Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
07.04.2011	07.04.2011 Plasma treatment method and plasma treatment apparatus WO2011040537 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Selective plasma nitriding method and plasma nitriding device WO2011040455 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Substrate processing system WO2011040538 Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Plasma processing apparatus and slow-wave plate used therein WO2011040465 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Method for reworking a silicon-containing arc layer on a substrate WO2011041268 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2011	06.04.2011 Wärmebehandlungsverfahren und Wärmebehandslungseinrichtung EP1416523 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2002 Erteilt am 06.04.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2011	06.04.2011 Behandlungsvorrichtung mit Verwendung von Ausgangsstoffgas und Reaktivem Gas EP1643004 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2004 Erteilt am 06.04.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2011	31.03.2011 Process for production of carbon nanotube film WO2011036973 Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2011	31.03.2011 Method and apparatus for cooling subject to be processed, and computer-readable storage medium WO2011037020 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2011	31.03.2011 Placing table structure and plasma film forming apparatus WO2011037107 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2011	31.03.2011 Method for forming metal oxide film, method for forming manganese oxide film, and computer-readable storage medium WO2011037090 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2011	31.03.2011 High Normality Solution For Removing Freeze Material in Lithographic Applications WO2011037809 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Method for forming cu wiring WO2011033920 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Motor control method, motor control device, and motor system WO2011033940 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Film-forming method and storage medium WO2011033916 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Film forming method and storage medium WO2011033917 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Film forming device, film forming method and storage medium WO2011033918 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Method for formation of metal silicide film WO2011033903 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Film-forming method, semiconductor element manufacturing method, insulating film and semiconductor element WO2011033987 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Electron source, method for producing electron source, and electron emission method WO2011033989 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2011	24.03.2011 Plasma processing apparatus and gas supply mechanism for plasma processing apparatus WO2011034057 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.03.2011	17.03.2011 Particle injection device and method WO2011030459 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.03.2011	17.03.2011 Method for manufacturing a semiconductor device WO2011030753 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.03.2011	17.03.2011 Substrate inspecting apparatus and aligning method employed in substrate inspecting apparatus WO2011030834 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.03.2011	17.03.2011 Stable Surface Wave Plasma Source WO2011031571 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.03.2011	17.03.2011 Pulsed chemical vapor deposition of metal-silicon-containing films WO2011031591 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2011	16.03.2011 Schutzschicht und Entwicklungsvorrichtung und -verfahren EP2296042 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2010 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.03.2011	10.03.2011 Imprinting method, computer storage medium, and imprinting device WO2011027698 Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.03.2011	10.03.2011 Sputtering device WO2011027691 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.03.2011	03.03.2011 Load lock device and treatment system WO2011024762 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2011	02.03.2011 Befestigungsmechanismus für Testsondenkarte EP2230527 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.10.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2011	24.02.2011 Substrate treating apparatus, arithmetic control mechanism, air-release valve, and pressure control method WO2011021538 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2011	24.02.2011 Heat treatment apparatus WO2011021549 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2011	24.02.2011 Plasma treatment device and plasma treatment method WO2011021539 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2011	24.02.2011 Plasma processing apparatus and substrate processing method WO2011021607 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.02.2011	17.02.2011 Plasma Generation Controlled By Gravity-Induced Gas-Diffusion Separation (gigds) Techniques WO2011019790 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.02.2011	10.02.2011 Semiconductor device and method for manufacturing same WO2011016242 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2011	09.02.2011 Substratmontagemechanismus und Substratverarbeitungsvorrichtung damit EP2282326 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.08.2010 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.02.2011	03.02.2011 Actuator element and method for producing actuator element WO2011013256 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.02.2011	03.02.2011 Plasma processing device and printed wiring board manufacturing method WO2011013525 Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.07.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen