Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
22.06.2005	22.06.2005 Wärmebehandlungsvorrichtung EP1544900 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2005	22.06.2005 Substratverarbeitungvorrichtung EP1544904 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2005	22.06.2005 Substratverarbeitungvorrichtung EP1544903 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2005	16.06.2005 WO2005055298 WO2005055298	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2005	16.06.2005 WO2005054543 WO2005054543	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2005	16.06.2005 Intelligent system for detection of process status, process fault and preventive maintenance WO2005054968 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2005	16.06.2005 Developing method and developing apparatus WO2005055294 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2005	16.06.2005 WO2005055297 WO2005055297 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2005	09.06.2005 Structure comprising tunable anti-reflective coating and method of forming thereof WO2005053011 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2005	09.06.2005 Method and apparatus for improved electrode plate WO2005052981 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2005	09.06.2005 Method for forming insulating film, system for forming insulating film, and method for manufacturing semiconductor device WO2005053008 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.06.2005	02.06.2005 System and method for using first-principles simulation to control a semiconductor manufacturing process WO2005050698 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.06.2005	02.06.2005 Substrate cleaning method, substrate cleaning apparatus and computer-readable recording medium WO2005050724 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.06.2005	02.06.2005 Plasma film-forming apparatus and plasma film-forming method WO2005050723 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.06.2005	02.06.2005 Plasma processing method and plasma processing apparatus WO2005050726 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2005	01.06.2005 Plasmaverarbeitungseinrichtung EP1536671 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2005	01.06.2005 Mikroelektromechanische Anordnung, Herstellungsverfahren Daf R und Darauf Basierendes Verfahren zur Herstellung einer Mikroelektromechanischen Vorrichtung EP1535879 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.05.2005	26.05.2005 Method and apparatus comprising an improved focus ring WO2005048289 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.05.2005	26.05.2005 Method and apparatus for improved baffle plate WO2005048322 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.05.2005	26.05.2005 Plasma igniting method and substrate processing method WO2005048337 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.05.2005	19.05.2005 Method for processing substrate WO2005045916 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.05.2005	11.05.2005 Montageanordnung für Ventile EP1167846 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.07.2001 Erteilt am 11.05.2005 Vertretung Paul, Dieter-Alfred · Neuss Paul, Dieter-Alfred · Neuss Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.05.2005	06.05.2005 Shower head and film-forming device using the same WO2005041285 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.04.2005	28.04.2005 Method for manufacturing transistor WO2005038928 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.04.2005	28.04.2005 Plasma etching method WO2005038896 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.04.2005	21.04.2005 Method and apparatus for dispensing a rinse solution on a substrate WO2005035136 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.04.2005	21.04.2005 Method and apparatus for efficient temperature control using a contact volume WO2005036594 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Low-pressure deposition of metal layers from metal-carbonyl precursors WO2005033357 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 System and method for using first-principles simulation in a semiconductor manufacturing process WO2005034185 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Method of forming a metal layer using an intermittent precursor gas flow process WO2005034224 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Method of depositing metal layers from metal-carbonyl precursors WO2005034223 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Method for depositing metal layers using sequential flow deposition WO2005034222 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Sacrificial Surfactanated Pre-Wet For Defect Reduction in A Semiconductor Photolithography Developing Process WO2005034211 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Method and processing system for monitoring status of system components WO2005034210 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Method for monitoring status of system components WO2005034181 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Coating film forming apparatus and coating film forming method WO2005034228 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2005	14.04.2005 Method and apparatus for determining plasma impedance WO2005034183 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2005	07.04.2005 Plasma processing device WO2005031830 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2005	07.04.2005 Sealing ring and its managing system WO2005031195 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2005	07.04.2005 Plasma processing system WO2005031839 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen