material for use in forming silicone oxide film and method for forming silicone oxide film using same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2010
Test unit and test system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2010
Probe Card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2010
Verfahren zum Verarbeiten von Daten auf der Basis des Datenkontexts
Steuerungs- & Regelungstechnik
02.12.2010
Fluid Pressure Sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.12.2010
Flow rate measuring device and fluid pressure measuring device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.11.2010
Method and apparatus for manufacturing conductive film, and conductive film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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