Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
06.04.2005	06.04.2005 Verfahren zum Zuführen von Gas bei Gleichzeitiger Unterteilung in Kammerausgasversorgungseinrichtung, die mit einer Strömungssteuerung Ausgestattet Ist EP1521154 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2003 Anhängig Vertretung Faulkner, Thomas John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2005	31.03.2005 Method of substrate processing and apparatus for substrate processing WO2005029562 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2005	31.03.2005 Exposure apparatus and device producing method WO2005029559 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2005	31.03.2005 Heat treatment apparatus WO2005029561 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2005	31.03.2005 Interfacial oxidation process for high-k gate dielectric process integration WO2005029568 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.08.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.03.2005	30.03.2005 Methode und Vorrichtung für Automatische Sensor-Installation EP1518198 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.03.2005	30.03.2005 Methode zur Dynamischen Sensorkonfiguration und Laufzeitausführung EP1518268 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.03.2005	30.03.2005 Vorrichtung und Methode zum Messen oder Anwenden einer Thermischen Ausdehnungs-/schrumpfungsrate EP1517136 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2004 Anhängig Vertretung Jones, Keith William · Glasgow Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2005	24.03.2005 Formation of a metal-containing film by sequential gas exposure in a batch type processing system WO2005027189 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.03.2005	10.03.2005 Substrate processing device WO2005022627 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.03.2005	10.03.2005 Method and appartus for depositing materials with tunable properties WO2005021832 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2005	02.03.2005 Aufnehmender Behälterkörper für ein zu Verarbeitendes Objekt EP1511076 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2005	24.02.2005 Substrate holding structure and substrate processing device WO2005017984 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2005	23.02.2005 Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen von der Leistung einer Werkzeugmaschine EP1508159 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.02.2005	17.02.2005 Film forming method WO2005015622 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.02.2005	17.02.2005 Heat-treating apparatus WO2005015620 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.08.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.02.2005	10.02.2005 Formation of ultra-thin oxide and oxynitride layers by self-limiting interfacial oxidation WO2005013348 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.02.2005	10.02.2005 Device for feeding gas to chamber and method for controlling chamber inner pressure using the device WO2005013026 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2005	09.02.2005 Verfahren zum Behandeln eines Substrats EP1505641 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2003 Anhängig Vertretung Vinsome, Rex Martin · Newcastle-upon-Tyne Urquhart-Dykes & Lord LLP Rees, Alexander Ellison · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.02.2005	03.02.2005 Development processing device and development processing method WO2005010959 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.02.2005	03.02.2005 Bellows-supporting structure and movable stage device WO2005010980 Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.02.2005	03.02.2005 Gas reaction system and semiconductor processing apparatus WO2005010969 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.02.2005	02.02.2005 Hochdruckverarbeitungskammer für Mehrere Halbleitersubstrate EP1501961 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2002 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J., Dr · München Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.01.2005	26.01.2005 Filmerzeugungsverfahren EP1501121 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.04.2003 Anhängig Vertretung Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.01.2005	20.01.2005 High-pressure heat treatment apparatus WO2005006426 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.01.2005	20.01.2005 Feedforward, feedback wafer to wafer control method WO2005006411 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2005	19.01.2005 Vertikal-Wärmebehandlungsgerät EP1498937 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2005	19.01.2005 Signaldetektionskontaktor und Signalkorrektursystem EP1498942 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2005	13.01.2005 Treating device WO2005004228 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2005	13.01.2005 Wiring board member for forming multilayer printed circuit board, method for producing same, and multilayer printed circuit board WO2005004568 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2005	13.01.2005 Method of forming low-permittivity insulation film of semiconductor device, semiconductor device using the method and low-permittivity insulation film forming device WO2005004223 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2005	13.01.2005 Film forming method and film forming device using plasma cvd WO2005003403 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.01.2005	13.01.2005 Pressure reduction process device, pressure reduction process method, and pressure regulation valve WO2005004219 Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.07.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2005	12.01.2005 Verfahren zur Behandlung Poröser Dielektrischer Filme zur Verringerung von Beschädigungen Während der Reinigung EP1495366 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2003 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2005	12.01.2005 Verarbeitungssystem, Verarbeitungsverfahren und Halterung EP1496138 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.04.2003 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2005	06.01.2005 Trapping device, processing system, and method for removing impurities WO2005000440 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2005	06.01.2005 Method for generating plasma, method for cleaning and method for treating substrate WO2005001920 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2005	06.01.2005 Vacuum processing device operating method WO2005001925 Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2005	06.01.2005 Sputtering source for ionized physical vapor deposition of metals WO2005001156 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2004	29.12.2004 Graphische Benutzerschnittstelle für eine Halbleiterbehandlungsanlage EP1490761 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen