Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
18.08.2005	18.08.2005 Adaptive real time control of a reticle/mask system WO2005076075 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2005	18.08.2005 Substrate holding tool and substrate treating device for treating semiconductor WO2005076343 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2005	11.08.2005 Method for cleaning process chamber of substrate processing apparatus, substrate processing apparatus, and method for processing substrate WO2005074016 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2005	11.08.2005 Semiconductor device WO2005074034 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2005	11.08.2005 Compact, distributed inductive element for large scale inductively-coupled plasma sources WO2005074000 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.08.2005	10.08.2005 Fehlergrenzenmodell zur Identifizierung von Stochastischen Modellen Fuer einen Steuerungsentwurf EP1190279 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2000 Erteilt am 10.08.2005 Vertretung Wombwell, Francis · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.08.2005	10.08.2005 Hochdruckkompatibler Sauggreifer für Halbleiterwafer mit Hubmechanismus EP1560680 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2003 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.08.2005	04.08.2005 A method of trimming a gate electrode structure WO2005071724 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.08.2005	04.08.2005 Exposure apparatus and device producing method WO2005071717 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Sensing component used to monitor material buildup and material erosion of consumables by optical emission WO2005067450 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Multi-Position Stop Mechanism WO2005067462	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Substrate processing apparatus and substrate processing method WO2005069365 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Method for manufacturing semiconductor device and film-forming system WO2005069367 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Treatment device WO2005069360 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Plasma processing apparatus WO2005069701 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2005	28.07.2005 Probe Guard WO2005069019 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2005	27.07.2005 Sondenmarkierungsleser und Sondenmarkierungsleseverfahren EP1557876 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.10.2003 Anhängig Vertretung Henkel & Partner mbB · München Henkel, Feiler & Hänzel · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2005	27.07.2005 Wärmebehandlungssystem und Wärmebehandlungsverfahren EP1557873 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.10.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2005	27.07.2005 Sondeneinrichtung, die die Temperatur des zu Untersuchenden Objekts Steuert, Undsondenuntersuchungsverfahren EP1557877 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Substrate processing apparatus WO2005067023 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Method and apparatus for etching an organic layer WO2005067024 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Methods for adaptive real time control of a thermal processing system WO2005067006 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Method and system to compensate for lamp intensity differences in a photolithographic inspection tool WO2005066615 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Coater/developer and coating/developing method WO2005067011 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2005	21.07.2005 Method and apparatus for removing photoresist from a substrate WO2005066717 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.07.2005	20.07.2005 Potentialfixiereinrichtung, Potentialfixierverfahren und Kapazitätsmessinstrument EP1555535 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2002 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.07.2005	14.07.2005 Vertical heat treatment device and method of controlling the same WO2005064254 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.07.2005	14.07.2005 Temperature regulating method for substrate treating system and substrate treating system WO2005064659 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.07.2005	13.07.2005 Trockenluftzufuhrvorrichtung und -Behandlungsvorrichtung EP1552876 Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2005	07.07.2005 Method of operating a system for chemical oxide removal WO2005062344 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2005	07.07.2005 Processing system with protective barrier and method for impregnating WO2005062336 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.06.2005	30.06.2005 Method for forming film WO2005059988 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.06.2005	30.06.2005 Ozone processing method and ozone processing system WO2005058753 Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.06.2005	30.06.2005 Film-forming method, method for generating plasma, and substrate processing apparatus WO2005059986 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.06.2005	30.06.2005 Substrate processing method, substrate processing apparatus and computer-readable recording medium WO2005059976 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2005	29.06.2005 Vefahren und Vorrichtung zum Steuern und Überwachen eines Prozesses zur Herstellung von Halbleiterbausteinen EP1546827 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2005	29.06.2005 Verfahren und System zur Dynamischen Modellierung und Rezeptoptimierung für Halbleiterätzprozesse EP1546876 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.08.2003 Anhängig Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2005	29.06.2005 Gasversorgungssystem und Behandlungssystem EP1548813 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.06.2005	23.06.2005 Substrate treating apparatus WO2005057648 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2005	22.06.2005 Sondenverfahren, Sondierer und Elektrodenverringerungs/-Plasmaätzprozessmechanismus EP1544909 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen