Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
30.07.2009	30.07.2009 Highly clean and hot valve WO2009093608 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.07.2009	23.07.2009 Capacitor, semiconductor device, method for manufacturing the capacitor, and method for manufacturing the semiconductor device WO2009090979 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.07.2009	23.07.2009 Placing table apparatus, processing apparatus and temperature control method WO2009090899 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.07.2009	23.07.2009 Method for processing amorphous carbon film, and semiconductor device manufacturing method using the method WO2009090912 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.01.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.07.2009	16.07.2009 Film forming method and film forming apparatus WO2009087906 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.07.2009	09.07.2009 Method for processing substrate, program, computer storage medium, and substrate processing system WO2009084279 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.07.2009	09.07.2009 Etching method for metal film and metal oxide film, and manufacturing method for semiconductor device WO2009084194 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.07.2009	09.07.2009 Vacuum processing device, vacuum processing method, and computer-readable storage medium WO2009084437 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.07.2009	09.07.2009 Liquid treatment apparatus, liquid treatment method and storagemedium WO2009084406 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.07.2009	02.07.2009 Information processing device, information processing method, and program WO2009081819 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.07.2009	02.07.2009 System for processing subject to be processed and method for controlling the system WO2009081903 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2009	25.06.2009 Silicon carbide focus ring for plasma etching system WO2009079285 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2009	25.06.2009 Heat treatment apparatus, and method for controlling the same WO2009078310 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2009	25.06.2009 Apparatus and method for manufacturing photoelectric conversion elements, and photoelectric conversion element WO2009078153 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2009	25.06.2009 Method and system for reducing line edge roughness during pattern etching WO2009079284 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.06.2009	18.06.2009 Probe Card WO2009075220 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.06.2009	11.06.2009 Probe WO2009072368 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.06.2009	11.06.2009 Probe apparatus WO2009072341 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.06.2009	10.06.2009 Verfahren zur Formung einer Folie und Vorrichtung zur Formung einer Folie EP2067875 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.02.2008 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.06.2009	04.06.2009 Holding member for inspection and method for manufacturing holding member for inspection WO2009069438 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.06.2009	04.06.2009 Film forming device control method, film forming method, film forming device, organic el electronic device, and recording medium storing its control program WO2009069740 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.11.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.05.2009	22.05.2009 Plasma processing apparatus and method for plasma processing semiconductor substrate WO2009063755 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Method and apparatus for deriving an iso-dense bias and controlling a fabrication process WO2009060319	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Plasma treatment apparatus and external air shielding vessel WO2009060756 Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Method for integrating selective ruthenium deposition into manufacturing of a semiconductior device WO2009060320 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Process for producing intermediate structure and inspection apparatus WO2009060755 Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.05.2009	13.05.2009 Wärmebehandlungsgerät und Verfahren zum Behandeln von Halbleitern EP1182692 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2001 Erteilt am 13.05.2009 Vertretung Dorna, Peter · Eindhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.05.2009	07.05.2009 Plasma processing system and plasma processing method WO2009057583 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.05.2009	06.05.2009 Ringförmige Hochdichte Plasmaquelle und Verfahren EP1305453 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2001 Erteilt am 06.05.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Wallace, Sheila Jane · London Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.04.2009	30.04.2009 Forming method of etching mask, control program and program storage medium WO2009054131 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.04.2009	30.04.2009 Method for forming cu wiring WO2009054268 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2009	29.04.2009 Adapter für Zerstäubungskathode EP1511876 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2003 Erteilt am 29.04.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Wallace, Sheila Jane · London Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2009	29.04.2009 Substratbeförderungseinrichtung und Vertikal-Wärmebehandlungsgeräte EP2053648 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2007 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2009	29.04.2009 Gasphasen-Wachstumseinrichtung EP1383160 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2002 Erteilt am 29.04.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2009	23.04.2009 Dummy grating of clean room WO2009050808 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2009	23.04.2009 Method and system for forming an air gap structure WO2009052117 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Substrate processing method WO2009048165 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Coating/developing apparatus, coating/developing method and storage medium WO2009047960 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Processing-liquid supply mechanism and processing-liquid supply method WO2009047974 Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Neutral beam source and method for plasma heating WO2009048792 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen