Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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17.09.2015
Semiconductor device production method and production apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2015
Anhängig
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17.09.2015
Plasma processing device and film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.02.2015
Anhängig
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17.09.2015
Substrate treatment method and substrate treatment jig
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2015
Anhängig
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11.09.2015
Optical temperature sensor and method for manufacturing optical temperature sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 02.03.2015
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11.09.2015
Plasma processing device cleaning method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 17.02.2015
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11.09.2015
Temperature measuring apparatus, projection module, and temperature measuring method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 25.02.2015
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11.09.2015
Method of enhancing high-k film nucleation rate and electrical mobility in a semiconductor device by microwave plasma treatment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2015
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09.09.2015
Filmabscheidungsvorrichtung und Filmabscheidungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.09.2015
System zur Steuerung eines Plasmagenerators
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.07.2000
Erteilt am 09.09.2015
Vertretung
Klusmann, Peter · München
Hoffmann Eitle · München
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03.09.2015
Method of oxidizing treatment of transition metal film and oxidizing treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2015
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03.09.2015
Substrate treatment method, computer storage medium, and substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.02.2015
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03.09.2015
Chemical Amplification Methods and Techniques for Developable Bottom Anti-reflective Coatings and Dyed Implant Resists
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.02.2015
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03.09.2015
Method for processing article
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.01.2015
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27.08.2015
X-ray inspection system, control method, control program, and control device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2014
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27.08.2015
Cover Plate For Defect Control in Spin Coating
Verfahrens- & Trenntechnik
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Angemeldet am 24.02.2014
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27.08.2015
Method for multiplying pattern density by crossing multiple patterned layers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Mitigation Of Euv Shot Noise Replicating Into Acid Shot Noise in Photo-Sensitized Chemically-Amplified Resist
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Method for creating contacts in semiconductor substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Method for patterning a substrate for planarization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Metrology for measurement of photosensitizer concentration within photo-sensitized chemically-amplified resist
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Methods and techniques to use with photosensitized chemically amplified resist chemicals and processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.02.2015
Anhängig
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27.08.2015
Vaporizer unit with open cell core and method of operating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2015
Anhängig
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06.08.2015
Film-forming apparatus and substrate holder used therein
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2014
Anhängig
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06.08.2015
Substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.12.2014
Anhängig
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06.08.2015
Substrate processing system, substrate processing method, and computer storage medium
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2015
Anhängig
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06.08.2015
Method for self-aligned double patterning without atomic layer deposition
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2015
Anhängig
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06.08.2015
Integration of ald barrier layer and cvd ru liner for void-free cu filling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.02.2015
Anhängig
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30.07.2015
Substrate treatment device, shower plate, and substrate treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2014
Anhängig
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30.07.2015
Active filter technology for photoresist dispense system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.01.2015
Anhängig
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30.07.2015
Method and system for performing post-etch annealing of a workpiece
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.01.2015
Anhängig
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30.07.2015
System and method for shifting critical dimensions of patterned films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.01.2015
Anhängig
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30.07.2015
Inline Dispense Capacitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.01.2015
Anhängig
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30.07.2015
Systems and methods for generating backside substrate texture maps for determining adjustments for front side patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.01.2015
Anhängig
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30.07.2015
Defect-Less Direct Self-Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.01.2015
Anhängig
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23.07.2015
Film forming method and heat treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.01.2015
Anhängig
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16.07.2015
Cell culture vessel, cell subculturing system and cell subculturing method
Pharma & Biotechnologie
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Angemeldet am 26.12.2014
Anhängig
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16.07.2015
Electric field treatment method and electric field treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 12.12.2014
Anhängig
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02.07.2015
Substrate processing system, substrate transport method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.10.2014
Anhängig
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02.07.2015
Substrate processing system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.12.2014
Anhängig
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25.06.2015
System and methods for spin-on coating of self-assembled monolayers or periodic organosilicates on a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.12.2014
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28