Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.253 gesamt| Patent | |||
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24.11.2010
Substratverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.11.2010
Verfahren zur Herstellung von Elektronikbauteilmaterial
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.01.2002
Erteilt am 24.11.2010
Vertretung
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18.11.2010
Rotating magnetron sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 19.03.2010
Anhängig
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17.11.2010
Halbleiter-Bearbeitungsverfahren mit Virtuellen Modulen
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.11.2010
Verfahren zur Herstellung eines Isolierfilms und Substratverabeitungsvorrichtung dafür
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2001
Erteilt am 10.11.2010
Vertretung
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10.11.2010
Vorrichtung zur Thermischen Behandlung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.09.2002
Erteilt am 10.11.2010
Vertretung
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04.11.2010
Flood Exposure Process For Dual Tone Development in Lithographic Applications
Medizintechnik & Gesundheit
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Angemeldet am 19.04.2010
Anhängig
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20.10.2010
Wärmebehandlungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.06.2006
Erteilt am 20.10.2010
Vertretung
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14.10.2010
Method for forming manganese oxide film, method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2010
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13.10.2010
Gerät zum Behandeln von Halbleiterscheiben
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.10.2010
Multi-chamber processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.03.2010
Anhängig
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07.10.2010
Film forming device, film forming method, and organic el element
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2010
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07.10.2010
Gate valve structure and substrate processor equiped with the same
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 29.03.2010
Anhängig
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07.10.2010
Substrate transfer device and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.03.2010
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07.10.2010
Semiconductor fabrication apparatus and temperature adjustment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.03.2010
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07.10.2010
Method for cooling subject to be processed, and apparatus for processing subject to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2010
Anhängig
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07.10.2010
Treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2010
Anhängig
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07.10.2010
Method for forming silicon nitride film, method for manufacturing semiconductor memory device, and plasma cvd apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2010
Anhängig
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07.10.2010
Deposition head and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.04.2010
Anhängig
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07.10.2010
Method and system for detection of tool performance degradation and mismatch
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 03.02.2010
Anhängig
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07.10.2010
Using electric-field directed post-exposure bake for double patterning (d-p)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Method and apparatus for producing three-dimensional integrated circuit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Method for removing subject to be processed, and apparatus for processing subject to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Microwave plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Method for manufacturing microlens array, and microlens array
Kunststoff- & Polymertechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 11.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Mounting table structure and treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Tuner and microwave plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Method for forming metal nitride film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2010
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30.09.2010
Plasma etching method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
High Temperature Susceptor Having Improved Processing Uniformity
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2010
Anhängig
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30.09.2010
Method for forming a high-k gate stack with reduced effective oxide thickness
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2010
Anhängig
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29.09.2010
Plasmaverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.09.2010
Verfahren und Vorrichtung zum Steuern einer Halbleiter-Herstellungsvorrichtung
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 23.05.2001
Erteilt am 29.09.2010
Vertretung
Liesegang, Roland · München
Liesegang, Roland · München
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23.09.2010
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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22.09.2010
Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 10.07.2008
Erteilt am 22.09.2010
Vertretung
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16.09.2010
Method for forming cu film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Method for forming cu film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Probe Card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Substrate processing apparatus, trap device, method for controlling substrate processing apparatus, and method for controlling trap device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2010
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.300
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56