Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
15.04.2009	15.04.2009 Verfahren zur Entfernung von Schadstoffen aus Abgas EP1566210 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.11.2003 Erteilt am 15.04.2009 Vertretung Forstmeyer, Dietmar · München Boeters & Lieck Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.04.2009	15.04.2009 Substratheizvorrichtung EP1359610 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.12.2001 Erteilt am 15.04.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2009044693 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Plasma processing apparatus and method for adjusting plasma density distribution WO2009044798 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Substrate treating apparatus and substrate treating method WO2009044646 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Gas supplying apparatus WO2009041283 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Processing system for producing a negative ion plasma WO2009042534 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Semiconductor device and manufacturing method therefor WO2009040670 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Raw gas supply system, and filming apparatus WO2009041397 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Electrical contacts for integrated circuits and methods of forming using gas cluster ion beam processing WO2009042458 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Vaporizer and film forming apparatus WO2009041189 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Method of plasma treatment and plasma treatment apparatus WO2009041214 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Method for sr-ti-o-base film formation and recording medium WO2009041219 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Plasma processing apparatus and gas exhaust method WO2009041499 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Film forming apparatus, film forming method, storage medium and gas supplying apparatus WO2009041282 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Electrical contacts for integrated circuits and methods of forming using gas cluster ion beam processing WO2009042835 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Method for controlling film forming apparatus, film forming method, film forming apparatus, organic el electronic device and storage medium having program for controlling film forming apparatus stored therein WO2009041344 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Plasma processing device WO2009041629 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Annealing apparatus WO2009041466 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2009	01.04.2009 Ein Dampftrocknungsvorrichtung und ein Verfahren EP1742248 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.07.2006 Erteilt am 01.04.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2009	26.03.2009 Substrate processing method and substrate processing system WO2009037941 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2009	26.03.2009 Film forming apparatus and film forming method WO2009038168 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2009	26.03.2009 Load lock device and vacuum processing system WO2009038011 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2009	25.03.2009 Komplementär-Mis-Bauelement EP1455393 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2002 Erteilt am 25.03.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2009	25.03.2009 Ein Flüssigkeitslieferungssystem und -verfahren EP1775754 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2006 Erteilt am 25.03.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Exhaust system structure of film forming apparatus, film forming apparatus and method of disposing of exhaust gas WO2009034865 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Semiconductor manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and display apparatus WO2009034963 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Substrate placing mechanism, substrate processing apparatus, method for suppressing film deposition on substrate placing mechanism, and storage medium WO2009034893 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Method for curing a dielectric film WO2009036249 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Substrate processing apparatus, method for suppressing contamination of substrate processing apparatus, and storage medium WO2009034822 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Information processor, information processing method and program WO2009034967 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Substrate placing mechanism and substrate processing apparatus WO2009034895 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Film forming apparatus and film forming method WO2009034898 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Vacuum processing system and substrate transfer method WO2009034869 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.03.2009	18.03.2009 Einrichtung und Verfahren zur Behandlung EP1361604 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.01.2002 Erteilt am 18.03.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.03.2009	18.03.2009 Verfahren zur Bildung eines Tasin-Films EP2037491 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2007 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2009	12.03.2009 Method for processing substrate, program, computer storage medium, and substrate processing system WO2009031462 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2009	12.03.2009 Temperature-sensitive polymer, temperature-sensitive fiber and non-woven fabric each using the same, and method for production of temperature-sensitive fiber and non-woven fabric WO2009031523 Kunststoff- & Polymertechnik Textiltechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2009	12.03.2009 Vacuum processing system WO2009031419 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2009	12.03.2009 Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device WO2009031583 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen