Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
12.03.2009	12.03.2009 Top panel and plasma processing apparatus using the same WO2009031413 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2009	11.03.2009 Servereinrichtung Ung Programm EP2034512 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2007 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2009	11.03.2009 Halbleiterbauelement und Halbleiterbauelement-Herstellungsverfahren EP2034517 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2007 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Top panel and plasma processing apparatus WO2009028376 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Semiconductor device manufacturing method WO2009028480 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Manufacturing equipment, information processing method, and program WO2009028537 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Organic electronic device, organic electronic device manufacturing method, organic electronic device manufacturing apparatus, substrate processing system, protection film structure and storage medium with control program stored therein WO2009028485 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Treating-gas supply system and treating apparatus WO2009028619 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Plasma processing apparatus, plasma processing method and end point detecting method WO2009028506 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Semiconductor device manufacturing method WO2009028314 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2009	05.03.2009 Mounting table structure, and treating apparatus WO2009028458 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2009	04.03.2009 Behandlungseinrichtung mit Blatteinzug EP1357583 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.01.2002 Erteilt am 04.03.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2009	26.02.2009 Vaporizer, material gas supply system including vaporizer and film forming apparatus using such system WO2009025362 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.02.2009	26.02.2009 Substrate processing device and substrate processing method WO2009025257 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.02.2009	25.02.2009 Plasma Behandlungsapparat EP1187187 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.04.2000 Erteilt am 25.02.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.02.2009	25.02.2009 Flüssigkeitsbearbeitungsvorrichtung und -verfahren EP1879216 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2007 Erteilt am 25.02.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.02.2009	25.02.2009 Flüssigkeitszufuhrvorrichtung mit Parallelbypass sowie Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der dafür verwendeten variablen Durchsatzrate des Flüssigkeitsdrucksystems EP2028577 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.04.2000 Anhängig Vertretung Hector, Annabel Mary · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.02.2009	19.02.2009 Method for etching low-k material using oxide hard mask WO2009023445 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.02.2009	19.02.2009 Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device manufacturing apparatus and storage medium WO2009022581 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.02.2009	19.02.2009 Temperature control device and temperature control method WO2009022582 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.02.2009	12.02.2009 Substrate processing method, substrate processing apparatus, program, recording medium and substituting agent WO2009019987 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.02.2009	05.02.2009 Nozzle member and process for producing the same WO2009017141 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Textiltechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.02.2009	05.02.2009 Method for etching metal nitride with high selectivity to other materials WO2009018057 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.02.2009	04.02.2009 Test Wafer zur Positionserkennung EP2020588 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2008 Anhängig Vertretung Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2009	29.01.2009 Method and apparatus for depositing nitride film WO2009014099 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2009	29.01.2009 A plasma processing method for forming a film and an electronic component manufactured by the method WO2009014741 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2009	29.01.2009 Film forming method for a semiconductor WO2009014748 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2009	22.01.2009 Inspecting Structure WO2009011201 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2009	21.01.2009 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements EP1394844 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2002 Erteilt am 21.01.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2009	15.01.2009 Plasma treating apparatus WO2009008241 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2009	15.01.2009 Plasma processing method and plasma processing apparatus WO2009008474 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.01.2009	15.01.2009 Process for producing semiconductor device, semiconductor device, semiconductor production apparatus, and storage medium WO2009008376 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.07.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2009	14.01.2009 Verfahren zur Positionierung eines anisotropischen leitfähigen Steckverbinders, Vorrichtung zur Positionierung des anisotropischen Steckverbinders, Leiterplatte zur Inspektion, anisotropischer leitfähiger Steckverbinder und Nadelkarte EP2015088 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2008 Anhängig Vertretung TBK · München TBK-Patent · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Substrate treatment method, substrate treatment apparatus, reducing agent sheet, and computer-readable storage medium WO2009004906 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2009	08.01.2009 Substrate treatment apparatus, substrate treatment method and storage medium WO2009004977 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2009	07.01.2009 Gepulstes Plasmabehandlungsverfahren und Vorrichtung EP1214459 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.08.2000 Erteilt am 07.01.2009 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2009	07.01.2009 Lichtreflektierende Platte für thermische Behandlung von Halbleitern und Herstellungsverfahren dafür EP1349200 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2008	31.12.2008 Placement table structure and heat treatment device WO2009001866 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.12.2008	31.12.2008 Filming method, and treating system WO2009001896 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.12.2008	24.12.2008 Verarbeitungsvorrichtung und Verarbeitungsverfahren EP2006893 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.04.2007 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen